阻气性层压膜的制造方法技术

本发明专利技术提供一种制造生产率良好、制造后就显示高阻气性、且维持优良的阻气性，同时，构成层之间具有优良的密合强度的层压膜的方法、以及通过该制造方法得到的阻气性层压膜。一种阻气性层压膜的制造方法，该制造方法具有：（１）通过真空蒸镀法在基材膜的至少一个表面上形成无机薄膜的工序；（２）通过等离子体化学气相沉积法在工序（１）所形成的无机薄膜上形成薄膜的工序；以及（３）通过真空蒸镀法在工序（２）所形成的薄膜上形成无机薄膜的工序，所述工序（１）以及（３）各自在１×１０－７～１Ｐａ的压力下连续进行，工序（２）在１×１０－３～１×１０２Ｐａ的压力下连续进行。

【技术实现步骤摘要】
【国外来华专利技术】
本专利技术涉及阻气性优异的层压膜以及其制造方法。
技术介绍
从以往开始，以塑料膜为基材、在其表面形成无机薄膜的阻气性塑料膜被广泛利用于需要阻断水蒸气或氧等的各种气体的物品的包装，例如用于防止食品、工业用品以及药品等的变质的包装。又，关于该阻气性塑料膜，除了包装用途之外，近年来作为液晶显示元件、太阳能电池、电磁波护罩、触摸屏、EL用基板、滤色器等中使用的透明导电薄片的新用途也受到瞩目。关于形成这样的无机薄膜而形成的阻气性塑料膜，在各种目的之下研究了若干的改良，例如公开的有，从透明性或阻气性的观点考虑，在塑料膜上依次层压金属氧化物层/ 树脂/金属氧化物层而成的全光线透射率在85%以上的阻气性膜(参阅专利文献1)；以及为防止、抑制金属氧化物的破损，在透明性塑料膜上依次交替层压金属氧化物层、有机物层的阻透膜(参阅专利文献2)。又，专利文献3公开了 在基材的至少一个面上具有由氮化硅以及/或氧化氮化硅形成的阻气膜、具有基材/树脂层/阻挡层/树脂层/阻挡层等的构成的阻挡膜。此外，专利文献4公开了，含有碳含量高的金属氧化物的膜通过作为应力缓和层发挥作用，能够防止膜整体发生皲裂或层之间发生剥离，专本文档来自技高网...

【技术保护点】
１．一种阻气性层压膜的制造方法，具有：（１）通过真空蒸镀法在基材膜的至少一个表面上形成无机薄膜的工序；（２）通过等离子体化学气相沉积法在工序（１）所形成的无机薄膜上形成薄膜的工序；以及（３）通过真空蒸镀法在工序（２）所形成的薄膜上形成无机薄膜的工序，所述工序（１）以及（３）各自在１×１０－７～１Ｐａ的压力下连续进行，工序（２）在１×１０－３～１×１０２Ｐａ的压力下连续进行。

【技术特征摘要】
【国外来华专利技术】...

【专利技术属性】
技术研发人员：吉田重信，
申请(专利权)人：三菱树脂株式会社，
类型：发明
国别省市：JP