一种制备ZnO厚膜的方法技术

本发明专利技术提供一种制备ZnO厚膜的方法，将片状碱式锌盐颗粒分散到水 中形成前驱体料浆，采用微孔滤膜对前驱料浆进行过滤，使片状碱式锌盐 颗粒在过滤的过程中自发组装成取向性碱式锌盐厚膜，再将微孔滤膜上的 碱式锌盐厚膜转移到衬底上，最后对其加热分解得到ZnO厚膜。本发明专利技术以 片状碱式锌盐为前驱体制备ZnO厚膜，制备的ZnO厚膜取向性好，厚度均 匀，结构稳定。

【技术实现步骤摘要】

本专利技术涉及一种制备氧化锌厚膜的方法。
技术介绍
ZnO厚膜是一种重要的气敏材料，具有稳定性好，选择性高等优点， 因而在气体探测方面具有重要的应用前景。传统的ZnO厚膜一般采用涂覆 烧结工艺制备，其工艺流程一般为(l)合成ZnO前驱体粉末；(2)将ZnO 粉末加掺杂剂和溶剂研磨成料浆；(3)将料浆涂到衬底上；(4)将涂有料 浆的衬底进行烧结。该工艺缺点在于(1) ZnO多晶粉末及其掺杂采用机 械混合实现，掺杂不均匀，晶粒过于团聚或疏松，晶界、孔隙、晶向等微 结构较难控制等，结果造成厚膜易剥落、灵敏度低和稳定性下降；(2)由 于涂覆工艺难以保证厚膜的厚度均匀性，造成元件之间的膜电阻和气敏性 能差异较大，不利于气敏元件的标准化；(3)由于涂覆工艺的不确定性， 造成ZnO厚膜的微结构和气敏特性难以稳定控制，进而对ZnO材料气敏机 理的探索造成困扰。因此，改进传统的ZnO厚膜涂覆制备工艺，不仅是ZnO 基气敏元件迫切需要解决的问题，而且是烧结型旁热式气敏元件的共同难 题。改进传统的涂覆烧结工艺需要从两方面入手其一是改进厚膜涂覆工 艺，能够得到厚度均匀，阻值稳定的厚膜，提高气敏元件的标准性本文档来自技高网...

【技术保护点】
一种制备ＺｎＯ厚膜的方法，包括以下步骤：　（１）制备片状碱式锌盐颗粒；　（２）将片状碱式锌盐颗粒分散到水中形成前驱体料浆；　（３）采用微孔滤膜对前驱料浆进行过滤，使片状碱式锌盐颗粒在过滤的过程中自发组装成取向性碱式锌盐厚膜；　（４）将微孔滤膜上的碱式锌盐厚膜转移到衬底上；　（５）对碱式锌盐厚膜加热分解得到ＺｎＯ厚膜。

【技术特征摘要】
1、一种制备ZnO厚膜的方法，包括以下步骤(1)制备片状碱式锌盐颗粒；(2)将片状碱式锌盐颗粒分散到水中形成前驱体料浆；(3)采用微孔滤膜对前驱料浆进行过滤，使片状碱式锌盐颗粒在过滤的过程中自发组装成取向性碱式锌盐厚膜；(4)将微孔滤膜上的碱式锌盐厚膜转移到衬底上；(5)对碱式锌盐厚膜加热分...

【专利技术属性】
技术研发人员：张五星，黄云辉，薛丽红，
申请(专利权)人：华中科技大学，
类型：发明
国别省市：83