本发明专利技术涉及用于投射曝光机的光学元件（１）的减振器件，其包括配置成彼此间隔开的至少两个质量体减振器（３），所述振动吸收器（３）各自具有至少一个减振器质量体（３０）和至少一个减振元件（３２），并且所述至少两个质量体减振器（３）的减振器质量体（３０）借助于至少一个连接元件相互连接。本发明专利技术还涉及投射曝光机的光学元件（１）和投射曝光机。
【技术实现步骤摘要】
【国外来华专利技术】
本专利技术涉及投射曝光机的光学元件的减振器件。本专利技术还涉及一种光学元件，其用于投射曝光机的照明系统和投射系统，或用于以减振器件确切定位光学元件的系统。
技术介绍
半导体光刻用投射曝光机用于半导体部件和其它精细结构器件的光刻生产。在该情况下，掩模(掩模母版)的图案被投射到通常涂覆有感光层的衬底(晶片)上。为此，投射曝光机包括投射物镜，该投射物镜具有多个光学元件，例如透镜、反射镜、光栅或平面平行板，它们经由底座支撑在投射物镜的物镜壳体中。光学元件使照明器件发出的电磁辐射发生折射和/或反射。在例如US6，2^，657B1中公开了一种用于投射物镜的光学元件的安装技术。 US6, 229，657B1公开了包括内环和外环的底座，内环永久地连接于光学元件，并且内环和外环经由分布在周缘上的接头特别是一体式接头(solidjoint)相互连接。使用所谓的操作器来抵消像差。这种操作器包括光学元件和分布在光学元件的圆周上的调节元件，借助于调节元件，光学元件能够定位和/或变形。对光学元件的这些操作导致成像的改变，其抵消整个系统的像差。在一个改进中，用于这种操作器的底座包括容纳光学元件的内环或保持器、和外环或支撑器件，能够借助于调节元件来相对于外环移动内环。接头和/或调节元件就变形而言，使光学元件解耦，优选与外部结构解耦。光学元件与外部结构之间的连接优选具有低刚度。另外，在微技术(microtechnology)中需要对非常细小的结构成像。较大因此也较重的光学元件可用于满足这些需求。光学元件的低刚度和较大质量两者分别降低系统的固有频率。这增大了从外部激起光学元件振动的风险。因此在例如W02006/084657A1中公开了在外环与内环之间设置减振器元件。此外，在W02007/006577A1中公开了在光学元件上具有一个或多个附加质量体的质量体减振器，借助于附加质量体通过摩擦来耗失光学元件的振动能量。这种附加质量体在以下表示为减振器质量体。W02007/006577A1公开了借助于减振器元件将环形减振器质量体装配在光学元件或内环上。减振器元件布置在环形减振器质量体与光学元件或内环之间，并且是例如纤维材料，例如纸、毡或弹性体。这种质量体减振器也表示为环形吸收器。对于具有一个自由度的系统，借助于环形吸收器能够取得良好的减振。进一步已知的是所谓分体式吸收器(segmented absorber)，其布置成彼此间隔开，沿光学元件的周缘分布。各个分体式吸收器包括减振器质量体和减振器元件。这种分体式吸收器能实现多个自由度的减振。
技术实现思路
本专利技术的一个目的是提供一种减振器件，其用于吸收或耗失以多个自由度被激起振动的投射曝光机的光学元件的振动能量。本专利技术的再一目的是提供一种具有减振器件的投射曝光机、和用于投射曝光机的投射物镜的光学元件。该目的和其它目的通过具有权利要求1、10和13的特征的主题得以实现。本专利技术的其它优点来源于从属权利要求。所有权利要求的描述在这里通过引用并入
技术实现思路
。根据本专利技术的第一方面，提供了一种用于投射曝光机的光学元件的减振器件，其包括布置成彼此间隔开的至少两个质量体减振器，所述质量体减振器各自具有至少一个减振器质量体和至少一个减振元件，并且所述质量体减振器的减振器质量体借助于至少一个连接元件相互连接。待减振元件可具有任意的三维受限几何形状。例如，该元件塑造成透镜或圆盘形状。在本专利技术的上下文中，“减振元件”指定为具有弹簧和/或减振性质的元件。在简单实施例中可设置弹簧元件。减振元件优选包括耗失振动能量的材料，例如纸、毡和/或弹性体。在该情况下出现的是，含氟弹性体特别是氟橡胶，例如Viton ,具有良好的耗失振动能量的性质。同时，氟橡胶因耐真空和良好的抗热和抗紫外线能力而适于在投射物镜中应用。根据应用，其它弹性体也是有利的。质量体减振器的固有频率可设计为待消除的频率。给定该频率，质量体减振器从结构体，即被激起振动的光学元件中，引出振动能量。质量体减振器在各情况下起分体式吸收器的作用，因此能够减振多个自由度。质量体减振器的减振器质量体相互连接，使得减振器质量体提供相互支撑。在各情况下，彼此相邻的减振器质量体优选经由一个或多个连接元件相互连接。减振器质量体的支撑消除了例如可能在常规分体式吸收器的情况下发生的寄生固态模式。在一个改进中，个体质量体减振器在沿待减振元件的周缘离散地分布的附接点处可操作地连接至元件。这使得能够将质量体减振器的布置设定在振动激起点和/或具有最大振动幅度的点。在一个改进中，为减振器质量体设置多个离散的(即空间分布的) 附接点。在一个有利改进中，连接元件的质量小于减振器质量体的质量。由此，连接元件具有高固有频率，并且不被激起做挠曲振动或只在高频率范围内被激起，该高频率范围与相关联系统的相关性很小，例如在大于1000Hz的范围内。另外，或作为替代，连接元件的固有频率可受其刚度影响，以将寄生振动模式偏移到非关键范围例如大于1000Hz的范围中。在另一改进中，至少两个减振器质量体和一个连接元件设计成相连的部件，特别是作为单体或一体的部件。所述部件优选塑造为环形元件，特别是封闭的环形元件。这种环形元件能够以简单方法布置在旋转对称的元件上。在另一些改进中，设置匹配于待减振元件的形状的其它构造的部件。在一个有利改进中，设置封闭的环形元件，其具有以交替方式布置的三个减振器质量体和三个连接元件。通常会发生三个平移和三个旋转振动模式。 它们能够被三个减振器质量体有效地吸收，同时系统的设计简单。所述部件优选具有至少一个接头，特别是一体式接头，通过所述接头，减振器质量体和与之相邻的连接元件发生振动传递解耦。在本专利技术的上下文中，单体部件的至少与减振器质量体相比具有减小的挠曲刚度的部位被表示为“一体式接头”。一体式接头能够在单体部件中以简单方式实施。优选将截面的减缩部设置为一体式接头，特别是截面中的不连续或突然的减缩部。截面的减缩部在一改进中以这样的方式实现，即使得连接元件和一体式接头被塑造为部件的具有相同截面的区段。在另一些改进中，一体式接头具有比减振器质量体以及比连接元件小的截面。截面的减缩部优选通过环形元件的高度变化来实现。在另一些改进中，可提供环带的半径变化。在再一些改进中，所述部件包括借助于弹簧元件相互连接的多个离散的减振器质量体。弹簧元件在该情况下用作连接质量体并用作接头。替代地或附加地，设置铰链。在另一改进中，所述部件在至少一个支承点处直接或间接地耦联至待减振元件。 因支承点而取得沿X和y方向的进一步的稳定。支承点优选塑造和/或布置成不损害减振器件的ζ方向的振动响应。在一个改进中，支承点为此布置在振动节点中。在另一些改进中，支承设计成沿ζ方向的可动支承。在一个改进中，在光学元件的情况下，支承点设置在容纳光学元件的内环上，从而实现间接的附接。在本专利技术的另一改进中，振动吸收器中的至少一个振动吸收器具有至少两个或两个以上的减振元件，这时的减振器质量体借助于减振元件耦联至待减振元件。减振器质量体和减振元件在该情况下优选彼此调和，使得减振器质量体构成最大振动幅度位于减振元件的区域中的振动形式。根据本专利技术的另一方面，用于投射曝光机的投射物镜的光学元件设置有本专利技术的减振器件。质量体减振器特别是减振器质量体、减振元件和/或附接点本文档来自技高网...
【技术保护点】
１．减振器件，用于投射曝光机的光学元件（１），包括布置成彼此间隔开的至少两个质量体减振器（３），所述质量体减振器（３）各自具有至少一个减振器质量体（３０）和至少一个减振元件（３２），其特征在于，所述至少两个质量体减振器（３）的减振器质量体（３０）借助于至少一个连接元件（４）相互连接。
【技术特征摘要】
【国外来华专利技术】...
【专利技术属性】
技术研发人员：A沃格勒，
申请(专利权)人：卡尔蔡司SMT有限责任公司，
类型：发明
国别省市：DE
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