【技术实现步骤摘要】
【国外来华专利技术】
【技术保护点】
１．用于微机械部件（１００，１２０，１４０）的制造方法，包括以下步骤：在基本衬底（１０）上形成第一蚀刻停止层（１２），其中，所述第一蚀刻停止层（１２）被这样地构造，使得所述第一蚀刻停止层具有穿透的留空（１４）的第一图案；在所述第一蚀刻停止层（１２）上形成第一电极材料层（１６）；在所述第一电极材料层（１６）上形成第二蚀刻停止层（１８），其中，所述第二蚀刻停止层（１８）被这样地构造，使得所述第二蚀刻停止层具有穿透的留空（２０）的与第一图案不同的第二图案；在所述第二蚀刻停止层（１８）上形成第二电极材料层（２２）；在所述第二电极材料层（２２）上形成结构化的掩膜（３０）；和在第一方向（２８，３２）上执行第一蚀刻步骤及在与所述第一方向（２８，３２）相反指向的第二方向（２８，３２）上执行第二蚀刻步骤，以便由所述第一电极材料层（１６）蚀刻出至少一个第一电极单元（４４）及由所述第二电极材料层（２２）蚀刻出至少一个第二电极单元（４２）。
【技术特征摘要】
【国外来华专利技术】...
【专利技术属性】
技术研发人员：S·芬克拜纳，
申请(专利权)人：罗伯特·博世有限公司，
类型：发明
国别省市：DE
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