表面结构化复合涂层制备装置制造方法及图纸

一种表面结构化复合涂层制备装置，适用于表面结构化复合涂层制备，是一种紫外脉冲激光多功能表面处理系统装置，它包括紫外脉冲激光多功能表面处理系统装置，紫外脉冲激光多功能表面处理系统装置包括脉冲激光模块、精密扫描模块和环境调控模块，脉冲激光模块、精密扫描模块和环境调控模块顺序连接。采用一个激光光源可同时实现材料表面的结构化处理和复合涂层的沉积，结构简单、易于控制，单次扫描即可，无需对制备的样品进行复杂的后处理工艺；应用范围广、紫外脉冲激光具有光子能量大、波长短的特点，可以对任何材料进行精密的表面结构化处理，同时可以诱导多种气体的化学反应，高效的进行复合涂层沉积。（*该技术在2020年保护过期，可自由使用*）

【技术实现步骤摘要】

本技术涉及一种表面工程的薄膜涂层，特别是一种表面结构化复合涂层制备方法及其装置。 
技术介绍
随着科学技术及人类社会的发展，摩擦学材料的服役条件越来越极端化、复杂化，这对材料的耐磨性、减摩性等提出了越来越高的要求。在传统摩擦学材料的基础上，通过表面工程技术研发，表面减摩耐磨涂层为优化机械系统摩擦学性能、解决材料磨损提供了一条有效、也是极具生命力的方案和途径。 薄膜涂层是表面工程独立于材料学、热处理、电镀、热喷涂等，成为独立
的关键性标志。在现阶段，薄膜涂层的制备方法主要有物理气相沉积(PVD)、化学气相沉积(CVD)、等离子体化学气相沉积(PCVD)、离子束辅助沉积(IBAD)及离子注入等；从薄膜涂层材料来看，基本上还是软、硬两大类。但是，传统薄膜涂层具有许多无法克服的缺点，如类金刚石涂层中存在很大的内应力，降低了和基体之间的结合强度；石墨涂层具有优良的减摩性能，但是石墨的硬度低、耐磨损性能差；涂层不能协调硬度和韧性之间的矛盾。因此，在薄膜涂层领域，在组分上由单一组分向三组分或四组分发展，同时还寻求新的涂层材料，甚至包括含油的涂层。薄膜涂层的加工方法在原来的PVD、CVD和I本文档来自技高网...

【技术保护点】
一种表面结构化复合涂层制备装置，其特征是：它包括紫外脉冲激光多功能表面处理系统装置，紫外脉冲激光多功能表面处理系统装置包括脉冲激光模块、精密扫描模块和环境调控模块，脉冲激光模块、精密扫描模块和环境调控模块顺序连接。

【技术特征摘要】
1.一种表面结构化复合涂层制备装置，其特征是：它包括紫外脉冲激光多功能表面处理系统装置，紫外脉冲激光多功能表面处理系统装置包括脉冲激光模块、精密扫描模块和环境调控模块，脉冲激光模块、精密扫描模块和环境调控模块顺序连接。2.根据权利要求1所述的表面结构化复合涂层制备装置，其特征是：所述的脉冲激光模块包括控制器和脉冲激光器，控制器和脉冲激光器顺序连接。3.根据权利要求1所述的表面结构化复合涂层制备装置，其特征是：所述的精密扫描模块包括反射镜、扩束镜、X-...

【专利技术属性】
技术研发人员：杨海峰，王延庆，韩正铜，王庆良，李宝林，
申请(专利权)人：中国矿业大学，
类型：实用新型
国别省市：32[中国|江苏]