一种制备独立自支撑透明氮化铝纳米晶薄膜的方法技术

本发明专利技术公开了一种制备独立自支撑透明氮化铝纳米晶薄膜的方法，是通过以下工艺过程实现的：将装有一定量无水AlCl3(纯度为质量百分比98％-99％)粉末的陶瓷舟置于长度为100cm的水平管式炉气流方向上游距管口6cm-9cm处，在距陶瓷舟20cm-25cm处放置石英管、陶瓷片等作为产物收集器，密闭管式炉抽真空到2×10-2-10-3Pa，Ar气保护下加热水平管式炉到760℃-900℃后，通入200sccm-300sccm的NH3气反应四小时，Ar气保护下自然冷却到室温，在收集器上得到独立自支撑透明氮化铝薄膜。本发明专利技术所制备薄膜为纤锌矿结构氮化铝，其特点是：在微观上为纳米晶阵列，在宏观上为独立、自支撑、透明的氮化铝薄膜。

【技术实现步骤摘要】

【技术保护点】
１．一种制备独立自支撑透明氮化铝纳米晶薄膜的方法，其特征在于所制备产物表面形貌为纳米棒或纳米颗粒阵列，宏观上为独立自支撑透明的氮化铝纳米晶薄膜，并且通过以下途径实现：将装有一定量无水ＡｌＣｌ３（纯度为质量百分比９８％－９９％）粉末的陶瓷舟放置到水平管式炉内一定位置，在离陶瓷舟一定距离处放置产物收集衬底，密封水平管式炉后抽真空到２×１０－２－１０－３帕，然后通入Ａｒ气在Ａｒ氛围中将水平管式炉升温到预设温度，停止通入Ａｒ，通入预定流量的ＮＨ３气，反应四小时，最后Ａｒ气保护下自然冷却到室温，在衬底上可收集到独立自支撑的透明的氮化铝薄膜。

【技术特征摘要】

【专利技术属性】
技术研发人员：简基康，李加杰，杨建强，李海兵，吴荣，李锦，
申请(专利权)人：新疆大学，
类型：发明
国别省市：65