【技术实现步骤摘要】
【技术保护点】
１．一种压阻ＭＥＭＳ谐振器，包括：锚（１２）；谐振器本体（１０），安装在锚上；致动器（１６），被安装用于在谐振器上施加静电力；以及压阻读出装置，包括耦接至谐振器的纳米线（１８），其中，谐振器本体具有至少１００μｍ２的面积，纳米线具有至多１０－１４ｍ２的横截面。
【技术特征摘要】
...
【专利技术属性】
技术研发人员：格哈德·库普斯，约瑟夫·托马斯·马丁内斯·范贝克，
申请(专利权)人：NXP股份有限公司，
类型：发明
国别省市：NL
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