X射线发生装置制造方法及图纸

技术编号:6828534 阅读:176 留言:0更新日期:2012-04-11 18:40
本发明专利技术涉及X射线发生装置。在X射线管(20)中,筒状体(25)中从凸缘部(26)向前侧突出的开口端部(27)保持靶(31),该开口端部(27)被配置于X射线发生装置的前面嵌板(4)的贯通孔(4a)内。由此,靶(31)位于前面嵌板(4)的外表面附近。再有,前面嵌板(4)以及筒状体(25)具有热传导性,筒状体(25)的凸缘部(26)接触于X射线发生装置的前面嵌板(4)。由此,在靶(31)中所产生的热通过凸缘部(26)而释放至前面嵌板(4)。

【技术实现步骤摘要】

本专利技术涉及应用于光照射式静电除去装置等中的X射线发生装置
技术介绍
作为上述
中的X射线发生装置,众所周知具备输出X射线的X射线管、将驱动电压输入到X射线管的电路部、以及容纳X射线管和电路部的箱体(case)的装置(例如参照日本专利第4223863号公报)。再有,作为X射线管,众所周知具有通过施加驱动电压从而放出电子的电子放出部、通过照射该电子从而放出X射线的X射线放出部、容纳电子放出部的真空管、以及被连接于真空管的开口部并保持X射线放出部的筒状体的X射线管 (例如参照日本专利第4223863号公报以及国际专利申请公开第2005/(^9531号)。然而,在以上所述的X射线发生装置中,例如为了扩大静电除去装置的除静电范围,希望扩大X射线照射角。另一方面,特别是在使用软X射线的情况下,因为X射线放出部为高温,所以希望高效率地冷却X射线放出部。
技术实现思路
因此,本专利技术的课题是提供一种能够扩大X射线照射角并且能够高效率地冷却X 射线放出部的X射线发生装置。为了解决上述课题,本专利技术所涉及的X射线发生装置的特征在于,是一种具备输出X射线的X射线管、将驱动电压输入到X射线管本文档来自技高网...

【技术保护点】
1.一种X射线发生装置,其特征在于,具备:输出X射线的X射线管;将驱动电压输入到所述X射线管的电路部;以及容纳所述X射线管和所述电路部的箱体,所述X射线管具有:电子放出部,通过施加所述驱动电压从而放出电子;X射线放出部,通过照射所述电子从而放出所述X射线;真空管,容纳所述电子放出部;以及筒状体,包含凸缘部、从所述凸缘部向一方侧突出并且保持所述X射线放出部的第1开口端部以及从所述凸缘部向另一方侧突出并且被连接于所述真空管的开口部的第2开口端部,所述箱体中安装有所述X射线管的前面嵌板以及所述X射线管的所述筒状体具有导电性以及热传导性,所述筒状体的所述第1开口端部被配置于所述前面嵌板的贯通孔内,所述...

【技术特征摘要】
...

【专利技术属性】
技术研发人员:铃木智之
申请(专利权)人:浜松光子学株式会社
类型:发明
国别省市:JP

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