在图案化晶片上的可控结合波制造技术

技术编号:6008809 阅读:272 留言:0更新日期:2012-04-11 18:40
结合两个衬底的方法包括:在第一衬底和第二衬底之间放置分隔件;在分隔件在第一衬底和第二衬底之间的情况下,对第一衬底施加压力,以引发第一衬底和第二衬底之间的结合波;和通过平移所述分隔件使其远离第一衬底或第二衬底的中心,控制结合波的移动。

【技术实现步骤摘要】

【技术保护点】
1.一种结合两个衬底的方法,所述方法包括:在第一衬底和第二衬底之间放置分隔件;在所述分隔件在第一衬底和第二衬底之间的情况下,对第一衬底施加压力,以引发第一衬底和第二衬底之间的结合波;和通过平移所述分隔件使其远离第一衬底或第二衬底的中心,控制所述结合波的移动。

【技术特征摘要】
...

【专利技术属性】
技术研发人员:史蒂夫·戴明陈振方迈克尔·罗基奥胡戈·J·米勒
申请(专利权)人:富士胶片株式会社
类型:发明
国别省市:JP

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