分解集成电路布局的方法技术

本发明专利技术涉及一种分解集成电路布局的方法。本发明专利技术的各种实施例提供确保集成电路的布局是可分开的。在一方法实施例中，在具有一布局库的一客户场所产生一布局以作为输入，其中布局库提供已确认为可分开的且能够使用的示例性布局，和可避免导致冲突的布局。本发明专利技术的实施例亦提供一实时奇循环(real-time?odd?cycle)检查器，其中在布局产生期间，该检查器在冲突区域和奇循环出现时，实时将它们识别出来。为了减少内存的使用，可以分开各种装置的布局，以针对冲突来检查每一单独的布局或少数布局，而不是整个应用电路的一个大的布局。一旦在客户场所准备好布局，它就被发送到制造场所分解成二光罩并流片完成(taped-out)。本发明专利技术亦有揭露其它实施例。

【技术实现步骤摘要】

本专利技术的实施例一般相关于集成电路布局。在本专利技术各种实施例中所提供的机制 可以使布局满足双重图案技术要求，包括将布局分开成不同的光罩。
技术介绍
如果集成电路的布局包括冲突循环，就不能分开成二光罩。一冲突循环可称为一 奇循环，因为它是在包含奇数边缘的冲突图中的一循环。许多布局设计者(例如半导体代 工厂的客户)没有工具来检查那些冲突循环，因此可能违反分开布局的规则。因为在接合 位置上的限制，许多布局方式无法修复一奇循环和相关问题。一直接的方法是将图案分开、 通过接合区域连接多边形、并使用一矩阵全域求解以分解布局。然而，这种方法消耗海量存 储器并增加循环时间，客户一般不参与布局制作过程，而布局制作过程对使用者并不方便， 因为当切割或不切割多边形时采用不同的方法来分解布局。
技术实现思路
本专利技术的目的在于提供一种。本专利技术的实施例一般相关于集成电路布局。各种实施例提供包括双重图案技术的 技术，以确保布局是可分开的。在一方法实施例中，在具有一布局库的一客户场所产生一布 局以作为输入，其中布局库提供已确认为可分开的且能够使用的示例性布局，和可避免导 致冲突的布局。本专利技术的实施例亦提供一实时奇循环(real-time odd cycle)检查器，其 中在布局产生期间，该检查器在冲突区域和奇循环出现时，实时将它们识别出来。为了减少 内存的使用，可以在一防护带(guard band)区域分开各种装置的布局，以针对冲突来检查 每一单独的布局或少数布局，而不是整个应用电路的一个大的布局。一旦在客户场所准备 好布局，它就被发送到制造场所分解成二光罩并流片完成(taped-out)。本专利技术亦有揭露其 它实施例。本专利技术一实施例提供一种，其特点在于，包含下列步 骤提供多个颜色集，该些颜色集数目为N，每一该些颜色集对应于一集成电路的一布 局，及以A1至An表示；将一组指标至fN对应到该些颜色集A1至An，其中一指标&对应至一颜色集Ai ；确认至少一潜在合并者M的一数目，其对应于该颜色集Ai和一颜色集Aj，其中i <> j ；确认至少一潜在分割者CT的一数目，其对应于该颜色集Ai和该颜色集Aj ；将该潜在合并者M的该数目和该潜在分割者CT的该数目间的差值设为一指标Au， 其中 Aij= Aji ；获得多個参数F，其相关于指数Aij ；根据该指数Au的一定义，从该些参数F中选择一参数F。4上述，其中该指数&包括1或-1的一值。上述，其中，如果该指数Aij被定义为该潜在合并者M的 该数目减去该潜在分割者CT的该数目，则从具有一最高值的该些参数F中选择该参数F ； 及如果该指数Au被定义为该潜在分割者CT的该数目减去该潜在合并者M的该数目，则从 具有一最低值的该些参数F中选择该参数F。上述，其中，基于下列方程式获得该些参数F 权利要求1.一种，其特征在于，包含下列步骤提供多个颜色集，该些颜色集数目为N，每一该些颜色集对应于一集成电路的一布局， 及以A1至An表示；将一组指标至fN对应到该些颜色集A1至An，其中一指标&对应至一颜色集Ai ； 确认至少一潜在合并者M的一数目，其对应于该颜色集Ai和一颜色集Aj，其中j；确认至少一潜在分割者CT的一数目，其对应于该颜色集Ai和该颜色集Aj ； 将该潜在合并者M的该数目和该潜在分割者CT的该数目间的差值设为一指标Aij，其 中 Α · = Aji ；获得多个参数F，其相关于指数Aij ；根据该指数Au的一定义，从该些参数F中选择一参数F。2.根据权利要求1所述，其特征在于，该指数A包括1或-1的一值。3.根据权利要求1所述分解集成电路布局的的方法，其特征在于，如果该指数Au被定 义为该潜在合并者M的该数目减去该潜在分割者CT的该数目，则从具有一最高值的该些参 数F中选择该参数F ；及如果该指数Au被定义为该潜在分割者CT的该数目减去该潜在合 并者M的该数目，则从具有一最低值的该些参数F中选择该参数F。4.根据权利要求1所述，其特征在于，基于下列方程式获得 该些参数F 5.根据权利要求1所述，其特征在于，另包括合并一末端颜 色集至与该末端颜色集互动的一颜色集。6.根据权利要求1所述，其特征在于，该指数Au包括其于下 列之一者或一组合的一加权值一接合形状、多个接合组件的一位置、一对称模式、一使用 者定义选择。7.根据权利要求1所述，其特征在于，该指数Au是由下列表示8.一种，其特征在于，包含下列步骤提供多个颜色集，该些颜色集数目为N，每一该些颜色集对应于一集成电路的一布局， 及以A1至An表示；将至fN的一指数集对应至该些颜色集A1至An ；借以将一指数^对应一颜色集Ai ；确认至少一潜在合并者M的一数目，其对应于该颜色集Ai和一颜色集Aj，其中i <>j ；确认至少一潜在分割者CT的一数目，其对应于该颜色集Ai和该颜色集Aj ； 将该潜在合并者M的该数目和该潜在分割者CT的该数目间的差值设为一指标Aij，其 中 Aij = Aji ；其是依据下列方程式为颜色集Ai计算多个Ci,其中对应于一 Ci的该指数&是一正数； 基于该些Ci,决定一颜色集配置，其对应于欲分割的多边形的一最小数目。9.根据权利要求8所述，其特征在于，另包含在具有一最低 值的该些Ci中决定一 Cp如果 . < 0，则将一指数t转换为一负数；及重新计算10.根据权利要求8所述，其特征在于，另包括合并一末端颜 色集至与该末端颜色集互动的一颜色集。全文摘要本专利技术涉及一种。本专利技术的各种实施例提供确保集成电路的布局是可分开的。在一方法实施例中，在具有一布局库的一客户场所产生一布局以作为输入，其中布局库提供已确认为可分开的且能够使用的示例性布局，和可避免导致冲突的布局。本专利技术的实施例亦提供一实时奇循环(real-time odd cycle)检查器，其中在布局产生期间，该检查器在冲突区域和奇循环出现时，实时将它们识别出来。为了减少内存的使用，可以分开各种装置的布局，以针对冲突来检查每一单独的布局或少数布局，而不是整个应用电路的一个大的布局。一旦在客户场所准备好布局，它就被发送到制造场所分解成二光罩并流片完成(taped-out)。本专利技术亦有揭露其它实施例。文档编号G06F17/50GK102147821SQ201010546498公开日2011年8月10日 申请日期2010年11月12日 优先权日2010年2月9日专利技术者严永松, 刘如淦, 张广兴, 杨稳儒, 池明辉, 王伟龙, 谢艮轩, 陈笔聪, 高蔡胜, 黄文俊 申请人:台湾积体电路制造股份有限公司本文档来自技高网...

【技术保护点】
１．一种分解集成电路布局的方法，其特征在于，包含下列步骤：提供多个颜色集，该些颜色集数目为Ｎ，每一该些颜色集对应于一集成电路的一布局，及以Ａ１至ＡＮ表示；将一组指标ｆ１至ｆＮ对应到该些颜色集Ａ１至ＡＮ，其中一指标ｆｉ对应至一颜色集Ａｉ；确认至少一潜在合并者Ｍ的一数目，其对应于该颜色集Ａｉ和一颜色集Ａｊ，其中ｉ＜＞ｊ；确认至少一潜在分割者ＣＴ的一数目，其对应于该颜色集Ａｉ和该颜色集Ａｊ；将该潜在合并者Ｍ的该数目和该潜在分割者ＣＴ的该数目间的差值设为一指标Ａｉｊ，其中Ａｉｊ＝Ａｊｉ；获得多个参数Ｆ，其相关于指数Ａｉｊ；根据该指数Ａｉｊ的一定义，从该些参数Ｆ中选择一参数Ｆ。

【技术特征摘要】
...

【专利技术属性】
技术研发人员：陈笔聪，池明辉，谢艮轩，王伟龙，黄文俊，刘如淦，高蔡胜，杨稳儒，张广兴，严永松，
申请(专利权)人：台湾积体电路制造股份有限公司，
类型：发明
国别省市：71