搬送室、基板处理装置和基板异常的检测方法制造方法及图纸

本发明专利技术提供一种能够对大型FPD基板在搬送室内的位置偏移和缺口等异常可靠地进行检测的基板处理装置和一种基板异常的检测方法。将基板(S)载置在搬送装置(50)的滑动拾取器(513)上，从搬送室(20)内经过闸门开口(22d)向处理腔室(10b)搬入时，由左右配置的一对传感器(70、70)向基板(S)两端部附近的虚线(A、B)表示的部位照射光线，根据其反射率或透过率，对基板(S)的位置偏移和缺陷等进行检测。

【技术实现步骤摘要】

本专利技术涉及，例如，涉及对平板显示器(FPD)用玻璃基板等进行蚀刻等处理的基板处理装置的搬送室、具有该搬送室的基板处理装置、和检测基板的位置偏移和缺口等的基板异常的检测方法。
技术介绍
在以液晶显示器(LCD)为代表的平板显示器(FPD)的制造过程中，使用包括多个在真空下对玻璃基板实施蚀刻、灰化(ashing)、成膜等规定的处理的真空处理装置的所谓多腔室型的真空处理系统。这样的真空处理系统具有配置有搬送基板的搬送装置的搬送室、和设置在其周围的多个处理腔室(process chamber)，利用搬送室内的搬送臂将被处理基板搬入各处理腔室内、并且将处理结束的基板从各真空处理装置的处理腔室搬出。负载锁定室与搬送室连接，在大气侧的基板搬入搬出时，将处理腔室和搬送室维持在真空状态，能够对多个基板进行处理。可是，最近强烈要求FPD用玻璃基板的大型化，以至出现了一边超过an的巨大的玻璃基板，与此对应，装置也要大型化，装置中使用的各种构成要素也要大型化。伴随玻璃基板的大型化，在搬送途中即使产生极小的位置偏移，在处理腔室中也会出现较大的位置偏移，所以担心对蚀刻等处理内容造成影响。关于搬送室内的位置本文档来自技高网...

【技术保护点】
１．一种搬送室，与对矩形基板进行规定处理的处理室邻接配置，具有向该处理室搬送基板的搬送装置，其特征在于，包括：搬入搬出由所述搬送装置搬送的基板的开口部；和与所述开口部对应，在所述搬送室内的所述开口部附近，以与基板的相对位置关系相同的方式，以比基板的宽度窄的间隔左右配置的一对光学传感器，所述一对光学传感器，以对距经由所述开口部搬入搬出的基板的两端部分别为５～１０ｍｍ的内侧的部位照射光的方式设置。

【技术特征摘要】
2005.09.05 JP 2005-2564681.一种搬送室，与对矩形基板进行规定处理的处理室邻接配置，具有向该处理室搬送基板的搬送装置，其特征在于，包括搬入搬出由所述搬送装置搬送的基板的开口部；和与所述开口部对应，在所述搬送室内的所述开口部附近，以与基板的相对位置关系相同的方式，以比基板的宽度窄的间隔左右配置的一对光学传感器，所述一对光学传感器，以对距经由所述开口部搬入搬出的基板的两端部分别为5 IOmm的内侧的部位照射光的方式设置。2.一种搬送室，与对矩形基板进行规定处理的处理室邻接配置，具有向该处理室搬送基板的搬送装置，其特征在于，包括搬入搬出由所述搬送装置搬送的基板的开口部；和在能够对由所述搬送装置向所述开口部搬送的基板进行检测的位置，以与基板的相对位置关系相同的方式，以比基板的宽度窄的间隔左右配置的一对光学传感器，所述一对光学传感器，以对距经由所述开口部搬入搬出的基板的两端部分别为5 IOmm的内侧的部位照射光的方式设置。3.如权利要求1或2所述的搬送室，其特征在于所述一对光学传感器在基板上的光照射部位，在基板的两端部附近，平行于与基板的搬送方向相同的方向，连续地或间歇地形成。4.如权利要求1 3中任一项所述的搬送室，其特征在于所述搬送装置具有上下两层的搬送机构部、和使该搬送机构部旋转的旋转驱...

【专利技术属性】
技术研发人员：冈部星儿，末木英人，
申请(专利权)人：东京毅力科创株式会社，
类型：发明
国别省市：JP