双臂式机械手臂及其搬运板件的方法技术

本发明专利技术公开一种双臂式机械手臂及其搬运板件的方法，其主要将一第一机械手臂与一第二机械手臂同时伸入一加工设备中；并在所述第二机械手臂取出所述加工设备中的一第二板件时，使所述第一机械手臂可同时进行一稳定作业及对先前承载的一第一板件进行一解除固定吸力作业；接着，降低所述第一机械手臂，以将所述第一板件放置在所述加工设备中。本方法可防止所述第一板件在放置时发生破裂的风险，并节省所述第一机械手臂等候稳定及解除固定吸力所需的作业时间。

【技术实现步骤摘要】

本专利技术涉及一种双臂式机械手臂及其搬运板件方法，特别是涉及一种可减少总时 间的。
技术介绍
现今液晶显示面板的制作过程中，大致可分为前段矩阵(Array)工艺、中段成盒 (Cell)工艺及后段模块化(Module)工艺。前段的矩阵工艺为生产薄膜式晶体管(TFT)基 板及彩色滤光片(CF)基板。中段成盒工艺则负责将TFT基板与CF板组合，并两者之间注 入液晶与切割合乎产品尺寸之面板。后段模块化工艺则负责将组合后的面板与背光模块、 面板驱动电路、外框等做组装的工艺。在前段矩阵工艺中，首先将玻璃基板入料清洗后，于其上涂布靶材之薄膜，靶材原 料为金属(如铝铬)或半导体薄膜(如铟锡氧化物ΙΤ0)以做为导电电路之基材，接着于 前述薄膜上均勻涂布光阻，并利用已经微影照相完成之光罩来进行曝光，当光阻完成曝光/ 显像工程后即获得所须之导电线路。接着再利用蚀刻液可将不需要之金属或半导体膜去 除，仅留下光阻所保护之导电线路膜，最后再利用剥离液将表面之光阻去除后，重复上述程 序约5 8次(分别针对各金属或半导体膜)后，即可完成薄膜式晶体管基板。然而，在上述前段矩阵工艺中，基板必需经过多种不同设备的加工，本文档来自技高网...

【技术保护点】
１．一种双臂式机械手臂搬运板件的方法，其特征在于：所述方法包括以下步骤：（ａ）准备一第一机械手臂及一第二机械手臂，并由所述第一机械手臂承载一第一板件；（ｂ）将所述第一机械手臂与所述第二机械手臂同时伸入一加工设备中，其中所述第二机械手臂到达一作业位置的下方，所述作业位置上放置有一第二板件；（ｃ）抬升所述第二机械手臂，以承载所述第二板件；（ｄ）移动所述第二机械手臂及所述第二板件，以退出所述加工设备；（ｅ）降低所述第一机械手臂，并将所述第一板件放置于所述作业位置上；以及（ｆ）移动所述第一机械手臂，以退出所述加工设备；其中在步骤（ｃ）至步骤（ｄ）的期间，所述第一机械手臂同时进行一稳定作业。

【技术特征摘要】

【专利技术属性】
技术研发人员：李彦泽，贺成明，
申请(专利权)人：深圳市华星光电技术有限公司，
类型：发明
国别省市：94