【技术实现步骤摘要】
【技术保护点】
１．一种制备硅纳米结构材料或其阵列材料的方法，包括下述步骤：以单晶硅为阳极，惰性电极为阴极，将所述阳极和阴极置于电解液中，并向所述电解液中加入与水不混溶的烃类溶剂；在所述阳极施加电流，进行电化学氧化反应，反应结束后得到所述硅纳米结构材料或其阵列；其中，所述电解液由质量浓度为１０－３０％的氢氟酸溶液、有机溶剂和催化剂组成；所述有机溶剂为甲醇、乙醇或它们任意比例的混合物，所述催化剂为多酸化合物、过氧化氢或它们的混合物；所述与水不混溶的烃类溶剂的密度小于水的密度。
【技术特征摘要】
【专利技术属性】
技术研发人员：康振辉，刘阳，张晓宏，李述汤，
申请(专利权)人：中国科学院理化技术研究所，
类型：发明
国别省市：11
还没有人留言评论。发表了对其他浏览者有用的留言会获得科技券。