三芳基锍盐的制造方法技术

本发明专利技术涉及通式［４］所示的三芳基锍盐的制造方法，该方法可以有效地制造三芳基锍盐中仅一个芳香环不同于另外两个芳香环的三芳基锍盐，所述制造方法的特征在于，在与对氧具有高亲和性的活化剂的共存下，使通式［１］所示的二芳基亚砜与通式［２］所示的芳基格氏试剂进行反应，然后与通式［３］所示的强酸或其盐反应；所述对氧具有高亲和性的活化剂相对于所述二芳基亚砜为３当量～７．５当量；所述通式［２］为ＲＭｇＸ，其中Ｒ表示具有或不具有取代基的芳基，所述取代基与上述通式［１］中的Ｒ↑［１］不同，Ｘ表示卤原子；所述通式［３］为ＨＡ↓［１］，其中Ａ↓［１］表示强酸残基。（*该技术在2024年保护过期，可自由使用*）

【技术实现步骤摘要】
【国外来华专利技术】
本专利技术涉及三芳基锍盐的新的制造方法，所述三芳基锍盐可以用作抗蚀剂用酸产生剂或光阳离子聚合引发剂，所述三芳基锍盐阳离子部分的3个芳香环中，仅有1个芳香环的结构与另外两个的结构不同。
技术介绍
在半导体制造领域的照相平板工序中，三芳基锍盐被广泛用作光酸产生剂。采用卤化三芳基锍(例如氯化三芳基锍、溴化三芳基锍)作为中间体，可以很容易地将这些三芳基锍盐转换为各种阴离子(counter anion)。作为溴化三芳基锍的合成方法，已知如下方法(1)使二芳基亚砜与格氏试剂(Grignard reagent)进行反应的方法(例如参照非专利文献1、非专利文献2等)；(2)在氯化铝的存在下使二芳基亚砜与芳香烃进行缩合反应的方法(例如参照非专利文献3)；(3)在氯化铝的存在下使二芳基二氯硫醚与芳香烃进行反应的方法(例如参照非专利文献4)；(4)使二芳基硫醚与二芳基碘鎓盐进行反应方法(参照非专利文献5)。但是，这些方法具有诸如需要在高温反应的苛刻条件(例如，加热回流操作、熔融反应等)、产生亚硫酸气体、排出大量铝废液等问题。因此，提出了通过使二芳基亚砜和芳基格氏试剂与作为烷基化剂的三乙基氧鎓四氟硼酸盐本文档来自技高网...

【技术保护点】
通式［４］所示的三芳基锍盐的制造方法，其特征在于，在与对氧具有高亲和性的活化剂的共存下，使通式［１］所示的二芳基亚砜与通式［２］所示的芳基格氏试剂进行反应，然后与通式［３］所示的强酸或其盐反应；所述对氧具有高亲和性的活化剂相对于所述二芳基亚砜为３当量～７．５当量；所述通式［１］为：＊＊＊［１］通式（１）中，２个Ｒ↑［１］表示氢原子、卤原子、烷基、碳原子数为１～４的卤代烷基、烷氧基、酰基、羟基、氨基、硝基或氰基；所述通式［２］为：ＲＭ ｇＸ［２］通式［２］中，Ｒ表示具有或不具有取代基的芳基，所述取代基选自卤原子...

【技术特征摘要】
【国外来华专利技术】...

【专利技术属性】
技术研发人员：角野元重，深沢和仁，今关重明，渡边哲也，
申请(专利权)人：和光纯药工业株式会社，
类型：发明
国别省市：JP[日本]