【技术实现步骤摘要】
【技术保护点】
１．一种具有非均匀线间距加热电阻丝的矩形微型加热器，其特征在于：①矩形加热膜区的两端分别通过一个梯形过渡区与支撑悬梁的一端相连，支撑悬梁的另一端连接衬底框架；②折线形加热电阻丝以中心对称或轴对称的方式排布在矩形加热膜区上；电阻丝的线间距按照在加热膜区中心处稀疏，在加热膜区两端处稠密的方式排布；③折线形加热电阻丝通过支撑悬梁上的引线与衬底框架上的接触电极相连；④在矩形加热膜区和支撑悬梁的下方是隔热腔体。
【技术特征摘要】
【专利技术属性】
技术研发人员：许磊，李铁，王跃林，
申请(专利权)人：中国科学院上海微系统与信息技术研究所，
类型：发明
国别省市：31
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