一种图像传感器制造技术

一种图像传感器，包含位于衬底表面的多个感光单元，还包含位于感光单元表面的介质层以及位于介质层内和介质层表面的金属层；覆盖所述介质层和金属层的过渡层，所述过渡层厚度小于金属焊垫的厚度，表面有凹槽；位于所述过渡层表面的彩色滤光片，所述彩色滤光片与所述过渡层相邻的表面有朝向所述过渡层的凸起；位于所述彩色滤光片表面的平坦层；以及位于所述平坦层表面的多个微透镜，所述微透镜朝向所述平坦层的表面为平面，背向所述平坦层的表面为凸面。本实用新型专利技术所提供的图像传感器可以减小入射光在图像传感器中的传播距离，从而减小由于光的散射造成光损，提高图像的均匀性。（*该技术在2020年保护过期，可自由使用*）

【技术实现步骤摘要】

本技术涉及图像传感器领域，尤其涉及半导体中的图像传感器及其形成方 法。
技术介绍
图像传感器根据元件不同分为电荷耦合元件(CCD，Charge CoupledDevice)图像 传感器和金属氧化物半导体元件(CMOS, ComplementaryMetal-Oxide Semiconductor)图像 传感器。图1为现有技术的图像传感器的截面结构示意图，参阅图1，现有技术的图像传感 器包括位于衬底表面(未示出)的多个感光单元101，多个感光单元形成感光单元阵列， 位于感光单元101表面的介质层102以及位于介质层内的金属层103，位于介质层102表面 的第二平坦层104，位于第二平坦层104表面的彩色滤光片105，位于彩色滤光片105表面 的第一平坦层106，以及位于第一平坦层106表面的微透镜107。该现有的图像传感器的形成方法是，提供包含多个感光单元的衬底；在所述衬底 表面形成包含金属层103的介质层102 ；对所形成的介质层进行平坦化处理；接着，在经过 平坦化处理的表面上形成第二平坦层104 ；在第二平坦层104表面形成彩色滤光片105 ；在 彩色滤光片105表面形成第一平坦本文档来自技高网...

【技术保护点】
１．一种图像传感器，包含位于衬底表面的多个感光单元，其特征在于，还包含：位于感光单元表面的介质层，位于介质层内和介质层表面的金属层，位于介质层表面的金属层包括至少两个金属焊垫；覆盖所述介质层和金属层的过渡层，所述过渡层厚度小于金属焊垫的厚度，表面有凹槽；位于所述过渡层表面的彩色滤光片，所述彩色滤光片与所述过渡层相邻的表面有朝向所述过渡层的凸起；位于所述彩色滤光片表面的平坦层；以及位于所述平坦层表面的多个微透镜，所述微透镜朝向所述平坦层的表面为平面，背向所述平坦层的表面为凸面。

【技术特征摘要】

【专利技术属性】
技术研发人员：霍介光，
申请(专利权)人：格科微电子上海有限公司，
类型：实用新型
国别省市：31