本发明专利技术提供一种在抑制颗粒的产生的同时、自动且有效率地清扫狭缝喷嘴的狭缝内部的狭缝喷嘴清扫装置以及涂覆装置。狭缝喷嘴清扫装置(70)包括：喷嘴清扫单元(56)、用于使整个启动加注处理部在基板输送方向(X方向)上移动的X方向移动部(54)以及用于在壳体(44)中使喷嘴清扫单元在喷嘴长度方向(Y方向)移动的Y方向移动部(60)。喷嘴清扫单元(56)包括：能够自外部向狭缝喷嘴(32)的狭缝(32a)内插入或者从狭缝(32a)内拔出的薄板状的刮板(74)、用于保持该刮板的保持部(76)、用于使刮板与保持部(76)一体地在狭缝喷嘴的喷出方向上移动的升降机构(78)以及用于使刮板旋转的旋转机构(82)。
Slit nozzle cleaning device and coating device
The present invention provides a slit nozzle cleaning device and a coating device for automatically and efficiently sweeping a slit slit of a slit nozzle while suppressing the generation of particles. Slit nozzle cleaning device (70) comprises: a nozzle cleaning unit (56), for the start filling processing part conveying direction on the substrate (X) on the X direction moving part (54) and used in the housing (44) in the nozzle cleaning unit in the nozzle length direction (Y direction) Y direction the mobile (60). The nozzle cleaning unit (56) includes: can from the outside to the slit nozzle (32) slit (32a) inserted into or from the slit (32a) scraper unplug the sheet in (74), used to keep the Department to maintain the scraper (76), used to make the scraper and the holding portion (76) lifting mechanism one moves in the ejecting direction of the slit nozzle (78) and for the rotation of the rotating mechanism of a scraper (82).
【技术实现步骤摘要】
本专利技术涉及非旋涂方式的涂覆装置，尤其是涉及在非旋涂法的涂覆处理中所采用的、用于对狭缝喷嘴的狭缝内部进行清扫的狭缝喷嘴清扫装置。
技术介绍
在IXD等平板显示器(FPD)的制造工艺中的光刻工序中，如下的一种非旋涂涂覆法被广泛采用使具有狭缝形状的喷出口的长条形的狭缝喷嘴相对于玻璃基板等被处理基板相对移动，并在基板上涂覆处理液或者药液等涂覆液、例如抗蚀液。在典型的非旋涂涂覆法中，一边自狭缝喷嘴相对于固定并载置在工作台上的基板呈带状喷出抗蚀液，一边使狭缝喷嘴沿与喷嘴长度方向正交的水平一方向移动。这样，使自狭缝喷嘴的喷出口溢出到基板上的抗蚀液向喷嘴后方平坦地延伸，从而在基板的一表面上形成抗蚀液涂覆膜(例如专利文献1)。作为另一代表性的非旋涂涂覆法，多采用在工作台上以保持使基板飘浮于空中的状态而沿水平一方向(工作台长度方向)输送基板的上浮输送方式。在该方式中，通过使设置在上浮工作台的上方的长条型的狭缝喷嘴朝向通过其正下方的基板呈带状喷出抗蚀液， 而在基板输送方向上自基板的前端部朝基板的后端部，在基板的一表面上形成抗蚀液涂覆膜(例如专利文献2)。专利文献1 日本特开平10-156255号公报专利文献2 日本特开2005-236092号公报在上述那样的、在非旋涂涂覆法的涂覆处理中所采用的狭缝喷嘴中，由于供抗蚀液喷出的狭缝的间隙非常窄(通常为100 μ m以下)，因此，在狭缝内容易堆积由抗蚀液于抗蚀液供给管或者狭缝喷嘴内凝胶化而形成的固化物，若在狭缝内的某处堆积有抗蚀液固化物，则在该处，抗蚀液的流出(即向基板的供给)会存在欠缺，导致在抗蚀液涂覆膜上产生沿涂覆扫描方向笔直延伸的条状的涂覆不均。以往，为了防止抗蚀液固化物堆积在狭缝喷嘴的狭缝内，而人工进行将附着在狭缝喷嘴的狭缝内壁上的抗蚀液固化物去除的清扫作业。更加详细而言，将由金属或者树脂构成的薄板材自外部(喷嘴喷出口侧)插入狭缝喷嘴的狭缝内，且在狭缝内使薄板材沿喷嘴长度方向滑动从而将固化物刮出。但是，该种狭缝喷嘴的狭缝间隙如上述那样，通常为 IOOym以下的极细的间隙，要将薄板材插入该间隙中进行清扫是非常麻烦且费事的作业， 因而成为使抗蚀液涂覆装置的维护性或者运转率下降的主要原因。此外，由于清扫作业效率不高、耗时长，因此还导致在作业中散乱在周围的颗粒较多。
技术实现思路
本专利技术是为了解决上述那样的以往技术的问题点而做成的，目的在于提供如下一种狭缝喷嘴清扫装置和非旋涂方式的涂覆装置在抑制颗粒的产生的同时，自动且有效率地对用于非旋涂涂覆法的涂覆处理中的狭缝喷嘴的狭缝内部进行清扫，且通过改善对狭缝喷嘴的维护功能来力图提高涂覆膜的品质、成品率以及运转率。为了达成上述目的，本专利技术的第1技术方案的狭缝喷嘴清扫装置是用于对在涂覆处理中所采用的长条型狭缝喷嘴的狭缝内部进行清扫的狭缝喷嘴清扫装置，其中，包括薄板状的刮出构件，其能够自外部向上述狭缝喷嘴的狭缝内插入或自上述狭缝喷嘴的狭缝内拔出；清扫机构，其用于保持上述刮出构件，以将上述刮出构件插入到上述狭缝喷嘴的狭缝内而在上述狭缝内刮出固化物的方式，使上述刮出构件沿规定的方向移动，并自上述狭缝将上述刮出构件拔出在上述结构的狭缝喷嘴清扫装置中，通过使与狭缝喷嘴的狭缝内清扫或者清洗相关的主要作业、即刮出构件相对于狭缝喷嘴的插拔作业和刮出作业全部自动化、定型化，能够实现提高作业效率、抑制颗粒的产生、大幅度缩短所需时间。本专利技术的第2技术方案的狭缝喷嘴清扫装置是用于对在涂覆处理中所采用的长条型狭缝喷嘴的狭缝内部进行清扫的狭缝喷嘴清扫装置，其中，包括薄板状的刮出构件， 其能够自外部向上述狭缝喷嘴的狭缝内插入或自上述狭缝喷嘴的狭缝内拔出；清扫机构， 其用于保持上述刮出构件，在上述狭缝内使上述刮出构件沿规定的方向移动以便将固化物刮出。在上述结构的狭缝喷嘴清扫装置中，通过将作为与狭缝喷嘴的狭缝内清扫或清洗相关的主要作业之一的、狭缝喷嘴内的刮出作业自动化、定型化，能够实现提高作业效率、 抑制颗粒的产生、缩短所需时间。本专利技术的涂覆装置包括狭缝喷嘴，其用于在涂覆处理中相对于被处理基板呈带状将涂覆液喷出；涂覆液供给部，其用于在涂覆处理中将涂覆液供给到上述狭缝喷嘴；基板支承部，其用于支承上述被处理基板；扫描机构，其在涂覆处理中在上述狭缝喷嘴与上述基板之间沿一水平的方向相对移动，以使上述狭缝喷嘴在上述基板上进行涂覆扫描；狭缝喷嘴清扫装置，其用于在涂覆处理的间隔期间对上述狭缝喷嘴的狭缝内进行清扫。上述结构的涂覆装置通过具有本专利技术的上述狭缝喷嘴清扫装置，能够改善对狭缝喷嘴的维护功能，从而能够提高抗蚀液涂覆膜的质量、成品率以及运转率。根据本专利技术的狭缝喷嘴清扫装置或涂覆装置，利用上述那样的结构和作业，能够在抑制颗粒的产生的同时，自动且有效率地对用于非旋涂涂覆法的涂覆处理中的狭缝喷嘴的狭缝内部进行清扫。另外，能够通过改善对狭缝喷嘴的维护功能来力图提高涂覆膜的品质、成品率以及运转率。附图说明图1是表示能够应用本专利技术的狭缝喷嘴清扫装置的抗蚀液涂覆装置的一结构例的立体图。图2是表示包括在上述涂覆装置中的喷嘴再生部的结构的局部剖主视图。图3是表示组装入上述喷嘴再生部中的喷嘴清扫/清洗部的结构的立体图。图4是表示本实施方式中的狭缝喷嘴清扫装置的结构的局部剖侧视图。图5是表示包含在上述狭缝喷嘴清扫装置中的刮板和保持部的结构的剖视图。图6是表示包含在上述狭缝喷嘴清扫装置中的刮板和保持部内的结构的局部剖侧视图。图7是表示刮板发生了变形时的保持部内的各部的状态的局部剖主视图。图8是用模块形式来表示上述抗蚀液涂覆装置的主要结构的图。图9是表示上述狭缝喷嘴清扫装置的整体动作的顺序的流程图。图10是阶段性地表示本实施方式中的狭缝喷嘴清扫处理中的刮板插入动作的图。图11是表示上述刮板插入动作的顺序的流程图。图12是阶段性地表示在上述刮板插入动作未能顺利地进行的情况下的对应处理的动作的图。图13是表示本实施方式中的狭缝喷嘴清扫处理中的刮出动作的顺序的流程图。图14是表示上述刮出动作的状态的分解立体图。图15A是表示上述刮出动作中的1行程的动作的一例的图。图15B是表示在上述刮出动作中产生了钩挂的情况下的恢复动作的一例的图。图16表示在上述狭缝喷嘴清扫装置中采用了加速度传感器的位移判断部的作用的图。图17是表示采用了上述加速度传感器的位移判断部的作用的各部分的波形图。图18是表示在上述狭缝喷嘴清扫装置中优选的刮板形状的图。图19是表示在上述狭缝喷嘴清扫装置中的完全非接触式的引导部的结构例的剖视图。图20是用模块形式来表示上述抗蚀液涂覆装置的第2实施方式的主要结构的图。图21是表示包含在上述狭缝喷嘴清扫装置中的刮板和保持部的第2实施方式的结构的剖视图。图22是表示包含在上述狭缝喷嘴清扫装置中的刮板和保持部的第2实施方式的结构的局部剖视图。图23是表示刮板的另一实施方式的图。 具体实施例方式下面，参照附图来说明本专利技术的优选实施方式。图1表示能够应用本专利技术的狭缝喷嘴清扫装置的抗蚀液涂覆装置的一结构例。该非旋涂涂覆装置具有利用气体的压力来使被处理基板、例如FPD用的玻璃基板G飘浮在空中的上浮工作台10、用于在上浮工作台10上沿上浮工作台长度方向(X方向) 输送飘浮在空中的基板G的基板输送机构20、用于向在本文档来自技高网...
【技术保护点】
１．一种狭缝喷嘴清扫装置，其用于对在涂覆处理中所采用的长条型狭缝喷嘴的狭缝内部进行清扫，其中，包括：薄板状的刮出构件，其能够自外部向上述狭缝喷嘴的狭缝内插入或从上述狭缝喷嘴的狭缝内拔出；清扫机构，其用于保持上述刮出构件，将上述刮出构件插入到上述狭缝喷嘴的狭缝内，使上述刮出构件沿规定的方向移动，以便在上述狭缝内刮出固化物，然后自上述狭缝将上述刮出构件拔出。
【技术特征摘要】
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【专利技术属性】
技术研发人员：元田公男，宫崎文宏，太田义治，川内拓男，
申请(专利权)人：东京毅力科创株式会社，
类型：发明
国别省市：JP
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