【技术实现步骤摘要】
本技术涉及石墨加热器
，具体涉及一种生产化合物半导体用石墨加 热器。
技术介绍
随着工业经济的飞速发展，化合物半导体逐渐被更为广泛的应用，III - V族化合 物半导体如砷化镓、磷化镓、锑化铟等也越来越受到人们的重视，而生产化合物半导体其大 部分过程是吸热过程，即需要外部供给热量，因为石墨具的电阻率较高，对电流的阻碍作用 也较大，当给石墨通电时，会放出大量热，因它具有高熔点3500°C、高沸点4827°C的特性， 在惰性气体保护下不会熔化、蒸发、反应，因此石墨具常常被用于生产化合物半导体的单晶 炉加热器具。目前，国内单晶炉所用石墨加热器均为直筒型石墨加热器，直筒型石墨加热器 具有横向、纵向温度梯度变化巨大，加热器内热对流剧烈，炉温温场不稳定的缺点。使得拉 晶过程中，单晶容易变为多晶，用电量过高。
技术实现思路
鉴于上述不足之处，本技术所要解决的技术问题是如何提供一种具有更加均 勻的热场，使坩埚中料的温度更稳定的用于化合物半导体生产的石墨加热器。本技术所提出的技术问题是这样解决的构造一种石墨加热器，由筒状加热 器本体构成，所述加热器本体中下部收窄，底部设有与电极相连的引脚，整个加热器本体呈 杯状。本技术的有益效果为本技术把将现有的直筒状石墨加热器的中下部收 窄，使整个加热器本体呈杯状，贴近坩埚托杆，使得加热器下部也通过电流发热，从而让加 热器内温场更稳定，原料受热均勻，解决了石墨加热器横向、纵向温度梯度变化巨大，加热 器内热对流剧烈，炉温温场不稳定的问题。附图说明图1是本技术所提供的结构示意图。图2是图1的竖向剖面图。图中1.加热器本体，2.引脚。具体实施方...
【技术保护点】
１．一种石墨加热器，由筒状加热器本体（１）构成，其特征在于：所述加热器本体（１）中下部收窄，底部设有与电极相连的引脚（２），整个加热器本体（１）呈杯状。
【技术特征摘要】
【专利技术属性】
技术研发人员：周雅清，
申请(专利权)人：乐山凯亚达光电科技有限公司，
类型：实用新型
国别省市：51
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