一种带浮置埋层的碳化硅高压Ｎ型金属氧化物半导体管，包括Ｐ型碳化硅衬底，在Ｐ型碳化硅衬底上设Ｐ型外延层，在Ｐ型外延层内设源和Ｎ型漂移区，在Ｎ型漂移区内设漏和Ｐ型保护环，在源上设源的金属引线，在漏上设源漏的金属引线，在源与Ｎ型漂移区之间的Ｐ型外延层的上方设有栅氧化层且与源的金属引线邻接，在Ｐ型保护环的表面、漏的金属引线以外的表面、Ｎ型漂移区的漏和Ｐ型保护环以外的表面以及Ｐ型外延层的源的金属引线和栅氧化层以外的表面设有场氧化层，在栅氧化层上设有栅，在漏的金属引线上设有金属场极板，在Ｐ型碳化硅衬底与Ｐ型外延层之间设有Ｎ型浮置埋层，Ｎ型浮置埋层位于Ｐ型碳化硅衬底与Ｐ型外延层交界面上。（*该技术在2020年保护过期，可自由使用*）
【技术实现步骤摘要】
本技术是一种碳化硅金属氧化物半导体管，尤其是碳化硅高压金属氧化物半 导体管。二
技术介绍
金属氧化物半导体型功率集成器件具有开关特性好、功耗小等优点，更为重要的 是金属氧化物半导体型功率器件易于兼容标准低压金属氧化物半导体工艺，降低芯片的生 产成本。在MOS型功率集成器件的研究中以横向双扩散、偏置栅等结构较多。其中横向金 属氧化物半导体场效应管具有良好的短沟道特性和负的迁移率温度系数，而且通过RESURF 技术可以得到很高的击穿电压。因此其应用广泛特别适用于CDMA、W-CDMA、TETRA、数字地 面电视等需要宽频率范围、高线性度和使用寿命要求高的应用。目前，碳化硅作为一种宽禁带半导体材料，其击穿电场强度高、热稳定性好，还具 有载流子饱和漂移速度高、热导率高等特点，可以用来制造各种耐高温、高频大功率器件， 应用于硅器件难以胜任的场合。碳化硅功率MOS器件具有很高的临界电场，在阻断电压保 持不变的条件下，可以采用更薄的重掺杂漂移区，因此碳化硅金属氧化物半导体管的开态 导通电阻比硅基金属氧化物半导体管大大减小。碳化硅晶体生长技术和器件制造技术正在 进一步完善，今后几年内各种碳化硅电力电子器件的成品率、可靠性和价格将获较大改善。 基于碳化硅材料的横向金属氧化物半导体场效应管的击穿电压大、导通电阻小，因此非常 具有研究价值和应用前景。三
技术实现思路
技术问题本技术提供一种击穿电压在2000V以上的带有浮置N型埋层碳化硅 高压N型金属氧化物半导体管。技术方案本技术所述的一种带浮置埋层的碳化硅高压N型金属氧化物半导体管，包 括p型碳化硅衬底，在P型碳化硅衬底上设有P型外延层，在P型外延层内设有源和N型 漂移区，在N型漂移区内设有漏和P型保护环，在源上设有源的金属引线，在漏上设有源漏 的金属引线，在源与N型漂移区之间的P型外延层的上方设有栅氧化层且与源的金属引线 邻接，在P型保护环的表面、漏的漏的金属引线以外的表面、N型漂移区的漏和P型保护环 以外的表面以及P型外延层的源的金属弓I线和栅氧化层以外的表面设有场氧化层，在栅氧 化层上设有栅，在漏的金属引线上设有金属场极板，在P型碳化硅衬底与P型外延层之间设 有N型浮置埋层，且所述N型浮置埋层位于P型碳化硅衬底与P型外延层交界面上。有益效果本技术碳化硅金属氧化物半导体管结构与传统碳化硅金属氧化物 半导体管结构相比，击穿电压提高了近一倍，如图3所示。(1)本技术引入了 N型浮置 埋层，由于埋层具有等电位作用，漏端高电场被重新分配。同时，埋层与外延层、衬底形成了 两个平行平面PN结。其中与衬底所形成的平行平面PN结被耗尽后，可以和N型漂移区与 外延层的PN结共同承担漏端的纵向电压，从而提高器件的纵向击穿电压。(2)本技术在N型漂移区中引入了 P型保护环，这使N型漂移区不但与P型外延之间形成耗尽区，而且 与P型保护环之间同样形成耗尽区，因此大大增强了 N型漂移区的耗尽程度，降低了碳化硅 和氧化层界面的电场强度，从而提高了器件的横向击穿电压。(3)与漏同电位的场极板可以 增加N+漏与P型保护环之间的曲率半径，从而降低了该PN结的表面电场，提高了器件的表 面击穿电压。(4)本技术的制备工艺兼容标准碳化硅CMOS工艺，因此本技术的碳 化硅金属氧化物半导体管结构可以应用于碳化硅功率集成电路。四附图说明图1是传统碳化硅器件结构方案，图2是本实施例的结构示意图。图3是击穿电 压模拟图。五具体实施方式一种带浮置埋层的碳化硅高压N型金属氧化物半导体管，包括P型碳化硅衬底1， 在P型碳化硅衬底1上设有P型外延层2，在P型外延层2内设有源4和N型漂移区3，在 N型漂移区3内设有漏5和N型保护环7，在源4上设有源的金属引线12，在漏5上设有源 漏的金属引线11，在源4与N型漂移区3之间的P型外延层2的上方设有栅氧化层6且与 源的金属引线12邻接，在P型保护环7的表面、漏5的漏的金属引线11以外的表面、N型 漂移区3的漏5和P型保护环7以外的表面以及P型外延层2的源的金属引线12和栅氧 化层6以外的表面设有场氧化层8，在栅氧化层6上设有栅10，在漏的金属引线11上设有 金属场极板9，在P型碳化硅衬底1与P型外延层2之间设有N型浮置埋层13，且所述N型 浮置埋层13位于P型碳化硅衬底1与P型外延层2交界面上。权利要求一种带浮置埋层的碳化硅高压N型金属氧化物半导体管，包括P型碳化硅衬底(1)，在P型碳化硅衬底(1)上设有P型外延层(2)，在P型外延层(2)内设有源(4)和N型漂移区(3)，在N型漂移区(3)内设有漏(5)和P型保护环(7)，在源(4)上设有源的金属引线(12)，在漏(5)上设有源漏的金属引线(11)，在源(4)与N型漂移区(3)之间的P型外延层(2)的上方设有栅氧化层(6)且与源的金属引线(12)邻接，在P型保护环(7)的表面、漏(5)的漏的金属引线(11)以外的表面、N型漂移区(3)的漏(5)和P型保护环(7)以外的表面以及P型外延层(2)的源的金属引线(12)和栅氧化层(6)以外的表面设有场氧化层(8)，在栅氧化层(6)上设有栅(10)，在漏的金属引线(11)上设有金属场极板(9)，其特征在于，在P型碳化硅衬底(1)与P型外延层(2)之间设有N型浮置埋层(13)，且所述N型浮置埋层(13)位于P型碳化硅衬底(1)与P型外延层(2)交界面上。专利摘要一种带浮置埋层的碳化硅高压N型金属氧化物半导体管，包括P型碳化硅衬底，在P型碳化硅衬底上设P型外延层，在P型外延层内设源和N型漂移区，在N型漂移区内设漏和P型保护环，在源上设源的金属引线，在漏上设源漏的金属引线，在源与N型漂移区之间的P型外延层的上方设有栅氧化层且与源的金属引线邻接，在P型保护环的表面、漏的金属引线以外的表面、N型漂移区的漏和P型保护环以外的表面以及P型外延层的源的金属引线和栅氧化层以外的表面设有场氧化层，在栅氧化层上设有栅，在漏的金属引线上设有金属场极板，在P型碳化硅衬底与P型外延层之间设有N型浮置埋层，N型浮置埋层位于P型碳化硅衬底与P型外延层交界面上。文档编号H01L29/08GK201766079SQ201020224318公开日2011年3月16日 申请日期2010年6月11日 优先权日2010年6月11日专利技术者华国环, 孙伟锋, 时龙兴, 潘晓芳, 钱钦松, 陆生礼 申请人:东南大学本文档来自技高网...
【技术保护点】
一种带浮置埋层的碳化硅高压Ｎ型金属氧化物半导体管，包括：Ｐ型碳化硅衬底（１），在Ｐ型碳化硅衬底（１）上设有Ｐ型外延层（２），在Ｐ型外延层（２）内设有源（４）和Ｎ型漂移区（３），在Ｎ型漂移区（３）内设有漏（５）和Ｐ型保护环（７），在源（４）上设有源的金属引线（１２），在漏（５）上设有源漏的金属引线（１１），在源（４）与Ｎ型漂移区（３）之间的Ｐ型外延层（２）的上方设有栅氧化层（６）且与源的金属引线（１２）邻接，在Ｐ型保护环（７）的表面、漏（５）的漏的金属引线（１１）以外的表面、Ｎ型漂移区（３）的漏（５）和Ｐ型保护环（７）以外的表面以及Ｐ型外延层（２）的源的金属引线（１２）和栅氧化层（６）以外的表面设有场氧化层（８），在栅氧化层（６）上设有栅（１０），在漏的金属引线（１１）上设有金属场极板（９），其特征在于，在Ｐ型碳化硅衬底（１）与Ｐ型外延层（２）之间设有Ｎ型浮置埋层（１３），且所述Ｎ型浮置埋层（１３）位于Ｐ型碳化硅衬底（１）与Ｐ型外延层（２）交界面上。
【技术特征摘要】
【专利技术属性】
技术研发人员：钱钦松，华国环，孙伟锋，潘晓芳，陆生礼，时龙兴，
申请(专利权)人：东南大学，
类型：实用新型
国别省市：84[中国|南京]
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