The utility model relates to a micro feed mechanism used for processing an ellipse piston, relating to a variable Ellipse Piston Processing equipment. The utility model is provided with a pedestal, a flexible switch, a grating ruler, a fixed ruler, a grating ruler, a moving ruler, a fixed block, a switch plate, a voice coil motor, a vibrator, a voice coil motor, a stator, a transmission shaft, a disc spring, an end cover and a rolling bearing. The flexible hinge and the grating length is fixed on the base, the grating rule is fixed on the fixing block and is connected with the flexible hinge, the limit switch is fixed on the base lugs on the top; a voice coil motor rotor and the adapter plate fixed on the back wall of the stator is fixed on the base; the drive shaft is fixed on the the adapter plate, the adapter plate is fixed on the flexible hinge, the drive shaft is arranged at the rear part of the butterfly spring, rolling bearing through the drive shaft and the through holes are arranged on the base and fixed on the rear wall, the end cover is fixed on the base. The utility model has the advantages of large starting thrust, high transmission rigidity, fast dynamic response, high positioning accuracy, etc., and the traditional screw clearance error can be eliminated by adopting zero transmission.
【技术实现步骤摘要】
本专利技术涉及一种变椭圆活塞加工设备,尤其是涉及一种用于变椭圆活塞加工的微 进给机构。
技术介绍
21世纪,随着科学技术的飞跃发展,现代制造业正以崭新的面貌出现在世人面前。 为了满足各领域对产品和装备加工精度和表面质量的要求,精密加工和超精密加工技术迅 速发展,成为现代航空航天、微电子、光学、机器人、生物、医学及遗传工程等先进技术发展 的基础;同时也成为制造惯性仪表、天文望远镜、磁盘、⑶(光盘)、VTR(录像头)、激光打印 机、光学医疗仪器等技术密集型产品的关键技术。超精密加工技术由20世纪60年代初期 形成至今,其加工精度已由1 0. 5 μ m发展到0. 05 0. 005 μ m的水平,进入了纳米加工 精度时代。变椭圆活塞加工是超精密加工中一种重要的加工方式,主要用于加工金属平面反 射镜、非球曲面光学透镜等的超精表面。要实现变椭圆活塞加工,除需要配备超精密车床、 高精度测量设备及锋利的金刚石刀具外,采用高精度的微进给机构,在很大程度上提高了 超精密加工所能达到的精度水平。微进给机构一般指行程范围为毫米级,位移分辨率及定位精度达到纳米级(甚至 亚纳米级)的位移机构。微进给机构通常由微位移器和精密导轨两部分组成,其技术研究 不仅关系到超精密车床研制,而且是精密机械、微电子、生物工程等多种学科赖以发展的基 础。如随着微电子技术向大规模集成电路(LSI)和超大规模集成电路(VLSI)方向发展, 线条越来越细化,16KM动态RAM线宽已缩小到0. 07 μ m左右,对于相应的工艺设备(如图形 发生器、分步重复照相机、光刻机、电子束和X射线曝光机及其检测设备等 ...
【技术保护点】
一种用于变椭圆活塞加工的微进给机构,其特征在于设有基座、柔性铰链、2个限位开关、光栅尺定尺、光栅尺动尺、固定块、转接盘、音圈电机动子、音圈电机定子、传动轴、碟形弹簧、端盖和滚动轴承; 柔性铰链和光栅尺定尺固定在基座上,光栅尺动尺固定在固定块上并通过固定块与柔性铰链相连接,2个限位开关固定在设于基座上的方形凸台顶部,音圈电机动子与转接盘固定,音圈电机定子固定在基座的后壁上,传动轴固定在转接盘上,转接盘固定在柔性铰链上,传动轴后部设有4个蝶形弹簧,2个滚动轴承穿过传动轴与设于基座后壁上的通孔并通过过盈配合固定,端盖固定在基座上。
【技术特征摘要】
【专利技术属性】
技术研发人员:郭隐彪,黄海滨,王春锦,张东旭,
申请(专利权)人:厦门大学,
类型:发明
国别省市:92
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