【技术实现步骤摘要】
本技术涉及一种水平单晶生长用长方形舟,属于生长单晶用设备领域。技术背景生长单晶的水平布里奇曼法,简称HB法;应用相当广泛。在化合物半导体单晶的 生长方面,尤其如此。HB法是将生长单晶的原料放在一种器皿中,器皿放入圆管中,抽真空 后封闭管口 ;用定向凝固法或定向区熔法生长单晶。这种器皿一般称之为“舟”,而外管称之 为生长管。目前,从用途上分,舟用于合成多晶的,称之为合成舟;而用于生长单晶的,称之 为拉晶舟。单晶生长用舟构成如下最前端的叫籽晶腔,在主体和籽晶腔之间的部分叫放 肩部,作用是平滑联接籽晶腔和舟的主体。中间是单晶生长舟的主体部分。最后是舟尾。HB法用的舟从出现的那天起,主体截面就采用半圆形。到目前为止,包括世界上用 HB法生长单晶的著名厂商,除了我们也都采用主体截面为半圆形的舟。籽晶腔则有方形、矩形、半圆形等多种。半圆形舟应用了几十年,其最大特点是加工容易。圆形管一破两半,再加上舟头和 舟尾即可。水平单晶主要用途是制作分离器件-LED (发光二极管)。晶片在外延后需要进行 划片。切成很小的小方片。半圆舟和异性舟在单晶生长成功后,切片后都要进行割圆,将切 割得单晶D型片割成圆片,圆片外延后进行画片,圆片外5mm内基本不能用,顺划片方向也 要损失。而单晶方形片则可省掉割圆工序,在器件划片时减少损失。
技术实现思路
本技术针对半圆舟和异形舟的缺点,提供了一种水平单晶生长用长方形舟, 采用以下技术方案所述长方形舟包括有舟中间的主体,两边分为舟头、舟尾,其中,舟的主 体部分的横截面为矩形,代替了以往的半圆形和异形。所述舟的主体部分的内高为30+°_5mm,水 ...
【技术保护点】
水平单晶生长用长方形舟,包括有舟中间的主体部分,两边分为舟头、舟尾,其特征在于,所述舟的主体部分的横截面为矩形。
【技术特征摘要】
【专利技术属性】
技术研发人员:武壮文,于洪国,赵静敏,时彬,张桂艳,朱苗苗,
申请(专利权)人:北京有色金属研究总院,国瑞电子材料有限责任公司,
类型:实用新型
国别省市:11[中国|北京]
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