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一种微发电机及其制备方法技术

技术编号:6966076 阅读:346 留言:0更新日期:2012-04-11 18:40
本发明专利技术提供一种微发电机,包括收集电极结构和驻极体结构,设置在收集电极结构和驻极体结构之间作为轴承的微型球,其中,所述收集电极结构包括:一衬底;设置在衬底上且与衬底绝缘的若干金属电极对;设置在衬底上与金属电极对垂直分布的深槽;所述驻极体结构包括:一衬底;设置在衬底上成条状间隔平行排布的驻极体条;设置在衬底上与驻极体条垂直分布的深槽;收集电极结构上的深槽和驻极体结构上的深槽相对放置,微型球放置在相对的深槽中,驻极体条与电极条相互平行。本发明专利技术以微型球作为轴承支撑,可以通过槽深或槽宽来控制金属电极与驻极体之间的间距,有利于提高微型发电机的输出功率。

【技术实现步骤摘要】

【技术保护点】
1.一种微发电机,其特征在于,包括收集电极结构和驻极体结构,设置在收集电极结构和驻极体结构之间作为轴承的微型球,其中,所述收集电极结构包括:一衬底;制备在衬底上且与衬底绝缘的若干金属电极对;制备在衬底上与金属电极对垂直分布的深槽;所述驻极体结构包括:一衬底;制备在衬底上成条状间隔平行排布的驻极体条;制备在衬底上与驻极体条垂直分布的深槽;收集电极结构上的深槽和驻极体结构上的深槽相对放置,微型球放置在相对的深槽中,驻极体条与电极条相互平行。

【技术特征摘要】

【专利技术属性】
技术研发人员:张锦文杨兆辉王靖
申请(专利权)人:北京大学
类型:发明
国别省市:11

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