【技术实现步骤摘要】
本专利技术涉及一种多轴联动精密设备，特别用于先进制造领域的进给设备。
技术介绍
多轴精密联动设备先进性程度直接反映了国家制造业的发展现状。目前大多机械制造机械系统中的常见的联动设备，如多轴升降或滑动平台，均采用丝杠直接驱动，运动轴直接套装在导轨上。这种驱动形式下，丝杠作为升降平台的进给部件，虽然能够实现将回转运动转为直线运动，但丝杠的安装固定不易实现；电机驱动和丝杠组成的整体进给系统由于缺少反馈信息而使得定位精度难以保证，尤其对于多轴联动要求的精密制造设备，其制造生产出的产品精度远不能达到预定的要求。对于精密微电子设备中联动控制升降平台的功能实现也有使用气悬浮技术的 (李水进，基于进给伺服电流的铣削力间接测量与恒进给力加工控制技术研究[D].武汉 华中科技大学机械科学与工程学院博士学位论文，2001年)，但是这种技术要求的升降平台制造加工难度大、成本高；并且不能够进行主动的对进给位移的反馈和控制。对于联动升降平台的研究，专利“精密多功能升降平台”(公开号CN101012048A)提出了一种微电子设备等精密机械用升降平台，通过力传感器监测平台压力情况；但其仅限于...
【技术保护点】
１．一种多轴精密联动进给设备，包括两个独立互不干涉的升降轴，其特征在于：两个升降轴均垂直固定在固定支架上，每个升降轴均包括工作台、工作台支架、丝杠、可升降滑台和Ｖ型导轨，伺服电机通过刚性连轴器与丝杠连接，丝杠上安装有可升降滑台，可升降滑台被限定于Ｖ型导轨中，可实现其沿垂直方向的联动进给运动，可升降滑台与工作台支架固连，工作台支架顶端安装有工作台，用于加工工件的定位；在两个升降轴的一侧均安装有光栅尺，光栅尺的读数反馈给运动控制器，由运动控制器发出运动命令控制伺服电机运动动作；在工作平台的正上方设置有龙门型Ｘ－Ｙ十字滑台，固定在固定支架上，该十字滑台垂直于工作台面，距离工作台面...
【技术特征摘要】
1.一种多轴精密联动进给设备，包括两个独立互不干涉的升降轴，其特征在于两个升降轴均垂直固定在固定支架上，每个升降轴均包括工作台、工作台支架、丝杠、可升降滑台和V型导轨，伺服电机通过刚性连轴器与丝杠连接，丝杠上安装有可升降滑台，可升降滑台被限定于V型导轨中，可实现其沿垂直方向的联动进给运动，可升降滑台与工作台支架固连，工作台支架顶端安装有工作台，用于加工工件的定位；在两个升降轴的一侧均安装有光栅尺，光栅尺的读数反馈给运动控制器，由运动控制器发出运动命令控制伺服电机运动动作；在工作平台的正上方设置有龙门型X-Y十字滑台，固定在固定支架上，该十字滑台垂直于工作台面，距离工作台面10 20mm，与升降轴形成互相垂直的空间关系，X-Y十字滑台上的纵向和横向运动轴分别通过同步皮...
【专利技术属性】
技术研发人员：张国渊，闫秀天，闫秀峰，陈垚，卫军朝，
申请(专利权)人：西北工业大学，
类型：发明
国别省市：87
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