驱动装置和记录/重放装置制造方法及图纸

一种驱动装置（１）包括：固定部件（１１），该固定部件（１１）具有平坦表面（１２）；以及被驱动部件（１３），该被驱动部件（１３）具有平坦表面（１４）并且在与固定部件的平坦表面基本上平行的方向上被驱动，该平坦表面（１４）与固定部件的平坦表面相对。液体润滑剂（３０）插入在固定部件的平坦表面（１２）与被驱动部件的平坦表面（１４）之间。平坦表面（１４）以基本上相互平行的状态与平坦表面（１２）相对。

【技术实现步骤摘要】
【国外来华专利技术】
本专利技术涉及，例如，用于对诸如介质这样的被驱动对象进行驱动 的驱动装置；以及在利用这种驱动装置来驱动记录介质的同时，用于相对于记录介质对信息进行记录和重放的记录/重放装置。
技术介绍
例如，已经开发了这样一种探针存储器，该探针存储器通过将记 录介质相对于包括有多个探针的探针阵列，沿着记录介质的记录表面 移位，来利用多个探针的每一个将数据记录到记录介质上或者对记录 在记录介质上的数据进行重放。作为这种探针存储器，例如，如专利文献1中所公开的，以下探针存储器可以被列为一个特定组成示例探针存储器，在该探针存储 器中，第一衬底、第二衬底、以及第三衬底通过间隔物连接，其中， 第一衬底提供有多个探针单元，第二衬底提供有移动侧(mover-side) 电极和弹性部件，该弹性部件通过除去提供有记录膜的中心部分与位 于中心部分四周的周围的部分之间的衬底的部分而形成，并且第三衬 底提供有定子侧电极。在该探针存储器中，通过在定子侧电极与移动 侧电极之间施加电压来对提供有记录膜的第二衬底的中心部分进行驱 动(即移位)，由此使用弹性部件。专利文献l:日本专利申请特开NO.平10 — 4059
技术实现思路
本专利技术要解决的主题然而，上述探针存储器不具有用于支撑下述记录膜的结构，该记录膜是由作用在衬底的叠层方向(即与水平面正交或垂直的方向)上 的力所驱动的被驱动部件。作为被驱动部件的记录膜是由作用在与衬 底的叠层方向相交的方向(即与水平面相平行的方向)上的弹性部件 的力来支撑的；也就是说，将作为被驱动部件的记录膜构造成使其象 在衬底的叠层方向上的空中浮动一样。因此，存在以下技术问题，艮P， 可能无意地在衬底的叠层方向上，改变作为被驱动部件的记录膜的位 置。换言之，存在下述技术问题，即，即使尝试在与水平面相平行的 方向上对被驱动部件驱动期望的量，该驱动所引起的弹性部件的偏斜、 畸变等等仍可能会无意地引起在与水平面相垂直方向上，改变被驱动部件的位置。该技术问题会导致诸如MEMS (微电机械系统)这样的必须以毫米、微米、或者纳米为单元对被驱动部件进行驱动的微器件 的精确度下降，并且这不是优选的。考虑到上述问题，因此本专利技术的目的在于，例如，提供一种可对 被驱动部件进行优选地驱动的驱动装置以及具有这种驱动装置的记录/ 重放装置。解决该主题的方式本专利技术的上述目的可以由根据权利要求1的驱动装置来实现，该驱动装置提供有固定部件，该固定部件具有固定部件平面；以及被驱动部件，该被驱动部件具有被驱动部件平面并且在与固定部件平面基本上平行的方向上被驱动，该被驱动部件平面与固定部件平面相对； 液体润滑剂，该液体润滑剂在固定部件平面与被驱动部件平面之间， 被驱动部件平面与固定部件平面相对，使得被驱动部件平面与固定部 件平面基本上平行。本专利技术的上述目的可以由根据权利要求11的记录/重放装置实现， 该记录/重放装置提供有固定部件，该固定部件具有固定部件平面；以及被驱动部件，该被驱动部件具有被驱动部件平面并且在与固定部 件平面基本上平行的方向上被驱动，该被驱动部件平面与固定部件平5面相对；液体润滑剂，该液体润滑剂在固定部件平面与被驱动部件平 面之间；被驱动部件平面与固定部件平面相对，使得被驱动部件平面 与固定部件平面基本上平行，被驱动部件配备有记录介质，固定部件 配备有一个或多个记录/重放器件。根据以下所说明的实施例，本专利技术的操作及其他优点将更加明显。附图说明图1是从概念上示出了第一示例中的驱动装置的结构的横截面视图。图2是从概念上示出了当为第一示例中的驱动装置提供的被驱动 部件被移位时的方面的横截面视图。图3是从概念上示出了第二示例中的驱动装置的结构的横截面视图。图4是从概念上示出了当在Z方向上观察第二示例中的驱动装置 时的结构的俯视图。图5是从概念上示出了第三示例中的驱动装置的结构的横截面视图。图6是从概念上示出了第四示例中的驱动装置的结构的横截面视图。图7是从概念上示出了第五示例中的驱动装置的结构的横截面视图。图8是从概念上示出了第六示例中的驱动装置的结构的横截面视图。图9是从概念上示出了第七示例中的驱动装置的结构的横截面视图。图IO是从概念上示出了第八示例中的驱动装置的结构的横截面视图。图ll是从概念上示出了第九示例中的驱动装置的结构的横截面视图12是从概念上示出了示例中的记录/重放装置的第一结构的横 截面视图。图13是从概念上示出了示例中的记录/重放装置的第二结构的横 截面视图。图14是从概念上示出了第一示例中的驱动装置的制造处理的横截 面视图。对参考代码的描述 1驱动装置 11外壳12固定部件平面13被驱动部件14被驱动部件平面15致动器16参考部件30润滑剂41探针头42探针50致动器100， 101记录/重放装置200被驱动对象201记录介质300 SOI衬底301， 303硅层302 二氧化硅层具体实施例方式在下文中，对本专利技术的驱动装置和记录/重放装置的实施例进行说 明，作为用于执行本专利技术的最佳方式。(驱动装置的实施例) 本专利技术的驱动装置的实施例是这样的驱动装置，该驱动装置提供 有固定部件，该固定部件具有固定部件平面；以及被驱动部件，该 被驱动部件具有被驱动部件平面并且在与固定部件平面基本上平行的 方向上被驱动，该被驱动部件平面与固定部件平面相对，在固定部件 平面与被驱动部件平面之间有液体润滑剂，被驱动部件平面与固定部 件平面相对使得被驱动部件平面与固定部件平面基本上平行。根据本专利技术的驱动装置的实施例，其提供有固定部件和被驱动部 件，所述被驱动部件相对于固定部件而被驱动(即被移位)。该固定 部件具有固定部件平面，并且被驱动部件具有被驱动部件平面。换言 之，固定部件和被驱动部件各自具有处于相互相对位置的平面。换言 之，将固定部件和被驱动部件构造成使得相互相对的部分是平面的。 顺便说一下，该实施例中的"平面"广泛地包括实际上的纯平面和以下表 面，其中，所述表面总体上被认为是平面，即使该表面是不平坦的、或具有孔等等。此外，固定部件平面和被驱动部件平面的每一个具有 不同高度的多个平面。总之，仅仅需要在这些部分中，固定部件与被 驱动部件相对的部分的形状是平面的。此后，例如通过致动器等等的 作用，在与固定部件平面基本上平行的方向上对被驱动部件进行驱动。具体地，在该实施例中，液体润滑剂存在于固定部件与被驱动部 件之间的空间；也就是说，通过液体润滑剂，在与固定部件平面的法 线基本上平行的方向(换句话说，在与对驱动器件进行驱动的方向相 交或者基本上垂直的方向)上，固定部件平面与被驱动部件平面相对。 此时，固定部件平面与被驱动部件平面之间的空间的全部或者一部分 填充有液体润滑剂。因为液体润滑剂存在于固定部件平面与被驱动部 件平面之间，因此被驱动部件平面与固定部件平面相对，使得被驱动 部件平面与固定部件平面基本上平行。这使得可以优选地在与固定部件平面基本上平行的方向上对被驱8动部件进行驱动。此外，因为液体润滑剂允许被驱动部件平面与固定 部件平面之间的距离几乎保持恒定、基本上恒定、或者总是恒定，因 此使得可以优选地防止在与固定部件平面基本上正交的方向上，被驱 动部件的位置发生变化这样的缺点。另外，液体润滑剂允许相对于固定部件以所谓表面形状的形式来 支撑被驱本文档来自技高网...

【技术保护点】
一种驱动装置，包括：　固定部件，所述固定部件具有固定部件平面；以及　被驱动部件，所述被驱动部件具有被驱动部件平面并且在与所述固定部件平面基本上平行的方向上被驱动，所述被驱动部件平面与所述固定部件平面相对，　液体润滑剂，所述 液体润滑剂在所述固定部件平面与所述被驱动部件平面之间，　所述被驱动部件平面与所述固定部件平面以所述被驱动部件平面与所述固定部件平面基本上平行的方式相对。

【技术特征摘要】
【国外来华专利技术】

【专利技术属性】
技术研发人员：藤本健二郎，森俊太郎，石杜昌弘，前田孝则，
申请(专利权)人：日本先锋公司，
类型：发明
国别省市：JP[日本]