【技术实现步骤摘要】
本专利技术涉及一种用于校准加速度传感器的方法和一种加速度传感器。
技术介绍
这样的方法是普遍公知的。例如由文献US 5 618 989A公开了一种具有至少一个 可运动的振动质量的电容式加速度传感器，其中，该振动质量可由于加速度而偏移并且具 有至少一个可运动的电极，该可运动的电极与至少一个固定的电极相对地设置并且与该固 定的电极构成至少一个测量电容，其中设有至少一个固定的另外的电极，在该另外的电极 上被可这样地施加电压，使得一个力作用被施加到振动质量上。该另外的电极用于执行加 速度传感器的自我测试，其中，在自我测试期间，振动质量相对于衬底的偏移不是通过加速 力实现，而是通过另外的电极与振动质量之间的静电的相互作用来模拟振动质量相对于衬 底的偏移。以这种方式允许加速度传感器的测试或者校正，而不必存在真实的加速力。
技术实现思路
与之相比，根据本专利技术的用于校准加速度传感器的方法和根据本专利技术的加速度传 感器具有以下优点能够实现加速度传感器的明显更简单且成本更有利的校准。尤其地， 与现有技术相比，不需要任何用于校准加速度传感器的附加结构和用于与该附加结构接触 的附加...
【技术保护点】
用于校准加速度传感器（１１）的方法，所述加速度传感器（１１）具有衬底（１２）和振动质量（１３），其中，所述加速度传感器（１１）在第一侧面（１０）上具有固定在所述衬底（１２）上的第一和另外的第一电极（１，１’），其中，在所述第一和另外的第一电极（１，１’）之间设有所述振动质量（１３）的反电极（１４），其中，所述加速度传感器（１１）在第二侧面（２０）上具有另外的第二电极（２’）并且在与所述第二侧面（２０）相对置的第四侧面（４０）上具有另外的第四电极（４’），其特征在于，在第一步骤中将基本上相同的第一激励电压施加到所述第一和另外的第一电极（１，１’）上以激励出所述振动质量（１３）...
【技术特征摘要】
...
【专利技术属性】
技术研发人员：T·奥姆斯，A·弗兰克，
申请(专利权)人：罗伯特·博世有限公司，
类型：发明
国别省市：DE
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