水平单晶生长用长方形舟制造技术

技术编号:6122594 阅读:143 留言:0更新日期:2012-04-11 18:40
一种水平单晶生长用长方形舟属于生长单晶用设备领域。该舟分为舟中间的主体部分,两边分为舟头、舟尾,其中,所述舟的主体部分的横截面为矩形,代替了以往的半圆形和异形。采用本实用新型专利技术所述的长方形舟生长出的水平单晶为方形片,可以省掉由原半圆舟和异形舟生长出的单晶片必须的割圆工序,在器件划片时有效的减少了损失。(*该技术在2019年保护过期,可自由使用*)

【技术实现步骤摘要】

本技术涉及一种水平单晶生长用长方形舟,属于生长单晶用设备领域。技术背景生长单晶的水平布里奇曼法,简称HB法;应用相当广泛。在化合物半导体单晶的 生长方面,尤其如此。HB法是将生长单晶的原料放在一种器皿中,器皿放入圆管中,抽真空 后封闭管口 ;用定向凝固法或定向区熔法生长单晶。这种器皿一般称之为“舟”,而外管称之 为生长管。目前,从用途上分,舟用于合成多晶的,称之为合成舟;而用于生长单晶的,称之 为拉晶舟。单晶生长用舟构成如下最前端的叫籽晶腔,在主体和籽晶腔之间的部分叫放 肩部,作用是平滑联接籽晶腔和舟的主体。中间是单晶生长舟的主体部分。最后是舟尾。HB法用的舟从出现的那天起,主体截面就采用半圆形。到目前为止,包括世界上用 HB法生长单晶的著名厂商,除了我们也都采用主体截面为半圆形的舟。籽晶腔则有方形、矩形、半圆形等多种。半圆形舟应用了几十年,其最大特点是加工容易。圆形管一破两半,再加上舟头和 舟尾即可。水平单晶主要用途是制作分离器件-LED (发光二极管)。晶片在外延后需要进行 划片。切成很小的小方片。半圆舟和异性舟在单晶生长成功后,切片后都要进行割圆,将切 割得单晶D型片割成圆片,圆片外延后进行画片,圆片外5mm内基本不能用,顺划片方向也 要损失。而单晶方形片则可省掉割圆工序,在器件划片时减少损失。
技术实现思路
本技术针对半圆舟和异形舟的缺点,提供了一种水平单晶生长用长方形舟, 采用以下技术方案所述长方形舟包括有舟中间的主体,两边分为舟头、舟尾,其中,舟的主 体部分的横截面为矩形,代替了以往的半圆形和异形。所述舟的主体部分的内高为30+°_5mm,水平宽度为53+°_5mm,壁厚为3. 5+°_5mm。本技术的有益效果为采用本技术所述的长方形舟生长出的水平单晶为 方形片,可以省掉由原半圆舟和异形舟生长出的单晶片必须的割圆工序,在器件划片时有 效的减少了损失。附图说明图1为本技术的剖面示意图;图2为本技术的俯视图;图3为A-A面(舟主体部分)的截面图。图中标号1-主体部分;2-舟头;3-舟尾;4-籽晶腔;5-支撑板;6_放肩部。具体实施方式本技术提供了一种水平单晶生长用长方形舟,下面通过附图说明和具体实施方式对本技术做进一步说明。图1为本技术的剖面示意图;图2为本技术的俯视图。所述长方形舟包 括有舟中间的主体部分1,两边分为舟头2、舟尾3,其中,舟的主体部分1的横截面为矩形。 舟头3处设置籽晶腔4,籽晶腔4下部设置支撑板5,支撑板5的下部与舟主体部分1的外 底相平。籽晶腔4水平长35±2mm,宽度为他“讓,高度为9+°_2mm,为长方体籽晶腔,支撑板 5的厚度为3+1mm ;籽晶腔4与主体部分1底部连接的斜面部分为放肩部6,放肩部6水平长 50+2mm,与籽晶腔4和舟主体部分1圆滑联接;舟尾3水平长度为40±2mm。图3为A-A面(舟主体部分)的截面图。主体部分1内高30+0.5mm,水平宽度 53+0.5mm,壁厚3. 5∧10.5mm。舟的总长度范围为300 1500mm。本技术所述的水平单晶生长用长方形舟主要用石英制作,也可用其他材料制作。本技术覆盖的主要是生长单晶用舟。权利要求水平单晶生长用长方形舟,包括有舟中间的主体部分,两边分为舟头、舟尾,其特征在于,所述舟的主体部分的横截面为矩形。2.根据权利要求1所述的水平单晶生长用长方形舟,其特征在于,所述主体部分的内 高为30+0. 5mm,水平宽度为53+0. 5mm,壁厚为3. 5+0. 5mm。专利摘要一种水平单晶生长用长方形舟属于生长单晶用设备领域。该舟分为舟中间的主体部分,两边分为舟头、舟尾,其中,所述舟的主体部分的横截面为矩形,代替了以往的半圆形和异形。采用本技术所述的长方形舟生长出的水平单晶为方形片,可以省掉由原半圆舟和异形舟生长出的单晶片必须的割圆工序,在器件划片时有效的减少了损失。文档编号C30B13/00GK201598346SQ200920350610公开日2010年10月6日 申请日期2009年12月24日 优先权日2009年12月24日专利技术者于洪国, 张桂艳, 时彬, 朱苗苗, 武壮文, 赵静敏 申请人:北京有色金属研究总院;国瑞电子材料有限责任公司本文档来自技高网...

【技术保护点】
水平单晶生长用长方形舟,包括有舟中间的主体部分,两边分为舟头、舟尾,其特征在于,所述舟的主体部分的横截面为矩形。

【技术特征摘要】

【专利技术属性】
技术研发人员:武壮文于洪国赵静敏时彬张桂艳朱苗苗
申请(专利权)人:北京有色金属研究总院国瑞电子材料有限责任公司
类型:实用新型
国别省市:11[中国|北京]

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