胶粘剂组合物、膜状胶粘剂、胶粘片和半导体装置制造方法及图纸

技术编号:7141908 阅读:270 留言:0更新日期:2012-04-11 18:40
本发明专利技术的胶粘剂组合物含有(A)Tg为100℃以下的热塑性树脂以及(B)热固化性成分,其中,所述(B)热固化性成分包含(B1)具有烯丙基的化合物和(B2)具有马来酰亚胺基的化合物。

【技术实现步骤摘要】
【国外来华专利技术】
本专利技术涉及胶粘剂组合物、膜状胶粘剂、胶粘片和半导体装置
技术介绍
以往,对于半导体元件与半导体元件搭载用支撑部件的接合,主要使用银糊剂。然 而,随着近年的半导体元件的大型化、半导体封装的小型化、高性能化,开始要求所使用的 支撑部件的小型化、细密化。针对这一需求,对于银糊剂而言,因浸润展宽性而产生的溢出、 因半导体元件的倾斜而引发的引线接合时的不良、银糊剂厚度控制的困难性以及银糊剂产 生空隙等问题一直难以处理。因此,为了应对上述要求,近年来开始了用膜状的胶粘剂(例 如,参照专利文献1和2)。该膜状胶粘剂在单片贴附方式、晶片背面贴附方式等半导体装置的制造方法中使 用。通过前者的单片贴附方式制造半导体装置时,首先,通过剪切或冲切卷轴状的膜状胶 粘剂来切出单片后,粘接在支撑部件上,在该带有膜状胶粘剂的支撑部件上,接合通过切割 (dicing)工序而单片化了的半导体元件,制作带有半导体元件的支撑部件。随后,经过引线 接合工序、密封工序等,可以得到半导体装置(例如,专利文献3参照)。然而,单片贴附方 式的情况下,需要切出膜状胶粘剂并将其粘接于支撑部件的专用的组装装置,因此,存在比 使用本文档来自技高网...

【技术保护点】
1.一种胶粘剂组合物,其含有(A)Tg为100℃以下的热塑性树脂和(B)热固化性成分,所述(B)热固化性成分包含(B1)具有烯丙基的化合物以及(B2)具有马来酰亚胺基的化合物。

【技术特征摘要】
【国外来华专利技术】...

【专利技术属性】
技术研发人员:增子崇
申请(专利权)人:日立化成工业株式会社
类型:发明
国别省市:JP

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