用于测量透明板中的处理引起特征的装置制造方法及图纸

本实用新型专利技术涉及用于传输模式测量的偏轴板操纵装置及其技术，提供了一种测量装置(2)和测量方法，该测量装置用于测量透明板(10)中的处理引起特征。该测量装置包括光源(10)、成像装置(80)以及支承结构(30)，该支承结构设置在光源和成像装置之间。该支承结构构造成且设置成支承透明板，从而当通过成像装置进行观察时，由支承结构引起的测量误差沿第一轴线或平行于第一轴线(46、54)延伸，当通过成像装置进行观察时，透明板中的处理引起特征沿第二轴线或平行于第二轴线延伸，第一轴线倾斜于第二轴线(22、24)。（*该技术在2020年保护过期，可自由使用*）

【技术实现步骤摘要】

本技术涉及用于在检查过程中、操纵薄板的支承结构和方法，尤其涉及用于在传输模式测量过程中、操纵薄的透明板的支承结构和方法。
技术介绍
最近，主要由于液晶(IXD)电视的普遍以及被人们所接受，因而显著的注意力已聚焦在对于诸如玻璃板的透明基板中的缺陷的检测上。这样，该产业现在面临满足增大体积的需求的挑战，与此同时，严格遵循LCD传输模式的技术条件来操纵基板。此外，用在LCD 产业中的透明板已增大尺寸，而与此同时，保持相同厚度或甚至变得更薄。因此，存在以下挑战稳固地保持大且薄的透明板，从而可进行检查测量，而同时在考虑由用于保持透明板的结构所导致的误差条件下，仍能保持测量精度。传输模式测量包括使光从一个平坦面通过透明板至相对的平坦面，且测量光通过时光的变化。传输模式测量可用于检测例如在透明板中的处理引起特征，例如杂质、厚度变化、线纹、条纹以及应力。例如就进行应力测量来说，保持板的方式将影响测量，这是由于应力可能由保持结构以及板的形状的相互作用而引起。如果板完全平整，则当由保持结构保持在基本平坦的构造中时，其形状将不会改变，且由此，保持结构将不会影响应力测量。然而，透明板并不完全平整，反而它们包括一些形状差异(即使在显示器行业中，大多数很小)，例如，翘曲、 弓形、凸形或凹形，这些形状差异在板与板之间都不一定相同。此外，这样的形状差异在板的不同区域具有各种程度。因此，当透明板在测量过程中由保持结构弄平时，板的形状改变，这会在传输模式测量中产生误差。例如，处于通常的休止状态的透明板包括应力分布， 该应力分布影响通过板的光的透射率。当板被弄平时，由于在支承结构中，应力分布改变， 从而还包括弄平板时支承结构所引起的应力。因此，影响板的应力测量的精度。希望的是， 尽可能估计并去除由支承结构所因此的误差。然而，并不总是易于区分由支承结构引起的应力和透明板中自然产生的应力。鉴于上文所述，需要一种检查方法和装置，该检查方法和装置能稳固地保持大且薄的透明基板，从而能尽可能地估计并去除易于被检测的支承结构引起的误差。
技术实现思路
本申请描述用于对于诸如薄的透明玻璃板之类的板进行传输模式测量的一种装置和技术，其中，便于对于各种单独获取的或与其它特征的各种组合获取的特征进行测量 稳固地保持板，从而可进行精确地测量；从与板中有关的特征中区分支承结构引起的误差； 快速地进行完整的板测量；以及测量各种板的尺寸。可稳固地保持薄板的装置的特征包括使支承结构相对于板的轴线进行偏轴定向；支承结构的棒或其它支承结构沿倾斜于待测量的板的交叉和下拉轴线的方向延伸；压力/真空源联接于支承结构，从而作用在板上；和/或即使并不一定需要，支承结构的尺寸3大于板的尺寸。由于支承结构沿倾斜于板的主轴的方向延伸，因而支承结构穿过板边缘，从而在任何给定时刻，尤其是在测量有关的处理引起特征的过程中，仅仅沿板边缘的非常短的部段未被支承。因此，稳固地保持该板。装置的易于从有关的处理引起特征中区分支承引起误差的特征包括支承结构构造成且设置成沿一定轴线引起测量误差，该轴线倾斜于处理引起特征在板中延伸的方向； 和/或图像捕捉单元、成像装置的像素沿平行于板的轴线且倾斜于支承结构的轴线的轴线定向。处理引起特征通常沿形成板的方向延伸。在许多情形中，这些特征(例如，厚度变化、线纹、条纹、板中的突变点和杂质、以及应力)自身显然具有定向匹配，匹配拉伸透明板的定向，即沿向下拉伸方向。在其它情形中，一些特征自身显然可沿着与拉伸透明板垂直的方向，即交叉拉伸方向。因此，使支承结构定向成其在测量中引起的误差沿相对于交叉拉伸轴线或向下拉伸轴线倾斜的轴线延伸，以便于从待测量的相关的处理引起特征中区分这些误差。能加快处理的装置的特征包括在其上可捕捉板的图像的观察区域的尺寸比待测量的板的尺寸大上一定量值，该量值大于或等于阻挡区域或无法成像区域的尺寸；可成像区域的尺寸大于无法成像区域的尺寸；支承结构与板通过测量装置传输的方向形成约25 度到约65度的角；和/或支承结构的尺寸大于板的尺寸。因此，板可进行成像，而通过阻挡区域或无法成像区域的尺寸变位，板可再次进行成像。这便于利用少至两个覆盖图像来进行完整板测量，从而加快处理过程。能够实现对于板的尺寸不敏感的装置的特征包括支承结构沿相对于板的主轴倾斜的方向延伸。因此，由于这些支承结构对角地延伸通过板，且由此并不需要隔开特定的板尺寸，因而测量装置很大程度上对于被测量的板的尺寸不敏感。换言之，由于支承结构倾斜于板的主轴进行延伸，因而甚至当支承结构处于略小于板部段至远大于板部段的尺寸范围中时，支承结构仍可使板部段保持稳定。借助非限制实施例，根据以下方面可组合各种特征根据第一方面，提供一种测量装置，该测量装置用于测量在透明板中的处理引起特征，且包括光源；成像装置；以及透明板支承结构，该透明板支承结构设置在光源和成像装置之间，其中，支承结构构造成且设置成支承透明板，从而当通过成像装置进行观察时，由支承结构引起的测量误差沿第一轴线或平行于第一轴线延伸，当通过成像装置进行观察时，透明板中的处理引起特征沿第二轴线或平行于第二轴线延伸，第一轴线倾斜于第二轴线。根据第二方面，提供如方面1或3-6中的任何一个方面所述的装置，其中，处理引起特征包括应力。根据第三方面，提供如方面1所述的测量装置，其中，支承结构包括棒，该棒沿相对于第二轴线倾斜的轴线延伸。根据第四方面，提供如方面3所述的测量装置，其中，棒包括开口，且支承结构包括与这些开口连通的真空源。根据第五方面，提供如方面3所述的测量装置，其中，在棒之间设有空间，棒包括第一宽度，而空间包括第二宽度，此外，第一宽度小于或等于第二宽度。根据第六方面，提供如方面1所述的测量装置，其中，成像装置包括沿第三轴线定向的像素，支承结构包括这样的空间通过这些空间可由成像装置观察到源自光源的光线， 这些空间包括与第一轴线平行的纵向轴线，此外，第三轴线相对于该纵向轴线倾斜。根据第七方面，提供一种测量方法，该方法用于测量在透明板中的处理引起特征， 且包括将透明板设置在支承结构上，该支承结构设置在光源和成像装置之间；支承透明板，从而当通过成像装置进行观察时，由支承结构引起的测量误差沿第一轴线或平行于第一轴线延伸，当通过成像装置进行观察时，透明板中的处理引起特征沿第二轴线或平行于第二轴线延伸，第一轴线倾斜于第二轴线。捕捉透明板的第一部段的第一图像；使透明板运动，然后捕捉透明板的第一部段的第二图像；以及将第一图像和第二图像组合起来，以形成透明板的第一部段中的处理引起特征的图像。根据第八方面，提供如方面7所述的方法，其中，第一图像和第二图像一起覆盖透明板的第一部段的整个区域。根据第九方面，提供如方面8所述的方法，其中，透明板的第一部段包括透明板的整个区域。根据第十方面，提供如方面7-9中任何一个方面所述的方法，其中，该方法还包括在运动步骤中，使透明板与传送装置接触，但在捕捉第一图像和第二图像的步骤中，使透明板与传送装置不接触。根据第十一方面，提供如方面7-10中任何一个方面所述的方法，其中，该方法还包括在捕捉第一图像和第二图像的步骤之前，弄平透明板，以及在捕捉第一图像和第二图像的步骤中，使透明板保持在弄平状态。根据第十二方面，提供如方面11所述的方法，其本文档来自技高网...

【技术保护点】
１．一种用于测量透明板中的处理引起特征的装置，包括：光源；成像装置；以及透明板支承结构，所述透明板支承结构设置在所述光源和所述成像装置之间，其中，所述支承结构构造成且设置成支承所述透明板，以使由所述支承结构引起的测量误差在沿第一轴线或平行于第一轴线延伸时被所述成像装置观察到，当通过所述成像装置进行观察时，所述透明板中的所述处理引起特征沿第二轴线或平行于第二轴线延伸，所述第一轴线倾斜于所述第二轴线。

【技术特征摘要】
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【专利技术属性】
技术研发人员：R·S·普里斯特雷，E·A·索哈林，
申请(专利权)人：康宁股份有限公司，
类型：实用新型
国别省市：US