一种用于微纳米级切削加工的刀具伺服补偿驱动装置制造方法及图纸

本发明专利技术公开了一种用于微纳米级切削加工的刀具伺服补偿驱动装置，旨在提供一种定位精度和重复定位精度高、响应速度快、稳定性好的用于微纳米级切削加工的刀具伺服补偿驱动装置。它包括开有矩形槽的基座，在矩形槽中过盈安装压电叠堆作为驱动元件，基座上表面粘接有传感器固定基座，在传感器固定基座内间隙安装有精密电容接触式位移传感器，基座后端为连接装置，连接装置与基座为同一整体，刀架通过三组平行板型薄壁柔性铰链与基座连接，刀架上端为挡块，挡块和刀架为同一整体，刀具通过刀具紧固螺钉安装在刀架底部的刀槽中。本发明专利技术可实现切削刀具的精密定位及驱动，能够满足微纳米级切削加工对刀具驱动装置的要求。

【技术实现步骤摘要】

本专利技术涉及一种超精密切削加工装置，特别涉及一种用于微纳米级切削加工的刀 具伺服补偿驱动装置，属于机械精密切削加工

技术介绍
近年来，随着超精密切削加工、精密光学、半导体学、数据存储、微电子技术、生物 医学等学科的迅猛发展，人们对微纳米级精度的超精密加工技术及装备有着越来越高的要 求。目前，用于切削加工的普通车床溜板或数控车床刀架一般采用电机带动滚珠丝杠或者 手动细牙螺纹来实现刀具的定位和驱动。上述刀具驱动装置的缺陷是由于受限自身结构 和制造精度以及传动方式，存在结构尺寸过大、定位精度和重复定位精度低、传动不平稳等 缺点，不能很好的实现微纳米级切削加工的需要，这严重制约了机械零部件和回转对称非 球面光学曲面等的加工精度和表面质量，严重阻碍了制造业发展水平。
技术实现思路
本专利技术的目的是克服现有技术的不足，提供一种定位精度和重复定位精度高、响 应速度快、稳定性好的用于微纳米级切削加工的刀具伺服补偿驱动装置。该装置可实现精 密直线定位及运动输出功能，配合机床回转刀架也可实现如运动轨迹为正弦曲线、梯形、三 角形或结构阵列等直线、曲线运动。该装置采用压电叠堆作为驱动元件实现刀架本文档来自技高网...

【技术保护点】
１．一种用于微纳米级切削加工的刀具伺服补偿驱动装置，主要由基座、刀架、刀具、驱动元件和信号检测元件组成，其特征在于，所述的驱动元件为压电叠堆（３），信号检测元件为精密电容接触式位移传感器（６），压电叠堆（３）过盈配合安装在基座（１）上开有的矩形槽内，并通过预紧机构预紧，基座（１）上固定有传感器固定基座（７），精密电容接触式位移传感器（６）间隙配合安装在传感器固定基座（７）内，并通过传感器紧固螺钉（８）固定，其前端接触探头始终与刀架（２）端部的挡块（９）接触，基座（１）尾端为连接装置（１１），刀架（２）通过第一、二、三平行板型薄壁柔性铰链（１２、１３、１４）与基座（１）连接，刀具（１０）通过刀具...

【技术特征摘要】

【专利技术属性】
技术研发人员：赵宏伟，马志超，胡磊磊，王汉伟，王赫，张振鹏，黄虎，杨洁，王小月，
申请(专利权)人：赵宏伟，
类型：发明
国别省市：82