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ZnSnS薄膜与ZnSnS/SnS 异质结的制备与太阳能电池应用制造技术

技术编号:7049725 阅读:360 留言:0更新日期:2012-04-11 18:40
三元ZnSnS薄膜的制备方法,以玻璃、陶瓷或硅片镀有金属膜作为电极构成带电极的衬底材料、或采用ITO衬底,经清洗后在电解液中以脉冲电位法进行电沉积,电解液的温度为室温至45℃;电沉积过程:在阴极即工作电极上夹好带电极的衬底或ITO衬底浸入到电解液中,调节脉冲电位法的参数为,开启电位-1.0至-1.2V,开启时间10,沉积时的关断电位不是0V,而是设置为负关断电位-0.6V,关断时间10s;重复上述电沉积过程或增加相应的脉冲次数以获得需要的厚度;本发明专利技术的改进脉冲电沉积制备方法,一步获得相关薄膜,其设备和制备过程简单,可实现大面积制备,成本低。

【技术实现步骤摘要】

【技术保护点】
1.三元ZnSnS薄膜的制备方法,其特征是电沉积一步生长ZnSnS薄膜的方法,具体过程如下:玻璃、陶瓷或硅片镀有金属膜作为电极构成带电极的衬底材料、或采用ITO衬底,经清洗后在电解液中以脉冲电位法进行电沉积,电解液的温度为室温至45℃;电沉积过程:在阴极即工作电极上夹好带电极的衬底或ITO衬底浸入到电解液中,调节脉冲电位法的参数为,开启电位-1.0至-1.2V,开启时间10±2s,沉积时的关断电位不是0V,而是设置为负关断电位-0.6±0.1V,关断时间10±2s;重复上述电沉积过程或增加相应的脉冲次数以获得需要的厚度;电解液的配备:硫代硫酸钠为100±20mM,硫酸锌为20-40mM,调节硫酸亚锡的浓度从0.1-10mM来制备出具有不同Sn组分比的薄膜,然后通过滴入稀硫酸使溶液pH调节为2.0-4。

【技术特征摘要】

【专利技术属性】
技术研发人员:徐骏喀哈尔·玉苏普林涛徐岭陈坤基肖金荣耿雷
申请(专利权)人:南京大学
类型:发明
国别省市:84

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