光电子装置制造方法及图纸

一种光电子装置，用于将相干的第一电磁辐射的第一束(110)投影 至表面(91)上，该光电子装置特别是具有第一辐射源(11)，其适于在 工作中发出相干的第一电磁辐射的第一束(110)。此外，该光电子装置包 括在第一电磁辐射的光路中的第一相位修改元件(21)，其使第一束(110) 的部分区域(1102)中的第一电磁辐射的相位改变，以及包括在第一电磁辐 射的光路中的辐射转向元件(4)，其使第一束(110)的辐射方向(P1，P2) 改变。

【技术实现步骤摘要】
【国外来华专利技术】光电子装置本专利技术涉及一种根据权利要求1的前序部分所述的光电子装置。在考虑通it^目干的光所照明的表面或相干的光所投影到的表面时，在 反射光的远场中可感知到所谓斑点图案形式的表现出不规则亮度的照明 图案。斑点图案在此在照明表面的成像中例如会形成在眼睛的视网膜上， 或由于该表面的表面结构上所反射的光的干涉效应而形成在解析位置的 检测系统上。典型的表面结构通常由表面的 1度来给出。在眼睛位置或 检测器位置或表面的照明区域连续地改变时，该连续变化的斑点图案大都 以不期望的方式4lt感知为闪光。本专利技术的特定的实施形式的至少一个任务是提供一种具有相干的辐 射源的光电子装置，其可使斑点图案的印象减轻。该任务通过一种具有独立权利要求1的特征的物件来完成。该物件的 其他有利的实施形式和改进方案在从属权利要求中进行描述并且此外由 以下的描述和附图中得知。根据至少一个实施形式的光电子装置在此特别是包括-第一辐射源，其适于在工作中发出相干的第一电磁辐射的第一束，—第一相位修改元件，其位于第一电磁辐射的光路中用于改变第一束的 部分区域中的第一电磁辐射的相位，以及-辐射转向元件，其位于第一电磁辐射的光路中以使第一束的辐射方向 改变。在此，特别是第一束的部分区域中的相位改变意味着第一束的第一部 分区域中的相位相对于第二部分区域中的相位的改变。因此，特别是也可 称为两个部分区域的相位的相位差改变.相干的第一电磁辐射的第一束在此特别是可以为第一电磁辐射的辐 射束或第 一电磁辐射的光束。 一束电磁辐射特别是可表示如下的电磁辐 射该电磁辐射优选可沿着任意的或特定的传播方向、光路或辐射方向而 传播，并且在此特别优选的是可以横向于光路地在空间上受到限制。此外，该光电子装置可以适于将第一束转向到表面上。此表面在此譬如可以是投影屏幕。笫一相位修改元件的作用可以是使第一电磁辐射的相位至少部分地、 即在笫一部分区域中或在多个部分区域中发生变化，使得可以产生"粗的"相位波前(Phasenfront)。这特别是意味着第一电磁輻射在第一相位修 改元件之后虽然还是相干的辐射，但不再具有平滑的相位波前。由于可以被光电子装置照明的表面或者第一束被投影到其上的表面 通常具有^MI度，所以通常在借助具有平滑的相位波前的相干电磁辐射对 该表面照明时，在观察者处产生斑点图案的印象。该斑点图案是一种干涉 图像，其由相干电磁辐射在WI^面的各部分区域上的反射而造成。当一束具有平滑的相位波前的这种相干电磁辐射在表面上移动时，于^1也产生 斑点图案的印象，因为只要该表面的特定的部分区域位于该束中(即由该 M盖)，则该电磁辐射的相位在该部分区域中保持相同。借助根据本专利技术的光电子装置所产生的第一电磁辐射的粗的相位波 前，可有利地使这种斑点图案的印象减轻或消失。这可以下述方式来实现 在第 一光束在表面上进行最少量的移动时，在观察者处所产生的干涉图像 持续地改变，因为在固定的部分区域中入射至该表面上的电磁辐射的相位 由于"粗的"相位波前而持续地改变。通过折叠，即粗的相位波前与该表面 的^L^t变的叠加，可持续地产生变化的干涉图像或斑点图案。通过在观察 者处所产生的干涉图像的持续改变，由于眼睛的惰性而形成干涉图像或斑 点图案的时间上平均的效应。眼睛的时间上的平均因此可有利地4吏斑点图 案的印象减轻或甚至消失。在一个优选的实施形式中，第一相位修改元件适于使第一束的一部分 的相位相对于第一束的另 一部分的相位而发生变化。为此，可以有利的是， 第一相位修改元件具有第一区域和第二区域，它们分别i殳计用于和/或适 于用来分别以不同的程度来修改第一电磁辐射的相位。第一相位《务改元件 特别适于在第一束的多个部分区域中分别使第一电磁辐射的相位改变。为 此，第一相位修改元件可具有多个相位修改区域。通过这种方式，第一电 磁辐射在辐射方向上在第 一相位修改元件之后在与第 一束的辐射方向成 横向的方向中，特别是例如在与辐射方向成垂直的方向中，可在第一束的 光束橫截面的不同区域中具有不同的相位。在此可以有利的是，分别构建 第一和第二区域，使第一电磁辐射的相位在整个第一区域中恒定地修改， 且第 一 电磁辐射的相位在整个第二区域中恒定地修改但不同于第 一 区域 中的修改，由此可在第一束的光M截面上产生阶梯式的相位轮廊。第一电磁辐射由此可在与第 一束的光束方向成橫向的方向中具有相位跳跃或 相位等级。在此可以是特别有利的是，可产生随机分布的阶梯式相位轮廓，因为这种相位轮廓可51起表面上的斑点图案的快速改变，这样可如上所述 地通过观察者眼睛的平均效应而有利地抑制斑点图案的感知。替选地或者附加地，可实施第一相位修改元件，使得分别构建第一区 域和第二区域，使得笫一电磁辐射的相位与第一辐射方向成横向(特别是 垂直)地连续修改。通过这种方式，可产生连续的相位轮廓。特别是例如 可产生周期性的、特别优选为正弦形式的相位轮廊。 一种可产生连续的相位轮廓的相位修^ut件在此可以是有利的，因为由此可以将衍射损耗最小 化。在另一实施形式中，相位修改元件圃盘形或板形地以横向于(特别是 垂直于)第一光束的辐射方向的两个主延/f申方向来实施，并且例如可以是 多边形，特别是矩形或正方形，此外也可以是圆形、椭圆形或上述各种形 状的组合。两个主延伸方向在此例如可互相垂直。在圃形或椭圆形的相位 修改元件中，其中一个主延伸方向可以沿着半径而另一个主延伸方向沿着一个旋转角度来设定。第一相位修^LiL件的不同的相位修改区域的布置在 此可沿着一个主延伸方向来实施，使得多个不同的相位修改区域可形成带状的图案。在圆形或椭圆形的相位修改元件的情况下，多个不同的相位修改区域也可形成扇形的、圃环或椭圆环形式的图案。替选地或者附加地，不同的相位修改区域的布置也可在第二主延伸方向中实施，使得例如可以以矩阵形式来布置多个相位修改区域。相位修改区域的尺寸(即例如带的宽度)在此优选可以大于第一电磁辐射的波长。相位轮廓在此可有利地具有与相位修改区域的布置相同的图案，即例如带状图案或矩阵形式的图案。可以特别有利的是，相位轮廓的振幅(即由笫一相位修改元件所造成 的相位的变化)在第一和第二区域之间改变至少1.5tt，即至少270。。在 此，第一和第二区域不必互相邻接。特别是阶梯形式的相位轮廓可具有随 机的相位分布。在此，笫一相位修改元件可具有多个部分区域，其数目大 于或等于5并且小于或等于15。此外，连续的周期性相位^^廓(例如， 正弦形相位轮廓)可在照明区域中具有多个周期，周期的数目为大于或等 于1并且小于或等于5。如果第一束例如设计用于在表面上移动，则可以有利的是，相位修改 元件设置在第一束中，使第一束的相位轮廓在第一束入射至此表面上时在此表面上平行于第一束的移动方向而改变。在相位修改区域布置成带状 时，第一束在表面上的由此得到的相位轮廓具有带状区，这些带状区优选 垂直于笫一束的移动方向。例如，该束也可在两个移动方向上在表面上移 动，其中该束在一个移动方向中比在另一移动方向中更快地移动。在此可 以有利的是，前面所述的内容适用于该快速的移动方向。在此，可有利地构建相位修改元件，使得第一电磁辐射的振幅和/或 强度不改变或几乎不改变，使得该相位修改元件不会造成功率损耗或只会造成本文档来自技高网...

【技术保护点】
一种用于将相干的第一电磁辐射的第一束（１１０）投影到表面（９１）上的光电子装置，包括：　第一辐射源（１１），其适于在工作中发出相干的第一电磁辐射的第一束（１１０），　第一相位修改元件（２１），其位于第一电磁辐射的光路中，用于改变第一束（１１０）的部分区域（１１０２）中的第一电磁辐射的相位，以及　辐射转向元件（４），其位于第一电磁辐射的光路中以使第一束（１１０）的辐射方向（Ｐ１，Ｐ２）改变。

【技术特征摘要】
【国外来华专利技术】

【专利技术属性】
技术研发人员：亨尼·格瑞恩，
申请(专利权)人：奥斯兰姆有限公司，
类型：发明
国别省市：DE