【技术实现步骤摘要】
本专利技术涉及一种多线切割技术，特别是涉及一种金刚线开方机的张力调整机构。
技术介绍
线切割技术是目前世界上比较先进的硅片加工技术，它的原理是通过一根高速运 动的钢线带动附着在钢线上的切割刃料对半导体等硬脆材料进行摩擦，从而达到切割目 的。线切割技术与传统的刀锯片、砂轮片及内圆切割相比有具有效率高，产能高，精度高等 优点。在对工件的切割过程中，钢线通过十几个导线轮的引导，在主线辊上形成一张线 网，而待加工工件通过工作台的上升下降实现工件的进给，并在压力泵在的作用下，装配在 设备上的研磨剂自动喷洒装置将研磨剂喷洒至钢线和工件的切削部位，由钢线带动研磨剂 往复运动，利用研磨砂对工件产生切削，以将半导体等硬脆材料一次同时切割为数百片，在 上述的作业中，钢线的作用举足轻重，但即便最好的钢线，其延伸度及耐磨度也是有限度 的，也就是说钢线在带动研磨剂往复运动中会逐渐变细，直至最终被拉断。在现有技术中，常见的线切割设备(机床)都会设计钢线张力补偿机构，请参阅 图1，图1显示为现有技术的线切割设备中钢线张力补偿机构示意图，如图所示，所述钢线 张力补偿机构包括设置于机架10上的...
【技术保护点】
一种金刚线开方机的张力调整机构，应用于具有贮丝筒、单层缠绕在所述贮丝筒上的金刚线、以及对所述金刚线进行导向的第一导向轮及第二导向轮的金刚线开方机上，其特征在于，所述张力调整机构至少包括：张紧轮，设置于所述第一导向轮及第二导向轮之间，用于牵引所述第一导向轮及第二导向轮之间的金刚线；张力传感器，设置于所述张紧轮上，不断感测所述张紧轮上金刚线的张力值，并于该张力值小于预设值时发出驱动信号；伺服电机，电性连接所述张力传感器，用于接收到所述张力传感器发出的驱动信号后开始工作；以及丝杆，一端连接所述张紧轮，另一端连接所述伺服电机，并于伺服电机工作时牵引所述张紧轮进行单向位移，以调整所述金刚线的张力。
【技术特征摘要】
【专利技术属性】
技术研发人员：卢建伟，
申请(专利权)人：上海日进机床有限公司，
类型：发明
国别省市：31
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