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一种制备悬浮纳米结构的方法技术

技术编号:6858446 阅读:242 留言:0更新日期:2012-04-11 18:40
本发明专利技术公开了一种制备悬浮纳米结构的方法。该方法,包括如下步骤:用聚焦离子束扫描两端固定在保护层上的悬臂梁,得到所述悬浮纳米结构。该方法不受常规光刻条件的限制,对设备的聚焦精度以及扫描精度等要求相对传统的刻蚀方式较低,更有利于进入多结构并行加工,光学器件、传感器件、电子器件等方面具有重要的应用价值。

【技术实现步骤摘要】

【技术保护点】
1.一种制备悬浮纳米结构的方法,包括如下步骤:用聚焦离子束扫描两端固定在保护层上的悬臂梁,得到所述悬浮纳米结构。

【技术特征摘要】

【专利技术属性】
技术研发人员:李灿吴文刚丁珂徐军郝一龙王阳元
申请(专利权)人:北京大学
类型:发明
国别省市:11

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