一种电化学腐蚀装置及其操作方法制造方法及图纸

本发明专利技术公开了一种用于场发射电子源的单晶钨丝的电化学腐蚀装置及其操作方法。本发明专利技术的电化学腐蚀装置包括直角支撑架、固定基准板、双向倾斜板、垂直调节板、陶瓷座固定架、U型管支撑架以及U型管。本发明专利技术是采用三维位置调节模块，构成一种新的电化学腐蚀装置，这种电化学腐蚀装置可以方便精确的调整场发射电子源的单晶钨丝插入腐蚀液的垂直度和侵入液面的深度，因此操控简单，控制精确，稳定性好，一旦获得最佳条件，其成功率可以达到95％以上；而且本发明专利技术采用U型管作为电解槽，能有效隔离两个电极并能减小两个电极在反应过程中因产生气泡而相互影响，还有利于信号源引线的连接，此外与烧杯作为电解槽相比，U型管电解槽更加节省腐蚀液。

【技术实现步骤摘要】

【技术保护点】
１．一种电化学腐蚀装置，其特征在于，所述电化学腐蚀装置包括直角支撑架、固定基准板、双向倾斜板、垂直调节板、陶瓷座固定架、Ｕ型管支撑架以及Ｕ型管，其中，所述直角支撑架固定在用以防止震动的光学平台上；所述固定基准板通过螺丝固定在所述直角支撑架的支撑面上；所述双向倾斜板的后表面与固定基准板的前表面相对并相连；所述垂直调节板固定在所述双向倾斜板的前表面上；所述陶瓷座固定架安装在所述垂直调节板的前表面上；所述Ｕ型管支撑架固定在所述直角支撑架的支撑面上并且位于所述固定基准板的正下方；所述Ｕ型管放置在所述Ｕ型管支撑架上。

【技术特征摘要】

【专利技术属性】
技术研发人员：徐军，袁明艺，王朋博，刘亚齐，
申请(专利权)人：北京大学，
类型：发明
国别省市：11