光电混载基板及其制造方法技术

技术编号:5499420 阅读:187 留言:0更新日期:2012-04-11 18:40
本发明专利技术提供一种光电混载基板及其制造方法,前述光电混载基板在一个面上具有光波导,在另一个面上具有电气配线图形等,其中,光波导的芯图形和电气配线图形等精度良好地被配置在所希望的位置上。具体来讲,本发明专利技术涉及光电混载基板的制造方法,其包括:将层叠有芯层21和包层20的层叠体4准备在前述电气配线板上的工序;在前述电气配线板的与形成层叠体4的面相反的面上,同时形成用于设置光波导的芯图形的定位标识12、和用于与电气配线图形13或外部连接的电连接部的工序;基于前述定位标识12,不使用光掩模来形成光波导的芯图形的工序。

【技术实现步骤摘要】
【国外来华专利技术】
本专利技术涉及包含电气配线板、以及在前述电气配线板上层叠芯层和包层而 成的光波导的。技术背景包含电气配线板、以及在前述电气配线板上层叠芯层和包层而成的光波导 的光电混载基板,作为将电信号转变为光信号的器件,在需要高速信息传输的 领域的期待不断提高。就这样的光电混载基板而言,电气配线板的电气配线图 形(电路)与光波导的芯图形的对位是重要的,用于提高其精度的方案已被提出。在专利文献l中,公开了一种光电混载基板的制造方法使用具备感光性 透明树脂层和金属层的层叠物,包含a)对感光性透明树脂层照射活性能量 射线来形成光波导的芯的工序,b)形成使在光波导中传播的光偏转射出的偏 转部的工序,c)加工金属层来形成电路的工序;基于预先设置在金属层上的 基准标记来形成前述芯、偏转部和电路。另外,在专利文献2中,公开了一种光波导形成基板的制造方法,该光波 导形成基板包含在上面侧搭载有具有发光部的元件等的基板、和在该基板的搭 载前述元件的面上形成的光波导,该制造方法的特征为,具有a)在前述基 板上搭载前述元件的工序;b)在搭载前述元件的基板的上面侧,形成具有芯 和包层的光波导的工序,在前述b)工序中,本文档来自技高网...

【技术保护点】
一种光电混载基板的制造方法,该光电混载基板包含电气配线板、以及在前述电气配线板上层叠芯层和包层而成的光波导,其中,该制造方法包括下述工序: A)将层叠有前述芯层和包层的层叠体准备在电气配线板上的工序; B)在前述电气配线板的与形成前述层叠体的面相反的面上,同时形成用于设置光波导的芯图形的定位标识、和用于与电气配线图形或外部连接的电连接部的工序;以及 C)基于前述电气配线板的定位标识,不使用光掩模来形成光波导的芯图形的工序。

【技术特征摘要】
【国外来华专利技术】...

【专利技术属性】
技术研发人员:盐田刚史
申请(专利权)人:三井化学株式会社
类型:发明
国别省市:JP[日本]

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