长寿命溅射靶材组件制造技术

本实用新型专利技术公开了一种溅射靶材组件，旨在提供一种成型简单且能够提高整块靶材组件利用率，从而增长靶材组件使用寿命的结构。它包括：靶材，所述靶材包含溅射面和背面，所述背面设置凸块，所述凸块的尺寸不小于第一区域的尺寸，所述第一区域为靶材溅射速率最快区域围成的区域；背板，所述背板具有正面与背面，所述正面设置凹槽，所述凹槽尺寸与所述靶材凸块尺寸匹配，所述靶材凸块安装在所述背板凹槽内。（*该技术在2021年保护过期，可自由使用*）

【技术实现步骤摘要】

本技术涉及一种长寿命溅射靶材组件。
技术介绍
在大规模集成电路制作中，一般通过轰击靶材，从而使靶材上粒子溅射沉积至基板上形成一层薄膜。溅射靶材组件一般由背板和固定在其上的靶材组成。靶材材质可为金属，例如，铜，铝，钽或铊。然而，在溅射过程中，靶材使用一段时间后，发现某些区域比其他区域具有更高的溅射速率，消耗更快，我们称靶材溅射速率最快区域围成的区域为第一区域。当靶材使用到第一区域被溅射完后，背板就暴露出来，这样就必须更换一块新的靶材组件，而其他区域的靶材同时也被浪费了，使用寿命低。例如铜溅射靶材组件在溅射过程中，一般使用寿命为 IOOOkwh左右，使用一段时间后就要换靶。因此，需要设计一种能提高靶材使用率，从而增长靶材组件使用寿命的结构。目前，也有一些结构用来延长靶材组件的使用寿命。例如公开号CN10680082A的中国专利中采用了一种环形结构，如图1所示，具体来说，靶材背板正面设有一个环形凹槽 13，靶材背面设置一个环形凸块14，所述环形凸块安装在所述凹槽内。但在靶材组件的加工过程中，一般要通过粗加工与精加工等几套加工程序，要加工出这种环形结构，每个程序都可能增加废品率。因此，设本文档来自技高网...

【技术保护点】
１．一种溅射靶材组件，包括：靶材和承载靶材的背板，其特征在于，所述靶材包含溅射面和背面，所述背面设置凸块，所述凸块的尺寸不小于第一区域的尺寸，所述第一区域为靶材溅射速率最快区域围成的区域；所述背板具有正面与背面，所述正面设置凹槽，所述凹槽尺寸与所述靶材凸块尺寸匹配，所述靶材凸块安装在所述背板凹槽内。

【技术特征摘要】
1.一种溅射靶材组件，包括靶材和承载靶材的背板，其特征在于，所述靶材包含溅射面和背面，所述背面设置凸块，所述凸块的尺寸不小于第一区域的尺寸，所述第一区域为靶材溅射速率最快区域围成的区域；所述背板具有正面与背面，所述正面设置凹槽，所述凹槽尺寸与所述靶材凸块尺寸匹配，所述靶材凸块安装在所述背板凹槽内。2.根据权利要求1所述的溅射靶材组件，其特征在于，所述靶材凸块通过焊接安装在所述背板凹槽内。3.根据权利要求1所述的溅射靶材组件，其特征在于，所述凸块位于所述靶材中心，所述凹槽位于所述背板中心。4.根据权利要求1或3所述的溅射靶材组件，其特征在于，所述靶材为圆形板，所述背板为圆形板，所述凸块为圆形凸块，所述凹槽为圆形凹槽。5.根据权利要求4所述的溅射靶材...

【专利技术属性】
技术研发人员：姚力军，潘杰，王学泽，郑文翔，
申请(专利权)人：宁波江丰电子材料有限公司，
类型：实用新型
国别省市：97