MEMS麦克风制造技术

一种ＭＥＭＳ麦克风，其包括：电路板、覆盖于电路板的具有收容腔的上盖和分别置于电路板上的换能器和控制电路，换能器设有第一声腔，其中，所述ＭＥＭＳ麦克风还设有声音隔离板，该声音隔离板将收容腔分成两个部分，即进声腔和后腔，所述换能器和控制电路收容于后腔内，上盖设有位于进声腔的入声孔，电路板设有连接进声腔的第一进声孔、连接换能器的第一声腔的第二进声孔和与第一、第二进声孔相通的进声通道。此结构的ＭＥＭＳ麦克风灵敏度较高和频响特性理想。另外，对换能器具有防尘保护的作用。（*该技术在2018年保护过期，可自由使用*）

【技术实现步骤摘要】

MEMS麦克风
本技术涉及一种麦克风，尤其涉及一种MEMS麦克风。
技术介绍
随着无线通讯的发展，全球移动电话用户越来越多，用户对移动电 话的要求已不仅满足于通话，而且要能够提供高质量的通话效果，尤其 是目前移动多媒体技术的发展，移动电话的通话质量更显重要，移动电 话的麦克风作为移动电话的语音拾取装置，其设计好坏直接影响通话质量。而目前应用较多且性能较好的麦克风是MEMS (Micro-Electro-Mechanical-System Microphone )麦克风。J(口图1所示， 相关技术的MEMS麦克风100，包括电路板14，、覆盖于电路板14，的 上盖20，、由电路板14，和上盖20，共同形成的腔体15，和收容于腔体15， 内并分别置于电路板14，上的换能器12，和控制电路16，，其中，电路板 14'设有第一声腔18'，上盖20，设有入声孔21，。相关技术的MEMS麦克风100，，声音从入声孔21，直接进入腔体15，， 该第一声腔18，的体积有限，导致MEMS麦克风100，的灵敏度不高、频响 特性也不理想，另外，相关技术的MEMS麦克风100，，针对换能器12， 也本文档来自技高网...

【技术保护点】
一种ＭＥＭＳ麦克风，其包括：电路板、覆盖于电路板的具有收容腔的上盖和分别置于电路板上的换能器和控制电路，换能器设有第一声腔，其特征在于：所述ＭＥＭＳ麦克风还设有声音隔离板，该声音隔离板将收容腔分成两个部分，即进声腔和后腔，所述换能器和控制电路收容于后腔内，上盖设有位于进声腔的入声孔，电路板设有连接进声腔的第一进声孔、连接换能器的第一声腔的第二进声孔和与第一、第二进声孔相通的进声通道。

【技术特征摘要】
1. 一种MEMS麦克风，其包括电路板、覆盖于电路板的具有收容腔的上盖和分别置于电路板上的换能器和控制电路，换能器设有第一声腔，其特征在于所述MEMS麦克风还设有声音隔离板，该声音隔离板将收容腔分成两个部分，即进声腔和后腔，所述换能器和控制电路收容于后腔内，上盖设有位于进声腔的入声孔，电路板设有连接进声腔的第一进声孔、连接换能器的第一声腔的第二进声孔和与第一、第二进声孔相通的进声通道。2.如权利要求1所述的mems麦克风，其特征在于所述电路板 包括第 一...

【专利技术属性】
技术研发人员：刘明，王凯，吴志江，
申请(专利权)人：瑞声声学科技深圳有限公司，
类型：实用新型
国别省市：94[中国|深圳]