【技术实现步骤摘要】
【国外来华专利技术】
本专利技术是有关于在含氪、氙等的高附加价值气体的气体混合物中分离回收高附加价值气体的方法，更具体地说，是在主要含有高附加价值气体和氮的气体混合物中，利用压力变动吸附分离工艺，以浓缩分离回收高附加价值气体，并将之循环再利用的气体分离方法及装置。在此等离子体处理中，使惰性气体流通至氮气环境的处理室内并利用高频率放电产生等离子体之后，于取出基板时，是以氮气净化处理室。关于此种处理所使用的惰性气体，公知技术虽使用氩气，但近年为了进行更高度的处理，氪及氙便成为焦点。氪和氙在空气中的存在比很低，且分离工程又复杂，因而其为极高价的气体。为了让使用此类气体的工艺符合经济，把使用完的惰性气体以高回收率纯化，且循环再利用为其必要条件。利用压力变动吸附分离(以下称PSA)工艺，把氮气中的高附加价值气体以高纯度且95～99％以上的回收率连续回收的方法及装置，已有如日本专利早期公开的特开2002-126435号所记载的方法及装置。此公报所记载的方法为一组合方法，组合利用氮和高附加价值气体的平衡吸附量差，以吸附去除易吸附成份的高附加价值气体，并把难吸附成份的氮当作排出气体而排出系统外的...
【技术保护点】
一种气体分离方法，应用于以一压力变动吸附法从包含至少２种主要气体成份的一原料气体中分离出该些主要气体成份，其特征是，该方法包括： 一第１分离工艺，使用一第１吸附剂，该第１吸附剂对于一第１主要气体成份为难吸附性，而对于一第２主要气体成份为易吸附性，以将该第１主要气体成份当作一第１制品气体分离出； 一第２分离工艺，使用一第２吸附剂，该第２吸附剂对于一第１主要气体成份为易吸附性，而对于一第２主要气体成份为难吸附性，以将该第２主要气体成份当作一第２制品气体分离出； 在该第１及该第２分离工艺中，该些吸附剂再生时所排出的再生排出气体混合至该原料气体的一循环原料气体，当...
【技术特征摘要】
【国外来华专利技术】...
【专利技术属性】
技术研发人员：浦上达司，长坂彻，川井雅人，中村章宽，
申请(专利权)人：日本酸素株式会社，
类型：发明
国别省市：JP[日本]
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