The present invention provides a slit nozzle cleaning device and a coating device for automatically and efficiently sweeping a slit slit of a slit nozzle while suppressing the generation of particles. Slit nozzle cleaning device (70) comprises: a nozzle cleaning unit (56), for the start filling processing part conveying direction on the substrate (X) on the X direction moving part (54) and used in the housing (44) in the nozzle cleaning unit in the nozzle length direction (Y direction) Y direction the mobile (60). The nozzle cleaning unit (56) includes: can from the outside to the slit nozzle (32) slit (32a) inserted into or from the slit (32a) scraper unplug the sheet in (74), used to keep the Department to maintain the scraper (76), used to make the scraper and the holding portion (76) lifting mechanism one moves in the ejecting direction of the slit nozzle (78) and for the rotation of the rotating mechanism of a scraper (82).
【技术实现步骤摘要】
本专利技术涉及非旋涂方式的涂覆装置，尤其是涉及在非旋涂法的涂覆处理中所采用的、用于对狭缝喷嘴的狭缝内部进行清扫的狭缝喷嘴清扫装置。
技术介绍
在IXD等平板显示器(FPD)的制造工艺中的光刻工序中，如下的一种非旋涂涂覆法被广泛采用使具有狭缝形状的喷出口的长条形的狭缝喷嘴相对于玻璃基板等被处理基板相对移动，并在基板上涂覆处理液或者药液等涂覆液、例如抗蚀液。在典型的非旋涂涂覆法中，一边自狭缝喷嘴相对于固定并载置在工作台上的基板呈带状喷出抗蚀液，一边使狭缝喷嘴沿与喷嘴长度方向正交的水平一方向移动。这样，使自狭缝喷嘴的喷出口溢出到基板上的抗蚀液向喷嘴后方平坦地延伸，从而在基板的一表面上形成抗蚀液涂覆膜(例如专利文献1)。作为另一代表性的非旋涂涂覆法，多采用在工作台上以保持使基板飘浮于空中的状态而沿水平一方向(工作台长度方向)输送基板的上浮输送方式。在该方式中，通过使设置在上浮工作台的上方的长条型的狭缝喷嘴朝向通过其正下方的基板呈带状喷出抗蚀液， 而在基板输送方向上自基板的前端部朝基板的后端部，在基板的一表面上形成抗蚀液涂覆膜(例如专利文献2)。专利文献1 日本特开平10...
【技术保护点】
１．一种狭缝喷嘴清扫装置，其用于对在涂覆处理中所采用的长条型狭缝喷嘴的狭缝内部进行清扫，其中，包括：薄板状的刮出构件，其能够自外部向上述狭缝喷嘴的狭缝内插入或从上述狭缝喷嘴的狭缝内拔出；清扫机构，其用于保持上述刮出构件，将上述刮出构件插入到上述狭缝喷嘴的狭缝内，使上述刮出构件沿规定的方向移动，以便在上述狭缝内刮出固化物，然后自上述狭缝将上述刮出构件拔出。
【技术特征摘要】
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【专利技术属性】
技术研发人员：元田公男，宫崎文宏，太田义治，川内拓男，
申请(专利权)人：东京毅力科创株式会社，
类型：发明
国别省市：JP
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