倍频半导体激光器中的折叠式可调节光路制造技术

一种光学组合件包括在基座模块上定向的半导体激光器、波长转换器件以及ＭＥＭＳ驱动镜子，以在半导体激光器的输出和波长转换器件的输入之间形成折叠式光路。在机械定位设备中设置光学组件，并且在基座模块上沿光路设置机械定位设备，以致半导体激光器的光束通过光学组件，通过ＭＥＭＳ驱动镜子反射回，通过光学组件，并且进入波长转换器件的波导部分中。可操作ＭＥＭＳ驱动镜子而扫描波长转换器件的输入上的半导体激光器的光束。可以用机械定位设备沿光路调节光学组件，以使光束聚焦到波长转换器件的波导部分中。

【技术实现步骤摘要】
【国外来华专利技术】
本专利技术一般涉及半导体激光器、激光控制器、光学组合件以及包含半导体激光器 和波长转换器件的其它光学系统。更具体地，本专利技术涉及光学组合件和用于对准光学组合 件的方法，所述光学组合件包括半导体激光器和二次谐波产生(SHG)晶体或其它类型的波 长转换器件等等。
技术实现思路
可以通过将单-波长半导体激光器(诸如红外或近红外分布式反馈(DFB)激光 器、分布式布拉格反射器(DBR)激光器或法布里-波罗激光器)与波长转换器件(比如二 次谐波产生(SHG)晶体)组合起来，来形成短波长光源。通常，使用SHG晶体来产生基波激 光信号的较高次谐波。为了这样做，较佳地把激光波长调谐到波长转换SHG晶体的光谱中 心，并且使激光器的输出较佳地与波长转换晶体的输入刻面处的波导部分对准。典型的SHG晶体(诸如掺杂镁的周期性极化的铌酸锂(PPLN)晶体)的波导光学 模场直径可以在数个微米的范围内。结果，本专利技术人已经认识到，这对于使来自激光二极 管的光束与SHG晶体的波导的对准和聚焦是极具有挑战性的，特别在光学组合件的组装期 间。因此，本专利技术的一个目的是提供光学组合件和用于对准光学组合件中的各部件的本文档来自技高网...

【技术保护点】
１．一种光学组合件，包括半导体激光器、波长转换器件、ＭＥＭＳ驱动镜子、光学组件、机械定位设备以及基座模块，其中：波长转换器件包括波导部分；半导体激光器、波长转换器件和ＭＥＭＳ驱动镜子在基座模块上具有一定的取向，以在半导体激光器的输出和波长转换器件的输入之间形成折叠式光路，以致半导体激光器的输出光束可以被ＭＥＭＳ驱动镜子反射到波长转换器件的波导部分中；可操作ＭＥＭＳ驱动镜子从而使半导体激光器的输出光束在波长转换器件的输入上进行扫描；以及光学组件位于机械定位设备内，并且机械定位设备位于基座模块上沿着折叠式光路，以致半导体激光器的输出光束穿过光学组件，并且被往回反射穿过光学组件进入波长转换器件的波导...

【技术特征摘要】
【国外来华专利技术】...

【专利技术属性】
技术研发人员：E·阿尔莫里克，
申请(专利权)人：康宁股份有限公司，
类型：发明
国别省市：US