用于移动基板的系统、设备与方法技术方案

提供了用于在电子元件制造中移动基板的系统、方法及设备。在一些方面中，提供了具有基座部分及至少三个垫的末端执行器。每个所述垫的具有一个接触表面，且至少一个接触表面具有曲面形状。由末端执行器所支撑的基板可以相对高的横向惯性力移动，而不会相对于垫产生大幅度滑动。本发明专利技术还提供了附加的方面。

【技术实现步骤摘要】
【国外来华专利技术】
本专利技术涉及电子元件制造，且更特定地涉及用于移动基板的系统、设备及方法。
技术介绍
在电子元件制造中，可以藉由机械装置(包括机械手(robot))而将基板(例如 硅晶片、玻璃板等)在制造设施周围及制造设备内移动。机械装置可藉由末端执行器(end effector)而与基板接触。末端执行器是制造制程中的一个重要的部件，因为当小心地移动基板时，可以增进任何最终产品的品质。
技术实现思路
在第一方面中，提供一种用于在电子元件制造制程中移动基板的系统。该系统包括机械手(robot)，用于移动基板，其中该机械手包括末端执行器(end effector) 0该末端执行器包括基座部分，以及设置在该基座部分上的至少三个垫，其中每个所述垫包括一接触表面，且至少一接触表面具有曲面形状以及约45Ra 约65Ra的粗糙度。在另一方面中，提供一种用于移动基板的末端执行器。该末端执行器包括基座部分；以及设置在该基座部分上的三个垫，其中每个所述垫具有一接触表面，且所述接触表面的至少其中之一具有曲面形状。在另一方面中，提供一种用于移动基板的末端执行器。该末端执行器包括基座部分，包括钛掺杂(Ti-doped)氧化铝陶本文档来自技高网...

【技术保护点】
１．一种用于在电子元件制造制程中移动基板的系统，包括：机械手，用于移动基板，该机械手包括末端执行器，且该末端执行器包括：基座部分，以及至少三个垫，其设置在所述基座部分上，其中每个所述垫包括一个接触表面，且至少一个接触表面具有曲面形状以及约４５Ｒａ～约６５Ｒａ的粗糙度。

【技术特征摘要】
【国外来华专利技术】...

【专利技术属性】
技术研发人员：P·R·琴恩塔拉帕蒂，
申请(专利权)人：应用材料公司，
类型：发明
国别省市：US