【技术实现步骤摘要】
【技术保护点】
1.一种微发电机,其特征在于,包括收集电极结构和驻极体结构,设置在收集电极结构和驻极体结构之间作为轴承的微型球,其中,所述收集电极结构包括:一衬底;制备在衬底上且与衬底绝缘的若干金属电极对;制备在衬底上与金属电极对垂直分布的深槽;所述驻极体结构包括:一衬底;制备在衬底上成条状间隔平行排布的驻极体条;制备在衬底上与驻极体条垂直分布的深槽;收集电极结构上的深槽和驻极体结构上的深槽相对放置,微型球放置在相对的深槽中,驻极体条与电极条相互平行。
【技术特征摘要】
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