多光束激光外差法测量电致伸缩系数的装置及方法制造方法及图纸

多光束激光外差法测量电致伸缩系数的装置及方法，涉及测量技术领域，具体涉及到一种电致伸缩系数的测量技术。它解决了现有各种压电晶体的电致伸缩系数的测量方法的测量精度不能够满足现有高精密测量领域的要求的问题。本发明专利技术是基于激光外差技术和多普勒效应而设计的，所述装置在光路中利用振镜对不同时刻的入射光进行频率调制，得到了多光束激光外差信号，其信号频谱中同时包含多个频率值，每个频率值都包含待测参数信息，经过解调后可同时得到多个待测参数值，对得到的多个参数值加权平均，获得了高精度的待测参数。采用对锆钛酸铅(PZT)压电陶瓷进行了仿真实验来验证本发明专利技术的方法，测量相对误差仅为0.98％。

【技术实现步骤摘要】

本专利技术涉及测量
，具体涉及到一种电致伸缩系数的测量技术。
技术介绍
在所有涉及自动控制的机电系统和器件中，驱动器常被认为是限制其性能和寿命的最为关键的因素之一，而在众多的驱动器类型中，压电/电致伸缩驱动器因其响应快、承载力高、能耗低和价格低等特点而备受关注。目前，压电/电致伸缩驱动器已成功地应用在激光器谐振腔、精密定位、精密加工、智能结构、生物工程、航空航天、电子通讯、汽车工业、 机器人关节、医疗器械等众多
，并正在形成一个潜力巨大的产业。因此，对于压电/ 电致伸缩新材料、新工艺及驱动器新技术的开发与应用已受到日益广泛的重视。在自然界中，大多数晶体都具有压电效应，然而大多数晶体的压电效应很微弱，没有实用价值。石英是晶体中性能良好的压电材料。随着科学技术的发展，人工制造的压电陶瓷，如钛酸钡、锆钛酸铅(PZT)等多晶压电材料相继问世，且应用越来越广泛。压电晶体的电致伸缩系数反映了材料本身的属性，测量材料的电致伸缩系数，不仅对新材料的研制具有重要意义，而且也是选用材料的重要指标之一。目前，测定电致伸缩系数的方法主要有激光干涉法、光杠杆法、电容法、电涡流法和数字散斑相关法等。但是每种方法都存在自身的缺点，因此精度无法再提高，不能够满足目前高精度测量的要求。而在光学测量法中，激光外差测量技术备受国内外学者关注，激光外差测量技术继承了激光外差技术和多普勒技术的诸多优点，是目前超高精度测量方法之一，其测量的相对误差可达1%。该方法具有高的空间和时间分辨率、测量速度快、精度高、线性度好、抗干扰能力强、动态响应快、重复性好和测量范围大等优点，已成为现代超精密检测及测量仪器的标志性技术之一，广泛应用于超精密测量、检测、加工设备、激光雷达系统等。传统的外差干涉均为双光束干涉，外差信号频谱只含单一频率信息，解调后得到单一的待测参数值。
技术实现思路
为了解决现有各种压电晶体的电致伸缩系数的测量方法的测量精度不能够满足现有高精密测量领域的要求的问题，本专利技术提出了一种。本专利技术所述的多光束激光外差法测量电致伸缩系数的装置由Htl固体激光器、四分之一波片、振镜、第一平面反射镜、偏振分束镜PBS、会聚透镜、薄玻璃板、第二平面反射镜、 待测压电陶瓷管、二维调整架、高压电源、光电探测器和信号处理系统组成；Htl固体激光器发出的线偏振光经第一平面反射镜反射之后入射至偏振分束镜 PBS，经该偏振分束镜PBS反射后的光束经四分之一波片透射后入射至振镜的光接收面， 经该振镜反射的光束再次经四分之一波片透射后发送至偏振分束镜PBS，经该偏振分束镜 PBS透射后的光束入射至薄玻璃板，经该薄玻璃板透射之后的光束入射至第二平面反射镜，该光束在相互平行的薄玻璃板和第二平面反射镜之间反复折射多次，获得多束经薄玻璃板透射之后的光束通过会聚透镜汇聚至光电探测器的光敏面上，所述光电探测器输出电信号给信号处理系统；薄玻璃板和第二平面反射镜之间的距离为d ；所述第二平面反射镜的背面中心与待测压电陶瓷管的一端固定连接，该待测压电陶瓷管的另一端固定在二维调整架上，所述待测压电陶瓷管的内表面和外表面分别通过电极与高压电源的两个电压输出端连接，该待测压电陶瓷管在电压的作用下产生轴向形变。采用上述多光束激光外差法测量电致伸缩系数的装置实现电致伸缩系数测量的方法为首先，通过调整二维调整架，使与待测压电陶瓷管固定连接的第二平面反射镜的反射面与薄玻璃板相互平行，两个平板之间等高，并使第二平面反射镜的反射面与薄玻璃板之间的距离d为20mm ；然后，将用高压电源的两个电极输出端分别通过电极与待测压电陶瓷管的内表面和外表面相连接，并打开振镜的驱动电源使振镜开始振动；同时，打开Htl固体激光器，最后，调节所述高压电源的输出电压信号U,同时信号处理系统连续采集光电探测器输出的电信号，并对采集到的信号进行处理，进而获得第二平面反射镜和薄玻璃板之间的距离变化量，根据该距离变化量和此时高压电源输出的电压信号获得待测压电陶瓷管的电磁致伸缩系数本文档来自技高网...

【技术保护点】
１．多光束激光外差法测量电致伸缩系数的装置，其特征在于，该装置由Ｈ０固体激光器（２）、四分之一波片（１２）、振镜（１３）、第一平面反射镜（３）、偏振分束镜ＰＢＳ（１１）、会聚透镜（１０）、薄玻璃板（９）、第二平面反射镜（６）、待测压电陶瓷管（７）、二维调整架（８）、高压电源、光电探测器（４）和信号处理系统（５）组成；Ｈ０固体激光器（２）发出的线偏振光经第一平面反射镜（３）反射之后入射至偏振分束镜ＰＢＳ（１１），经该偏振分束镜ＰＢＳ（１１）反射后的光束经四分之一波片（１２）透射后入射至振镜（１３）的光接收面，经该振镜（１３）反射的光束再次经四分之一波片（１２）透射后发送至偏振分束镜ＰＢＳ（１１），经该偏振分束镜ＰＢＳ（１１）透射后的光束入射至薄玻璃板（９），经该薄玻璃板（９）透射之后的光束入射至第二平面反射镜（６），该光束在相互平行的薄玻璃板（９）和第二平面反射镜（６）之间反复折射多次，获得多束经薄玻璃板（９）透射之后的光束通过会聚透镜（１０）汇聚至光电探测器（４）的光敏面上，所述光电探测器（４）输出电信号给信号处理系统（５）；薄玻璃板（９）和第二平面反射镜（６）之间的距离为ｄ；所述第二平面反射镜（６）的背面中心与待测压电陶瓷管（７）的一端固定连接，该待测压电陶瓷管（７）的另一端固定在二维调整架（８）上，所述待测压电陶瓷管（７）的内表面（７－１）和外表面（７－２）分别通过电极（１）与高压电源的两个电压输出端连接，该待测压电陶瓷管（７）在电压的作用下产生轴向形变。...

【技术特征摘要】
1.多光束激光外差法测量电致伸缩系数的装置，其特征在于，该装置由HO固体激光器 (2)、四分之一波片(12)、振镜(13)、第一平面反射镜(3)、偏振分束镜PBS(Il)、会聚透镜 (10)、薄玻璃板(9)、第二平面反射镜(6)、待测压电陶瓷管(7)、二维调整架(8)、高压电源、 光电探测器(4)和信号处理系统(5)组成；HO固体激光器(2)发出的线偏振光经第一平面反射镜(3)反射之后入射至偏振分束镜 PBS (11)，经该偏振分束镜PBS (11)反射后的光束经四分之一波片(12)透射后入射至振镜 (13)的光接收面，经该振镜(13)反射的光束再次经四分之一波片(12)透射后发送至偏振分束镜PBS (11)，经该偏振分束镜PBS (11)透射后的光束入射至薄玻璃板(9)，经该薄玻璃板(9)透射之后的光束入射至第二平面反射镜(6)，该光束在相互平行的薄玻璃板(9)和第二平面反射镜(6)之间反复折射多次，获得多束经薄玻璃板(9)透射之后的光束通过会聚透镜(10)汇聚至光电探测器(4)的光敏面上，所述光电探测器(4)输出电信号给信号处理系统(5)；薄玻璃板(9)和第二平面反射镜(6)之间的距离为d ；所述第二平面反射镜(6)的背面中心与待测压电陶瓷管(7)的一端固定连接，该待测压电陶瓷管(7)的另一端固定在二维调整架(8)上，所述待测压电陶瓷管(7)的内表面 (7-1)和外表面(7-2)分别通过电极(1)与高压电源的两个电压输出端连接，该待测压电陶瓷管(7)在电压的作用下产生轴向形变。2.根据权利要求1所述的多光束激光外差法测量电致伸缩系数的装置，其特征在于， 所述距离d为20mm。3.根据权利要求1所述的多光束激光外差法测量电致伸缩系数的装置，其特征在于， 所述振镜(13)为多普勒振镜，其振动方程和速度方程分别是x(t) =a(t2/2)和v(t) =at, a为振镜的振动加速度。4.根据权利要求1所述的多光束激光外差法测量电致伸缩系数的装置，其特征在于， 所述信号处理系统(5)由滤波电...

【专利技术属性】
技术研发人员：李彦超，王春晖，高龙，曲杨，
申请(专利权)人：哈尔滨工业大学，
类型：发明
国别省市：93