【技术实现步骤摘要】
【国外来华专利技术】
【技术保护点】
用于制造构件（１）的方法，其中，在第一制造步骤中提供一具有衬底（４）、膜片（３）和空穴区域（２）的基本结构（１’），所述膜片（３）基本上平行于所述衬底（４）的主延伸平面（１００）设置，所述空穴区域（２）设置在所述衬底（４）与所述膜片（３）之间，并且所述空穴区域（２）具有进入开口（２’），其特征在于，在第二制造步骤中至少部分地在所述空穴区域（２）中并且尤其是在所述膜片（３）的垂直于所述主延伸平面（１００）面向所述衬底（４）的第二侧面（３”）上设置第一导电层（６）。
【技术特征摘要】
【国外来华专利技术】...
【专利技术属性】
技术研发人员：T·克拉默，
申请(专利权)人：罗伯特·博世有限公司，
类型：发明
国别省市：DE
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