【技术实现步骤摘要】
【技术保护点】
一种等离激元共振频率可宽范围调控的银纳米粒子点阵的制备方法,其特征在于制备步骤如下:(a)首先在衬底表面涂覆一层均匀的超薄有机薄膜,然后把涂覆薄膜的衬底固定在带有透光孔的可旋转衬底座(5)上;(b)将衬底座(5)安装到纳米粒子束流沉积系统的高真空沉积室(8)中,使得衬底座(5)上的衬底处于纳米粒子束流(4)的中心;(c)利用抽气系统罗兹泵(9)和分子泵(10)对沉积室(8)抽真空,并从惰性气体入口(11)向气相聚集法团簇束流源的冷凝室(6)内充入惰性气体,气相聚集法团簇束流源(7)中的原子化器(1)通过磁控溅射或高温蒸发产生高密度银原子气,银原子气在冷凝室(6)中的惰性气体中生长成为银纳米粒子,银纳米粒子随惰性气体通过喷嘴(2)等熵膨胀形成纳米粒子束流(4),纳米粒子束流经过准直器(3)进入高真空沉积室(8)内,形成高度定向的银纳米粒子束流(4);(d)旋转高真空沉积室(8)内安装衬底的衬底座(5),使衬底与纳米粒子束流成30°入射角,调节溅射电源的输入功率控制银纳米粒子束流的等效沉积速率为0.02nm/s,通过控制沉积时间来调控纳米粒子在衬底上的覆盖度;在入射光纤(12)处引入紫外- ...
【技术特征摘要】
【专利技术属性】
技术研发人员:贺龙兵,韩民,宋凤麒,
申请(专利权)人:南京大学,
类型:发明
国别省市:84[中国|南京]
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