本发明专利技术提供一种狭缝喷嘴清洗装置，能够短时间有效清洗狭缝喷嘴的喷出口周边部。该狭缝喷嘴清洗部(52)具有沿着狭缝喷嘴(32)的喷出口周边部在与狭缝喷嘴的长边方向平行的水平的清洗扫描方向(Y方向)移动的滑动架(64)。狭缝喷嘴清洗部(52)，在清洗扫描方向，以第一清洗单元(70)为始，以下为第一擦拭单元(72)、第二清洗单元(74)、第二擦拭单元(76)和干燥单元(78)，以该顺序排成一列地搭载在该滑动架(64)上。
Slit nozzle cleaning device and coating device
The invention provides a slit nozzle cleaning device which can effectively clean the peripheral part of a jet nozzle of a slit nozzle in a short time. The slit nozzle cleaning unit (52) has a slide carriage (64) moving along a horizontal cleaning scanning direction (Y direction) parallel to the long side of the slit nozzle (32) at the nozzle opening of the slit nozzle. Slit nozzle cleaning department (52), in the cleaning of scanning direction on the first cleaning unit (70) as the beginning, following the first cleaning unit (72), second (74), second cleaning unit wiping unit (76) and drying unit (78), in this order in a row to carry on the sliding a movable frame (64).
【技术实现步骤摘要】
本专利技术涉及无旋转方式的涂覆装置，特别涉及用于清洗无旋转法的涂覆处理中使用的狭缝喷嘴的喷出口周边部的狭缝喷嘴清洗装置。
技术介绍
IXD等的平面显示器(FPD)的制造工艺中的图像平版印刷工序中，较多使用无旋转的涂敷法，该使具有狭缝形状的喷出口的长尺型狭缝喷嘴涂敷法相对于玻璃基板等的被处理基板进行相对移动，在基板上涂覆处理液或药液等的涂覆液例如抗蚀剂液。在典型的无旋转涂覆法中，对固定载置在工作台上的基板，通过狭缝喷嘴喷出带状的抗蚀剂液，并使狭缝喷嘴在与喷嘴长边方向正交的水平方向移动。这样，从狭缝喷嘴的喷出口向基板上溢出的抗蚀剂液在喷嘴后方平坦地延伸，在基板的一个表面上形成抗蚀剂涂覆膜(例如，专利文献1)。作为其他的代表的无旋转涂覆法，多使用在工作台上在使基板悬浮在空中的状态下沿着水平方向进行输送的(工作台长边方向)的悬浮输送方式。在该种方式中，设置在悬浮工作台的上方的长尺型的狭缝喷嘴朝向通过其正下方的基板喷出带状的抗蚀剂液，由此在基板的输送方向从基板的前端部向着后端部在基板上的一个表面上形成抗蚀剂涂覆膜(例如，专利文献2)。通常，在狭缝喷嘴中，停止喷出动作时，喷出口附近容易附着或残留抗蚀剂液，如果其原样放置而干燥凝固，则在下一次涂覆处理时妨碍或扰乱抗蚀剂喷出流，有可能引起抗蚀剂膜厚的变动。因此，与涂覆处理部邻接设置的喷嘴待机部上，为下一次涂覆处理做准备，设置有用于清洗的狭缝喷嘴的喷出口周边部的狭缝喷嘴清洗装置(例如，专利文献3)。现有的狭缝喷嘴清洗装置具有，被定位在喷嘴待机部内的规定位置的、在狭缝喷嘴下方沿着喷嘴的长边方向扫描移动的喷嘴清洗头或滑动架，该滑动架上搭载有分别向着狭缝喷嘴的喷出口周边部分内喷射清洗液(例如稀释液)和干燥用气体(例如N2气体) 的清洗喷嘴和干燥喷嘴。滑动架沿着狭缝喷嘴的喷出口周边部沿着喷嘴长边方向扫描移动，并向着狭缝喷嘴的喷出口周边部的各部，清洗喷嘴首先吹出清洗液，接着干燥喷嘴吹出干燥用气体。专利文献专利文献1日本特开平10-156255号公报专利文献2日本特开2005-236092号公报专利文献3日本特开2007-111612号公报
技术实现思路
上述现有的狭缝喷嘴清洗装置，通过一次清洗扫描难以全面清扫狭缝喷嘴的喷出口周边部，因此要反复数次清洗扫描(滑动架的扫描移动)，存在喷嘴清洗处理周期时间长，清洗液的消耗量多的问题。本专利技术解决上述现有技术的问题点，提供提高清洗效率和清洗能力，实现清洗周期时间的缩短化和清洗液消耗量的节俭的狭缝喷嘴清洗装置和具备该狭缝喷嘴清洗装置的涂覆装置。本专利技术的狭缝喷嘴清洗装置，用于对涂覆处理中使用的具有狭缝状的喷出口的长尺型狭缝喷嘴的喷出口周边部进行清洗，其包括沿着上述狭缝喷嘴的喷出口周边部在与上述狭缝喷嘴的长边方向平行的水平的清洗扫描方向移动的滑动架；搭载在上述滑动架上、在上述清洗扫描方向移动并向上述狭缝喷嘴的喷出口周边部吹出清洗液的第一清洗单元；和在上述清洗扫描方向，位于上述清洗单元之后，搭载在上述滑动架上，在上述清洗扫描方向移动并擦去附着在上述狭缝喷嘴的喷出口周边部的液体的第一擦拭单元。上述的结构中，在清洗扫描方向，相对于狭缝喷嘴的各位置的喷出口周边部，首先，第一清洗单元喷出清洗液，由此将附着在该喷出口周边部的污垢溶解在清洗液中，污垢液残留在喷出口周边部。随即，第一擦拭单元通过该喷出口周边部，擦去附着在此的污垢液。本专利技术的涂覆装置包括具有在涂覆处理中对被处理基板带状喷出涂覆液的狭缝状的喷出口的长尺型狭缝喷嘴；在涂覆处理中向上述狭缝喷嘴供给涂覆液的涂覆液供给部；支撑上述基板的基板支撑部；在涂覆处理中，以上述狭缝喷嘴在上述基板上进行涂覆扫描的方式，在上述狭缝喷嘴和上述基板之间在水平方向进行相对移动的涂覆扫描机构； 和用于在涂覆处理的间歇对上述狭缝喷嘴的喷出口周边部进行清洗的上述狭缝喷嘴清洗装置。根据本专利技术的狭缝喷嘴清洗装置，通过上述结构和作用能够提高狭缝喷嘴的清洗效率，实现清洗周期的时间的缩短和清洗液消耗量的降低。此外，根据本专利技术的涂覆装置， 通过具备本专利技术的狭缝喷嘴清洗装置，能够提高对狭缝喷嘴的清洗功能的清洗能力，改善涂覆处理的品质、成品率、维修成本。附图说明图1为表示能够适用本专利技术的狭缝喷嘴清洗装置的抗蚀剂涂覆装置的一个结构例的立体图。图2为表示上述抗蚀剂涂覆装置中的狭缝喷嘴的内部结构和基板上形成抗蚀剂涂覆膜的情形的截面图。图3为表示上述抗蚀剂涂覆装置中狭缝喷嘴的外观结构和基板上形成抗蚀剂涂覆膜的样子的主视图。图4为表示上述抗蚀剂涂覆装置具备的喷嘴恢复部的结构的局部截面主视图。图5为表示组装在上述喷嘴恢复部的狭缝喷嘴清洗部的结构的立体图。图6为表示从清洗扫描的斜前方观察的上述狭缝喷嘴清洗部的结构的立体图。图7为表示组装在上述狭缝喷嘴清洗部的擦拭单元的主要部分的结构的图。图8为表示上述狭缝喷嘴清洗部中进行与狭缝喷嘴的对位的机构的结构的截面图。图9A为示意性地表示上述狭缝喷嘴清洗部的作用的侧视图。图9B为示意性地表示上述狭缝喷嘴清洗部的作用的侧视图。图IOA为表示在上述狭缝喷嘴清洗部搭载在滑动架上的单元的组成的变形例的图。图IOB是表示上述狭缝喷嘴清洗部中的搭载在滑动架上的单元的组成的变形例的图。图IlA是表示上述狭缝喷嘴清洗部中以单触式安装在滑动架上安装擦拭单元的结构例的图。图IlB是表示上述狭缝喷嘴清洗部中以单触式在滑动架上安装擦拭单元的另一结构例的图。图12为表示上述狭缝喷嘴清洗部的第二实施方式的结构的俯视图。图13为上述狭缝喷嘴清洗部的第二实施方式的干燥单元的截面图。图14为图12的B-B的截面图符号说明32狭缝喷嘴52狭缝喷嘴清洗部60Y方向移动部70、74清洗单元72、76擦拭单元78干燥单元具体实施例方式以下，参照附图，说明本专利技术的最佳实施方式。图1为表示本专利技术的能够适用狭缝喷嘴清洗装置的抗蚀剂涂覆装置的一个结构例。该抗蚀剂涂覆装置包括通过气体的压力使被处理基板例如FPD用的玻璃基板G 悬浮在空中的悬浮工作台10 ；在该悬浮工作台10上沿着悬浮工作台长边方向(X方向)输送悬浮在空中的基板G的基板输送机构20 ；向在悬浮工作台10上进行输送的基板G的上表面供给抗蚀剂液的狭缝喷嘴32 ；和在涂覆处理的间歇恢复狭缝喷嘴32的喷嘴恢复部42。在悬浮工作台10的上表面设置有向上方喷射规定的气体(例如空气)的多个气体喷射孔12，通过从这些气体喷射孔12喷射的气体的压力，使基板G距离工作台上表面悬浮在一定高度上。基板输送机构20具有夹持悬浮工作台10在X方向延伸的一对导轨22A、22B，沿着这些导轨22A、22B能够往复移动的一对滑块M ；和在悬浮工作台10上以能够装卸地保持基板G的两侧端部方式设置在滑块M上的吸附垫等的基板保持部件(未图示)，通过直进移动机构(未图示)在输送方向(X方向)移动滑块对，由此，在悬浮工作台10上进行基板G的悬浮输送。抗蚀剂喷嘴32构成为沿着与输送方向(X方向)正交的水平方向(Y方向)横跨在悬浮工作台10的上方，通过狭缝状的喷出口对通过其正下方的基板G的上表面(被处理面)喷出带状的抗蚀剂液R。此外，狭缝喷嘴32构成为，通过例如包括滚珠丝杠机构和导引部件等的喷嘴升降机构26，能够与支撑该喷嘴的喷嘴支撑部件28 一体本文档来自技高网...
【技术保护点】
１．一种狭缝喷嘴清洗装置，用于对涂覆处理中使用的具有狭缝状的喷出口的长尺型狭缝喷嘴的喷出口周边部进行清洗，该狭缝喷嘴清洗装置的特征在于，包括：沿着所述狭缝喷嘴的喷出口周边部与所述狭缝喷嘴的长边方向平行地在水平的清洗扫描方向上移动的滑动架；搭载在所述滑动架上的、在所述清洗扫描方向上移动得同时向所述狭缝喷嘴的喷出口周边部喷出清洗液的第一清洗单元；和，在所述清洗扫描方向上位于所述清洗单元之后并搭载在所述滑动架上的、在所述清洗扫描方向上移动的同时擦去附着在所述狭缝喷嘴的喷出口周边部的液体的第一擦拭单元。
【技术特征摘要】
...
【专利技术属性】
技术研发人员：小笠原幸雄，宫崎文宏，元田公男，
申请(专利权)人：东京毅力科创株式会社，
类型：发明
国别省市：JP
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