微影投射设备、气体洗涤方法、装置制造方法及洗涤气体的供应系统制造方法及图纸

一种微影投射设备，包括：支撑件，被建构来支撑一图案成形装置，该图案成形装置被建构以依据一图案而使一投射光束形成图案。该设备具有基板平台，被建构成托住一基板；及投射系统，被建构成投射被图案成形过的光束到该基板的目标区域之上。该装置也具有一洗涤气体供应系统，其被建构来将一种洗涤气体提供到靠近微影投射设备的一组件的表面。该洗涤气体供应系统包括：洗涤气体混合物产生器，被建构来产生一洗涤气体混合物，包括至少一洗涤气体与雾气。该洗涤气体混合物产生器具有：一雾化器，被建构来将雾气加入到洗涤气体中；以及一洗涤气体混合物出口，被连接到洗涤气体混合物产生器，洗涤气体混合物产生器被建构来将洗涤气体提供到靠近该表面。

【技术实现步骤摘要】
微影投射设备、气体洗涤方法、装置制造方法及洗涤气体的供应系统本申请是原申请的申请日为2007年3月28日，申请号为2007800115338，专利技术名称为《微影投射设备、气体洗涤方法、装置制造方法及洗涤气体的供应系统》的中国专利申请的分案申请。本申请案主张2006年4月3日提出申请的美国专利申请案第11/396，823号的利益，且为此美国申请案的连续案；本申请案主张2003年7月21日提出申请的美国专利申请案第10/623，180号的利益，且为此美国申请案的部分连续申请案；且本申请案主张2004 年7月21日提出申请的国际专利申请案第PCT/US2004/023490号的利益，且为该国际申请案的部分连续申请案；且本申请案主张2004年7月21日提出申请的美国专利申请案第 10/565，486号的利益，且为该美国申请案的部分连续申请案；这些申请案的内容整体以参考的方式加入本文之中。
技术介绍
出现在一种微影投射设备的组件的表面于使用期间会逐渐受到污染，即使该设备大部分是在真空下操作也是如此。特别是，在微影投射设备中例如反射镜的光学元件的污染对于该设备的操作方面会有不利的影响，因为此种污染影响到光学元件的光学特性。微影投射设备的光学元件污染已知会藉由用一种超高纯度的气体洗涤微影投射设备的空间而降低，此种光学元件位在该空间中，该超高纯度的气体被称为洗涤气体。该洗涤气体防止表面的污染，例如，受到碳氢化合物的分子污染。这种方法的其中一项缺点是洗涤气体对用于微影制程的化学活性方面会有不利的影响。因此，需要一种修改的洗涤气体，其能够降低在微影投射系统中光学元件的污染， 但是却不会对用于微影制程的化学活性方面有不利的影响。
技术实现思路
本专利技术含有一个微影投射设备，其可以包括一个照明器与一个支撑结构，该照明器被建构来提供一道辐射束，而该支撑结构则被建构来支撑一个图案成形装置。图案成形装置被建构来依据一个想要的图案使一道投射束形成图案。一个基板平台被建构来握持一个基板。一个投射系统被建构来投射被图案成形过的光束到该基板的目标部分上。至少一个洗涤气体供应系统被建构来将一种洗涤气体提供到至少部分的微影投射设备。该至少一个洗涤气体供应系统具有一个洗涤气体混合物产生器，而该洗涤气体混合物产生器则包括一个蒸发器，其被建构来将蒸气加入到一种洗涤气体中，以形成一种洗涤气体混合物。在某些变化形式中，该洗涤气体主要由该洗涤气体与一种来自可蒸发液体的蒸气所组成。在某些实施例中，该洗涤气体混合物能够包括一种洗涤气体与一种来自可蒸发液体的蒸气。该可蒸发液体形成一种在该洗涤气体中未受到污染的蒸气，而该混合物被用来降低或减少在微影投射设备中的光学元件的污染，同时维持在一个基板的上的披覆物的化学活性。一个洗涤气体混合物出口被连接到洗涤气体混合物产生器，并且能够被建构来将洗涤气体混合物供应到至少部分的微影投射设备。在该洗涤气体混合物产生器中的蒸发器是在高流率下将蒸气加入到洗涤气体中，而不会对该洗涤气体造成超过Ippt (每兆分之一)的污染物。在某些实施例中，在洗涤气体混合物产生器中的蒸发器是在高流率下将蒸气加入到洗涤气体中，而不会对该洗涤气体造成超过Ippb (每十亿分之一)的污染物，Ippb的污染物降低在微影投射系统中光学元件的光学特性。本专利技术的一个方面是提供一种改良式微影投射设备，特别是使用某种洗涤气体就能够降低污染物，而不会影响光阻剂显影的一种微影投射设备。依据本专利技术的一个方面，一种微影投射设备包括一个照明器与一个支撑结构，该照明器被建构来提供一道辐射束，而该支撑结构被建构来支撑一个图案成形装置。该图案成形装置被建构以依据一个想要的图案来使一道投射束形成图案。一个基板平台被建构来握持一个基板。一个投射系统被建构来投射被图案成形过的光束到该基板的目标部分的上。至少一个洗涤气体供应系统被建构来将一种洗涤气体提供到至少部分的微影投射设备。该至少一个洗涤气体供应系统具有一个洗涤气体混合物产生器，而该洗涤气体混合物产生器则包括一个蒸发器，或者该蒸发器被建构来将湿气加入到一种洗涤气体中。该洗涤气体混合物产生器被建构来产生一种洗涤气体混合物。该洗涤气体混合物包括至少一种洗涤气体与该湿气。一个洗涤气体混合物出口被连接到洗涤气体混合物产生器，并且能够被建构来将该洗涤气体混合物供应到至少部分的微影投射设备。因此，存在着湿气，而化学活性，例如，阻剂的显影，并不会受到洗涤气体混合物的影响。依据本专利技术另一个方面，一种洗涤气体供应系统，其包含一个洗涤气体混合物产生器，而该洗涤气体混合物产生器包括一个雾化器，其被建构来将雾气增加到一种洗涤气体中。该洗涤气体混合物产生器被建构来产生一种洗涤气体混合物且包括一个洗涤气体出口，而该洗涤气体混合物包括至少一种洗涤气体与雾气。在某一个实例中，洗涤气体出口被建构来将洗涤气体混合物供应到至少一部分的微影投射设备。在本专利技术的某一型式中， 该洗涤气体混合物是一种由洗涤气体与雾气组成的成分，该种成分包含小于大约Ippb的对于光学元件的光学特性方面会有不利影响的污染物，该等光学元件则与辐射交互作用， 以在微影投射设备中的基板形成一个图案。在一个较佳实施例中，该洗涤气体混合物供应系统包括一个洗涤气体源、一个水源、与一个洗涤气体混合物产生器，而该洗涤气体混合物产生器具有一个雾化器，其被建构来将雾气增加到一种洗涤气体中。选择上，该供应系统也包括一个用于水的加热装置，使得水在进入雾化器时或在进入雾化器前被加热。在本专利技术的某个型式中，该蒸发器是用于洗涤气体供应系统的一种雾化器，而微影投射设备较佳包括一个包含一洗涤气体流的第一区域与一个包含水的第二区域，第一区域与第二区域是被蒸发器的一个气体可渗透式薄膜在洗涤气体供应系统处隔开，该蒸发器实质上可以抵抗可蒸发液体的液体侵入。更佳地，雾化器包含具有一个第一端部与一个第二端部的一束全氟化气体可渗透式塑料中空纤维薄膜，该等薄膜具有一个外表面与一个内表面，而该内表面包括一个内腔(lumen)，而每一个纤维束的端部是以一个液密式全氟化热塑性密封件封住(potted)，而形成一个单件式端部结构，而该单件式端部结构具有一个环绕的全氟化热塑性外罩，纤维端部则对于流体流动开放。该外罩具有一个内壁与一个外壁，而该内壁界定一个在该内壁与该等中空纤维薄膜之间的流量容积；该外罩包括一5个洗涤气体入口，而该洗涤气体入口被连接到该洗涤气体源与一个洗涤气体混合出口。该外罩包括一个被连接到该水源的水入口及一个水出口，该洗涤气体入口不是被连接到该纤维束的第一端部且该洗涤气体混合物出口被连接到该纤维束的第二端部，就是该水入口被连接到该纤维束的第一端部且该水出口被连接到该纤维束的第二端部，其中，该洗涤气体混合物包含至少一种洗涤气体与湿气。依据本专利技术的另一个方面，一种用于将蒸气加入洗涤气体的方法包括将该洗涤气体输送通过上述的蒸发器一段足以将蒸气加入洗涤气体的时间。含有蒸气的洗涤气体被提供到至少一部分的微影投射设备。在一个实施例中，该蒸气是水蒸气，且包括藉由将湿气加入到一种洗涤气体中的方式来产生一种洗涤气体混合物的动作，而该洗涤气体混合物具有至少一种洗涤气体与湿气，以及将该洗涤气体混合物供给到至少一部分的微影投射设备，而该洗涤气体混合物包括一种洗涤气体本文档来自技高网...

【技术保护点】
１．一种设备，其包括：一洗涤气体混合物产生器，该洗涤气体混合物产生器包括一蒸发器，该蒸发器被建构来将一可蒸发液体加入到一洗涤气体中，以产生一洗涤气体混合物，其中，该蒸发器包括一含有一洗涤气体流的第一区域及一含有该可蒸发液体的第二区域，其中该第一区域与第二区域是由一薄膜接触器所隔开，该蒸发器進一步包含一洗涤气体混合物出口；一温度调节系统，该温度调节系统将该蒸发器的温度、该洗涤气体混合物出口的温度或上述这些的组合的温度维持在一个或更多的设定点范围内；以及一压力调节系统，该压力调节系统维持可蒸发液体与洗涤气体的压力，以防止在该薄膜接触器中在该可蒸发液体中形成洗涤气体的气泡。

【技术特征摘要】
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【专利技术属性】
技术研发人员：罗瑟·J·霍姆斯，约翰·E·皮莱恩，
申请(专利权)人：恩特格林斯公司，
类型：发明
国别省市：US