透镜阵列的制造方法以及透镜阵列技术

本发明专利技术公开一种透镜阵列的制造方法，能量硬化性的树脂一体地形成透镜阵列的透镜阵列，所述透镜阵列具备一维或二维状排列的多个透镜部、以及将所述多个透镜部之间填埋而使这些的透镜部相互连结的基板部，其中，具备：以在一对的模具构件之间夹着所述树脂而使之变形的状态，对该树脂赋予能量而使该树脂硬化的硬化工艺，所述硬化工艺中，针对位于所述一对的模具构件之间的未硬化的树脂，使预先设定的多个区域的每个以不同的时序硬化。从而在由能量硬化性的树脂形成的透镜阵列中，降低多个透镜部的排列的错位、间距的离散。

【技术实现步骤摘要】

本专利技术涉及透镜阵列的制造方法以及透镜阵列。
技术介绍
近年来，在便携式电话、PDA (Personal Digital Assitant)等的电子机器的便携式终端搭载有小型且薄型的摄像单元。这种摄像单元，通常具备CXD (Charge Coupled Device)图像传感器、CMOS (Complementary Metal-Oxide Semiconductor)图像传感器等的固体摄像元件，以及在固体摄像元件上对被拍摄体像进行成像的一个以上的透镜。由于便携式终端的小型化/薄型化，即使在便携式终端上搭载的摄像单元也需要进一步的小型化/薄型化。另外，也需要制造时的生产性。对于所涉及的需要，周知的有如下方法即在排列有多个的固体摄像元件的传感器阵列，层叠(積層)排列多个的透镜的一以上的透镜阵列，并以分别包含固体摄像元件以及透镜的方式对所得到的层叠体进行切断从而对摄像单元进行批量化生产。作为用于上述的用途的透镜阵列的制造方法，周知的有以在一对的模具构件之间夹着紫外线硬化(硬化)性、热硬化性的树脂而成形的状态，使该树脂硬化，而得到透镜阵列的方法(例如，参照专利文献1、2)。所得到的透镜阵列，具备配置为二维的多个透镜部；将所述多个透镜部之间填埋而将这些的透镜部相互连结的大致圆形的基板(基板)部， 这些的透镜部和基板部由树脂一体形成。专利文献1国际公开第08/153102号专利文献2国际公开第08/102582号通常，树脂在硬化的过程中收缩，但是针对透镜阵列的树脂向基板部的径(径)方向的硬化收缩，模具构件成为限制而限制树脂的向该方向的硬化收缩。为此，在形成的透镜阵列的内部残留有应力。有时，由该残余应力引起从模具构件取出的透镜阵列中产生收缩，多个透镜部的排列(並& )中产生错位，并在间距(C 7 f )方面产生离散(仏。爸)。并且，在一对的模具构件之间夹着树脂时，剩余的树脂从一对的模具构件之间溢出。在包含溢出的树脂而使树脂全体硬化的情况下，由于溢出的树脂，透镜阵列的基板部的外形不再成为圆形，而且径向(径方向)的收缩不均勻。由此，多个透镜部的排列(並的错位(f Λ )、间距的离散进一步显著。本专利技术鉴于上述的情形而提出，目的在于在由能量硬化性树脂形成的透镜阵列中，降低多个透镜部的排列的错位、间距的离散。
技术实现思路
本专利技术涉及一种利用能量硬化性的树脂一体地形成透镜阵列的透镜阵列的制造方法，所述透镜阵列具备一维或二维状排列的多个透镜部、以及将所述多个透镜部之间填埋而使这些的透镜部相互连结的基板部，其中，具备以在一对的模具构件之间夹着所述树脂而使之变形的状态，对该树脂赋予能量而使该树脂硬化的硬化工艺，所述硬化工艺中，针对位于所述一对的模具构件之间的未硬化的树脂，使预先设定的多个区域的每个以不同的时序硬化。根据本专利技术，能够将在透镜阵列的内部残留的应力，分割到与硬化时的区域相对应的部分的每个，并能够抑制由残余应力引起的透镜阵列的收缩。藉此，能够降低多个透镜部的排列的错位、间距的离散。附图说明图1是表示用于说明本专利技术的实施方式的摄像单元的一例的图。图2是表示用于说明本专利技术的实施方式的透镜阵列的一例的图。图3是用III-III线剖面表示图2的透镜阵列的图。图4是对图2的透镜阵列的制造中所使用的成形装置的一例进行表示的图。图5A 图5C是表示使用图4的成形装置的透镜阵列的制造方法的一例的图。图6是对树脂的扩展(広力5 >9 )示意性地进行表示的图。图7A 图7D是对与图5相接续的透镜阵列的制造方法的一例进行表示的图。图8A 图8D是对图7的透镜阵列的制造方法的变形例进行表示的图。图9A 图9C是表示图7的透镜阵列的制造方法的其他变形例的图。图10是表示图2的透镜阵列的制造中所使用的成形装置的其他例的图。图IlA 图IlD是表示使用图10的成形装置的透镜阵列的制造方法的一例的图。图12A 图12D是表示图11的透镜阵列的制造方法的变形例的图。图13是表示图10的成形装置的变形例的图。图14A 图14C是表示使用图13的成形装置的透镜阵列的制造方法的一例的图。图15A 图15B是表示图1的摄像单元的制造方法的一例的图。图16A 图16C是表示图15的摄像单元的制造方法的变形例的图。图17是表示图1的摄像单元的制造方法的其他例的图。图中1 摄像单元2传感器模块3透镜模块4传感器阵列5透镜阵列6透镜阵列层叠体7透镜模块层叠体8元件阵列层叠体9 隔离体(7 乂一寸)阵列20晶圆(々工八)21晶圆片22固体摄像元件30基板部31基板片32透镜部33光学面35隔离体50成形装置51上模具构件52下模具构件53分配器(fM 7 O寸)54硬化机构55除去构件61成形面61a透镜成形部62成形面62a透镜成形部63线源64掩膜66外周面Ca区域Cb区域Cc区域M树脂具体实施例方式图1表示摄像单元的一例。图1所示的摄像单元1，具备传感器模块2和透镜模块3。传感器模块2具有晶圆片21。晶圆片21，例如由硅等的半导体形成，并以平面视大致形成为矩形状。晶圆片21的大致中央部设置固体摄像元件22。固体摄像元件22，例如是CXD图像传感器、CMOS图像传感器等，对晶圆片21重复实施周知的成膜工艺、光平版印刷(7才卜U y ^，7 4 )工艺、蚀刻工艺、杂物添加工艺等，在晶圆片21上形成受光区域、电极，绝缘膜、布线等而构成。透镜模块3具有基板片31、透镜部32。基板片31围绕透镜部32而配置于透镜部 32的外侧。基板片31，形成为与传感器模块2的晶圆片21大致相同的平面视大致矩形状。 在透镜部32的光轴方向的两端分别形成的光学面33，在图示的例中均为凸形状的球面，但是能够根据用途，采用凸形状的球面、凹形状的球面、非球面或平面的各种组合。透镜模块3，在其基板片31和传感器模块2的晶圆片21之间夹着隔离体35而层叠在传感器模块2。透镜部32，在固体摄像元件22的受光区域成像被拍摄体像。另外，在图示的例中，传感器模块2上层叠的透镜模块3为一个，但是也具有在传感器模块2上层叠多个的透镜模块3的情况。关于隔离体35，只要在传感器模块2上透镜模块3稳定，其形状不特别被限定，优选为，成为包围固体摄像元件22的框状(枠状)。若使隔离体35为框状，则能够通过将传感器模块2和透镜模块3之间的空间从外部隔绝。藉此，能够阻止灰尘等异物向传感器模块2和透镜模块3之间的空间的进入，并能够防止异物附着于固体摄像元件22、透镜部32。 此外，在该情况下，如果使隔离体35为遮光性的器件，则能够遮断成像不需要的光从传感器模块2和透镜模块3之间入射到固体摄像元件22。如以上那样构成的摄像单元1，典型地来说，回流('J y π—)安装于便携式终端的电路基板。也即，在电路基板，在安装摄像单元1的位置预先印刷糊(X — 7卜)状的焊锡(半田)，并在此处搭载摄像单元1。并且，在包含该摄像单元1的电路基板上实施红外线的照射、热风的吹附的加热处理，藉此将焊锡熔化而将摄像单元1安装于电路基板。图2以及图3表示透镜阵列的一例。图2以及图3所示的透镜阵列5，具备基板部30、多个透镜部32。多个透镜部32，配置为行列状。基板部30，将排列的多个透镜部32之间填埋，并将多个透镜部32相互连结。本文档来自技高网...

【技术保护点】
１．一种透镜阵列的制造方法，利用能量硬化性的树脂一体地形成透镜阵列，所述透镜阵列具备一维或二维状排列的多个透镜部、以及将所述多个透镜部之间填埋而将这些的透镜部相互连结的基板部，该透镜阵列的制造方法的特征在于，具备：在用一对模具构件夹住所述树脂并使其变形的状态下，对该树脂赋予能量而使该树脂硬化的硬化工艺，所述硬化工艺中，对于位于所述一对的模具构件之间的未硬化的树脂，使预先设定的多个区域中的每个区域以不同的时序硬化。

【技术特征摘要】
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【专利技术属性】
技术研发人员：榊毅史，
申请(专利权)人：富士胶片株式会社，
类型：发明
国别省市：JP