【技术实现步骤摘要】
【技术保护点】
过氧化氢真空等离子体低温灭菌装置，其特征是： 设置灭菌单元，包括在金属真空腔体（１）内设置形成电容耦合射频等离子体的鼠笼式射频天线（２），鼠笼式射频天线（２）与腔体外部射频电源及匹配器电连接； 设置由注液阀（Ｆ１）、过氧化氢储罐和液位报警构成过的氧化氢注液单元，注液阀（Ｆ１）的入口与过氧化氢储罐的出口连通，注液阀（Ｆ１）的出口与金属真空腔体（１）的内腔连通，液位报警设置在过氧化氢储罐中； 设置气路单元，包括真空泵（３）通过排气电磁阀（Ｆ３）与金属真空腔体（１）的连接管道进行连接，在金属真空腔体（１）的连接管道上设置用于测量真空度的真空规（４），进气过滤器（５）通过进气电磁阀（Ｆ２）与金属真空腔体（１）连通； 设置控制单元，由ＰＬＣ控制器提供系统各单元控制信号。
【技术特征摘要】
【专利技术属性】
技术研发人员：孟月东，赵燕平，丛杰，
申请(专利权)人：孟月东，赵燕平，丛杰，
类型：实用新型
国别省市：34[中国|安徽]
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