末端执行器的磁性垫片制造技术

本发明专利技术的实施例涉及用以在真空条件下支撑且转移大面积衬底的设备与方法。本发明专利技术的一个实施例提供了一种设备，其中该设备包含一个或多个末端执行器，这些末端执行器具有多个末端执行器垫片设置于其上而并非机械地接合到该一个或多个末端执行器。在一个实施例中，多个末端执行器垫片组件通过磁力耦合到该一个或多个末端执行器。

【技术实现步骤摘要】
【国外来华专利技术】
本专利技术的实施例大致涉及用以在转移操作期间支撑衬底的设备与方法。具体而 言，本专利技术的实施例涉及用以在真空条件下支撑且转移大面积衬底的设备与方法。
技术介绍
大面积衬底通常用于制造太阳能面板、平面面板显示器(例如主动矩阵或薄膜晶 体管(TFT)显示器)、液晶显示器(LCD)、电浆显示器等。随着市场接受太阳能技术与平面面板技术，更大的太阳能面板或平面显示器面 板、增加的产能及更低的制造成本的需求已经驱使设备制造商发展新系统，其中该新系统 可容纳太阳能面板与平面面板显示器制造业者的更大尺寸的衬底。典型地，大面积衬底处理是通过将衬底进行多个相继的制程以在衬底上建立组 件、导体及绝缘体。上述各个制程大致上在被用以执行一个或多个生产过程步骤的制程腔 室中执行。为了有效率地完成整个处理步骤顺序，通常多个制程腔室耦合到中央转移腔室， 其中该中央转移腔室内含机械手臂以促进衬底在这些制程腔室间的转移。大体上，具有此 种配置的处理平台是公知的丛集工具(cluster tool)。这样的用于玻璃衬底处理的丛集 工具可由AKT公司(其为美国加州圣大克劳拉市的应用材料公司所完全拥有的子公司)获 得。随着大面积衬底的尺寸增加，操纵且处理这些衬底的制造设备也必须变得更大。 增加的衬底操纵设备(例如前述的转移机械手臂)的尺寸已经造成许多待克服的技术挑战 以为了维持精确的衬底转移。例如，用于操纵平面面板衬底的转移机械手臂具有一连串的 悬设末端执行器以用于支撑衬底的下侧，其中该末端执行器由一腕部来支撑。多个垫片大 致上贴附到末端执行器以用于与衬底的直接接触。垫片会磨损，并且必须周期性地更换。由 于垫片的数量相当多，更换垫片需要相当长的时间，并且在垫片更换期间，整个丛集工具必 须停机。因此，因更换末端执行器上的垫片需消耗较长时间，故成本增加。故，需要可减少维护时间且能容纳大衬底的末端执行器与末端执行器垫片。
技术实现思路
本专利技术的实施例大致涉及用以在转移操作期间支撑衬底的设备与方法。具体而 言，本专利技术的实施例涉及用以在真空条件下支撑且转移大面积衬底的设备与方法。本专利技术的一个实施例提供了一种用以在真空环境中支撑且转移大面积衬底的设 备，其至少包含腕部，其耦合到驱动机构；一个或多个末端执行器，其耦合到该腕部，其中 该一个或多个末端执行器用于接受且支撑大面积衬底；多个末端执行器垫片，其设置在该 一个或多个末端执行器的衬底接受表面上，其中该多个末端执行器垫片用于接受该大面积 衬底且避免该大面积衬底与该一个或多个末端执行器之间的直接接触，该多个末端执行器 垫片不使用任何固定件机械地接合到该一个或多个末端执行器以便于替换多个末端执行 器垫片。本专利技术的另一个实施例提供了一种用于真空机械手臂的末端执行器的垫片组件， 其至少包含基部构件，其适于将该垫片组件固定到该末端执行器，其中该基部构件具有用 于接触该末端执行器的第一侧与位于该第一侧对面的第二侧；垫片构件，其耦合到该基部 构件，其中该垫片构件具有接触该基部构件的第二侧的第一侧与位于该垫片构件的第一侧 对面的第二侧，并且该垫片构件的第二侧的至少一部分被提升以形成接受且支撑衬底的接 触区域；以及固定装置，其接合该基部构件与该垫片构件。本专利技术的另一实施例提供了一种用于真空机械手臂的末端执行器的垫片组件，其 至少包含垫片构件，其用于提供供该真空机械手臂用的接触区域，其中该垫片构件具有 第一侧与位于该第一侧对面的第二侧，该第一侧大致平坦，该第二侧具有从其延伸的接触 结构，并且该接触结构的顶表面形成该接触区域；基部构件，其适于将该垫片组件固定到该 末端执行器，其中该基部构件从该第一侧接触该垫片构件；夹钳构件，其从该第二侧接触该 垫片构件，其中该夹钳构件具有孔以允许该接触结构暴露；以及固定装置，其接合该基部构 件、该垫片构件与该夹钳构件。附图说明本专利技术的前述特征、详细说明可以通过参照实施例来详细地了解，其中一些实施 例在附图中示出。然而，值得注意的是附图仅示出了本专利技术的典型实施例，并且因此不会限 制本专利技术范围，本专利技术允许其它等效的实施例。图1为根据本专利技术的一个实施例的末端执行器组件的立体图。图2为图1的末端执行器组件的末端执行器的分解图。图3A为根据本专利技术的一个实施例的末端执行器中磁性组件的分解图。图;3B为末端执行器的剖视图，其显示用于磁性组件的结构。图3C为图3A的磁性组件的磁芯的立体图。图3D为图3A的磁性组件的盖体的立体图。图4A为根据本专利技术的一个实施例的末端执行器垫片组件与末端执行器的立体 图。图4B为当图4A的末端执行器垫片组件设置在末端执行器上时末端执行器垫片组 件的立体剖视图。图5A为图4B的末端执行器垫片组件的分解图。图5B为用于图5A的末端执行器垫片组件的垫片构件的立体图。图5C为用于图5A的末端执行器垫片组件的基部构件的立体图。图5D为图5C的基部构件的剖视图。图5E为用于图5A的末端执行器垫片组件的夹钳构件的立体图。图5F为图5E的夹钳构件的剖视图。图6A为根据本专利技术的另一个实施例的末端执行器垫片组件与末端执行器的立体 图。图6B为当图6A的末端执行器垫片组件设置在末端执行器上时末端执行器垫片组 件的剖视图。图7A为图6A的末端执行器垫片组件的分解图。图7B为图7A的末端执行器垫片组件的第一长侧边剖视图。图7C为图7A的末端执行器垫片组件的俯视图。图7D为图7A的末端执行器垫片组件的第二长侧边剖视图。图7E为图7A的末端执行器垫片组件的仰视图。图7F为图7A的末端执行器垫片组件的短侧边剖视图。图8A为图7A的末端执行器垫片组件的基部构件的俯视图。图8B为图8A的基部构件的剖视图。图9A为图7A的末端执行器垫片组件的垫片构件的俯视图。图9B为图9A的垫片构件的剖视图。图IOA为图7A的末端执行器垫片组件的夹钳构件的俯视图。图IOB为图IOA的夹钳构件的剖视图。为了有助于理解，倘若可行，则在图式中使用相同的组件符号来表示相同的组件。 应理解的是，一个实施例中揭示的组件可以有益地被用在其它实施例中，而不需赘述。具体实施例方式本专利技术的实施例大致上涉及用以在转移操作期间支撑衬底的设备与方法。具体而 言，本专利技术的实施例涉及用以在真空条件下支撑且转移大面积衬底的设备与方法。本专利技术 的一个实施例提供了一种用以转移且支撑大面积衬底的设备，其中该设备包含一个或多个 末端执行器，这些末端执行器具有多个末端执行器垫片组件固定于其上而不必通过固定件 将这些末端执行器垫片组件机械地接合到这些末端执行器。在一个实施例中，这些末端执 行器垫片组件通过磁力固定到这些末端执行器。在本专利技术的一个实施例中，磁芯设置在该一个或多个末端执行器中，用以固定邻 近的末端执行器垫片组件。在本专利技术的一个实施例中，各个上述末端执行器垫片组件均包 含垫片构件用于接触待转移的衬底以及铁磁基体构件用于将末端执行器垫片组件固定到 具有一个或多个磁铁设置在其中的末端执行器。在本专利技术的一个实施例中，铁磁基体构件具有凸部，该凸部用以提升垫片构件的 一部分以形成接触区域。在另一个实施例中，垫片构件具有突出结构用于接触衬底。在一 个实施例中，突出结构呈圆锥形，而圆锥的开放端用以接触待转移的衬底。图1为根据本专利技术的一个实施例的末端执行器组件100的立体图。末本文档来自技高网...

【技术保护点】
１．一种用以在一真空环境中支撑且转移大面积衬底的设备，包括：腕部，其耦合到驱动机构；一个或多个末端执行器，其耦合到该腕部，其中该一个或多个末端执行器用以接受且支撑大面积衬底；多个末端执行器垫片，其设置在该一个或多个末端执行器的衬底接受表面上，其中该多个末端执行器垫片用以接受该大面积衬底且避免该大面积衬底与该一个或多个末端执行器之间的直接接触，该多个末端执行器垫片未使用任何固定件机械地接合到该一个或多个末端执行器。

【技术特征摘要】
【国外来华专利技术】...

【专利技术属性】
技术研发人员：金庆泰，
申请(专利权)人：应用材料公司，
类型：发明
国别省市：US