The present invention provides a method for manufacturing a transparent conductive film, wherein the transparent conductive film on transparent film substrate on one side or both sides, through at least one layer of bottom coating has a transparent conductive layer, and the transparent conductive layer is patterned without having the transparent conductive film and transparent the non conductor layer pattern having at least one layer of the bottom coating, characterized in that the manufacturing method of transparent conductive film, the transparent film substrate on one side or both sides, forming at least one layer bottom coating process; formed in the coating on the bottom by using sputtering method transparent conductive layer the process will be; the transparent conductive layer and patterned etching process; and will have been patterned the transparent conductive layer and the annealing crystallization process.
【技术实现步骤摘要】
本专利技术涉及一种在可见光线区域具有透明性而且在薄膜基材上经由底涂层设置 透明导电体层的透明导电性薄膜及其制造方法。进而，还涉及具备该透明导电性薄膜的触 摸面板。本专利技术的透明导电性薄膜除了被用作液晶显示器、电致发光显示器等显示器方式 或触摸面板等中的透明电极以外，还被用于透明物品的防静电干扰或电磁波屏蔽等。本发 明的透明导电性薄膜特别优选用于触摸面板用途中。其中，优选用于静电电容结合方式的 触摸面板用途。
技术介绍
利用位置检测的方法不同，触摸面板包括光学方式、超声波方式、静电电容方式、 电阻膜方式等。电阻膜方式的触摸面板的透明导电性薄膜与带透明导电体层玻璃经由间 隔件对置配置，成为在透明导电性薄膜中流电流来计测带透明导电体层玻璃中的电压的结 构。另一方面，静电电容方式的触摸面板的特征在于，以在基材上具有透明导电层的结构为 基本结构，没有可动部分，具有高耐久性、高透过率，所以适用于车辆用途等中。在所述触摸面板中，例如提出了在透明的薄膜基材的单面，从所述薄膜基材的一 侧，依次形成第一底涂层、第二底涂层以及透明导电体层的透明导电性薄膜(专利文献1)。专利文献1 ...
【技术保护点】
一种透明导电性薄膜的制造方法，其中透明导电性薄膜是在透明的薄膜基材的单面或两面上，经由至少一层底涂层地具有透明导电体层，并且所述透明导电体层被图案化，且在不具有所述透明导电体层的非图案部具有所述至少一层底涂层的透明导电性薄膜，所述透明导电性薄膜的制造方法的特征在于，在透明的薄膜基材的单面或两面上，形成至少一层底涂层的工序；在所述底涂层上利用溅射法形成透明导电体层的工序；将所述透明导电体层蚀刻并图案化的工序；以及将已被图案化的所述透明导电体层退火处理并使其结晶化的工序。
【技术特征摘要】
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