图案化BiFeO3薄膜的光刻自组装制备方法技术

本发明专利技术公开了一种图案化BiFeO3薄膜的光刻自组装制备方法，该方法包括下述制备步骤：步骤一：选用普通载玻片为基底，将切割好的玻璃基片分别超声波清洗，吹干；紫外光照射仪中照射；步骤二：将经紫外光照射后的玻璃基片置于OTS-甲苯溶液中浸泡，使基片表面形成一层OTS单分子膜；浸泡完成后用丙酮清洗，吹干，烘干；在光掩膜的覆盖下，在紫外光下照射，得到图案化的功能自组装薄膜；步骤三：配制BiFeO3前驱体溶液，并将图案化的功能自组装薄膜的OTS-SAMs基体置于前驱液中，沉积，超声波震荡清洗，退火，即得光刻自组装的图案化BiFeO3薄膜。该方法通过采用液相沉积法与光刻自组装技术相结合来制备BiFeO3图案化薄膜，该薄膜边缘轮廓清晰、与基底结合牢固。

【技术实现步骤摘要】

【技术保护点】
１．一种图案化ＢｉＦｅＯ３薄膜的光刻自组装制备方法，其特征在于，该方法包括下述制备步骤：（１）选用普通载玻片为基底，将切割好的玻璃基片分别超声波清洗，吹干；并将洁净的玻璃基片置于紫外光照射仪中照射１０－２０ｍｉｎ；（２）将经紫外光照射后的玻璃基片置于体积百分比浓度１％十八烷基三氯硅烷ＯＴＳ－甲苯溶液中，在室温条件下浸泡２０－４０ｍｉｎ，使基片表面形成一层ＯＴＳ单分子膜；浸泡完成后用丙酮清洗２－３ｍｉｎ，并用氮气吹干，之后在１１０－１３０℃烘３－５ｍｉｎ；然后将ＯＴＳ－ＳＡＭｓ基体在光掩膜的覆盖下，在紫外光下照射３０－４０ｍｉｎ，得到图案化的功能自组装薄膜；（３）配制ＢｉＦｅＯ３前驱体溶液，并将图案化的功能自组装薄膜的ＯＴＳ－ＳＡＭｓ基体竖直置于配制好的前驱液中，在６０－８０℃下保温７－８ｈ，沉积结束后用超声波震荡清洗，之后将薄膜在５５０－６２０℃退火２－３ｈ，即得光刻自组装的图案化ＢｉＦｅＯ３薄膜。

【技术特征摘要】

【专利技术属性】
技术研发人员：谈国强，王艳，任宣儒，宋亚玉，
申请(专利权)人：陕西科技大学，
类型：发明
国别省市：87