【技术实现步骤摘要】
【技术保护点】
1.一种微型动态压阻压力传感器的制造方法,其特征在于包括以下步骤:1)用MEMS硅体微机械加工方法制造微型压力敏感芯片,该压力敏感芯片为微型E型硅杯力敏结构;2)该压力敏感芯片背面用静电键合工艺与光学抛光的Pyrex或GG-17玻璃环片(6)焊接在一起,形成压力敏感组件,以加强该芯片的耐封装强度;3)该压力敏感组件的玻璃环裸露面用硅橡胶粘接剂粘接在外周面设有多条花键槽(7)的瓷管(10)上端面,该花键槽内设有焙银电极;4)该压力敏感组件的力敏惠斯顿电桥的电引出是在该芯片正面内压焊点用金丝球焊机焊上金丝内引线(11),将该金丝内引线的另一端用微型焊机焊接到该焙银电极的上端;5)用微型焊机将外引线(18)焊接到该焙银电极的下端,实现引线转接引出;6)将带有花键槽瓷管的压力敏感组件装入作为传感器外管(13)的薄壁不锈钢管或可伐合金管内,用环氧粘合剂或硅橡胶粘合剂将该瓷管与该传感器外管密封粘合;7)该传感器外管顶端用激光焊接方法焊接一个顶盖(7),对应该压力敏感芯片正面上方的该顶盖中心部设有一个小孔;8)将引出该外引线的微型电缆(9)和连通该压力敏感芯片的背压腔、实现与该传感器表压平衡的微型可 ...
【技术特征摘要】
【专利技术属性】
技术研发人员:王文襄,
申请(专利权)人:昆山双桥传感器测控技术有限公司,王文襄,
类型:发明
国别省市:32
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